sic coated ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງ

ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງ semicorex ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມລະອຽດອ່ອນແອອອກແບບເປັນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນຂອງອຸປະກອນ Epitaxial, ບ່ອນທີ່ມີສ່ວນປະກອບທີ່ສົມບູນເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງດວງຈັນປະສົມເຂົ້າກັນ. ການເລືອກ semicorex ຫມາຍຄວາມວ່າປອດໄພທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖື, ມີຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະແກ້ໄຂຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຮັບປະກັນການຜະລິດຄວາມຮ້ອນທີ່ປອດໄພແລະມີປະສິດທິພາບສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor. *

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງ, ເຊິ່ງຖືກເຄືອບດ້ວຍຄວາມນິຍົມຂອງຊິລິໂຄນ (SIC), ແມ່ນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນຂອງຂະບວນການຂອງ Epitoxy ເປັນຜູ້ຂົນສົ່ງທັງສອງຄັນແລະເຄື່ອງປະດັບຄວາມຮ້ອນ. ຮູບຮ່າງເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງວົງເດືອນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງພວກເຂົາໃຫ້ວິທີການຕ່າງໆປະກອບເປັນແບບທີ່ເປັນຮູບຊົງກະບອກເຊິ່ງເປັນເອກະພາບພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນໃນ Epitaxial. ພາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງຫຼືເຕົາປະຕິກອນ, ຕ້ອງມີຄວາມປອດໄພແຕ່ຍັງຮ້ອນເປັນເອກະພາບໃນຂະນະທີ່ການຝາກເງິນທີ່ມີຮູບເງົາບາງໆ. ຊິ້ນສ່ວນຂອງ Sic coated ການສະຫນອງໃຫ້ພຽງແຕ່ຈໍານວນການສະຫນັບສະຫນູນກົນຈັກ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມທົນທານທາງເຄມີເພື່ອປະຕິບັດວຽກງານເຫຼົ່ານີ້.

ພະຍາແຖແມ່ນວັດສະດຸຍ່ອຍສໍາລັບພາກສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງແລະຖືກເລືອກເນື່ອງຈາກການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີຂອງມັນແລະນ້ໍາຫນັກຕໍ່າແລະມີຄວາມເຂັ້ມແຂງ. ພື້ນຜິວຂອງ graphite ແມ່ນປົກຄຸມດ້ວຍຮູບພາບສານເຄມີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຫນາຫນາທີ່ເກັບໄດ້ silicon carbide (cvd sic) ຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກ່ຽວຂ້ອງກັບການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial. ການເຄືອບ Sic ຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມແຂງກະດ້າງຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆແລະສະຫນອງຄວາມຕ້ານທານກັບທາດອາຍພິດເຊັ່ນ: hydrogen ແລະ chlorine, ໃຫ້ສະຖຽນລະພາບໃນໄລຍະຍາວແລະການປົນເປື້ອນຈໍາກັດໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ. Graphite ແລະ Sic ເຮັດວຽກຮ່ວມກັນໃນພາກສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງເພື່ອສະຫນອງຄວາມດຸ່ນດ່ຽງທີ່ຖືກຕ້ອງຂອງກົນຈັກທີ່ມີຄຸນນະພາບທາງເຄມີດ້ວຍຄຸນສົມບັດທາງເຄມີແລະຄວາມຮ້ອນ.

ຫນຶ່ງໃນພາລະບົດບາດທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດຂອງsic ເຄືອບຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງເຄິ່ງຫນຶ່ງແມ່ນການສະຫນັບສະຫນູນຂອງ wafers. Wafers ຄາດວ່າຈະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຫມັ້ນຄົງຕະຫຼອດ itaLatex ທັງຫມົດເພື່ອຄວາມສະດວກໃນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງໂຄງສ້າງ lattice ໃນຊັ້ນວາງຂອງ crystalline ໃນຊັ້ນຂ້າມ. ລະດັບຂອງຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຫຼືຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບໃນພາກສ່ວນທີ່ຮອງຮັບອາດຈະແນະນໍາຊັ້ນຂໍ້ບົກພ່ອງໃນ Epitaxy ແລະໃນທີ່ສຸດຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ. ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງແມ່ນຜະລິດໄດ້ຢ່າງລະມັດລະວັງສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິທີ່ສຸດໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຈໍາກັດຄວາມສາມາດໃນການ warping ແລະໃຫ້ການຈັດວາງສູດທີ່ເຫມາະສົມພາຍໃຕ້ສູດອາກາດທີ່ເຫມາະສົມ. ຄວາມຊື່ສັດໂຄງສ້າງນີ້ແປເປັນຄຸນນະພາບທີ່ດີກວ່າແລະໃຫ້ຜົນຜະລິດຫຼາຍກວ່າເກົ່າ.

ຫນ້າທີ່ສໍາຄັນເທົ່າທຽມກັນຂອງພາກສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງແມ່ນການປະສານງານຄວາມຮ້ອນ. ໃນຫ້ອງສະພາຂອງ Epitaxial, ເປັນເອກະພາບ, ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນຂອງລັດສະຫມໍ່າສະເຫມີແມ່ນກຸນແຈສໍາຄັນໃນການໄດ້ຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ຫຼັກການ Graphite ແມ່ນເຫມາະສົມທີ່ສຸດສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນເພື່ອຊ່ວຍໃນຂະບວນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນແຕ່ລະດັບການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມ. ການເຄືອບ SIC ປົກປ້ອງຫຼັກຈາກຄວາມເມື່ອຍລ້າ, ການເຊື່ອມໂຊມແລະການປົນເປື້ອນໃນຂະບວນການ. ເພາະສະນັ້ນ, ການລໍຖ້າສາມາດເຮັດໃຫ້ຮ້ອນເປັນເອກະພາບເພື່ອໃຫ້ບັນລຸການໂອນຍ້າຍທີ່ເປັນເອກະພາບແລະສະຫນັບສະຫນູນການພັດທະນາຂອງຊັ້ນຈັດຕັ້ງບົກພ່ອງໃນການເຮັດຜິດ. ໃນຄໍາສັບຕ່າງໆອື່ນໆ, ສໍາລັບຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ບາງໆທີ່ຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການເງື່ອນໄຂຄວາມຮ້ອນສະເພາະ, ຊິ້ນສ່ວນຂອງ SIC Coated, ສ່ວນປະສິດທິພາບຂອງ Sic ອາຍຸຍືນແມ່ນລັກສະນະສໍາຄັນຂອງສ່ວນປະກອບ. Epitaxy ມັກຈະປະກອບດ້ວຍການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງເກີນໄປໃນສິ່ງທີ່ມີເອກະສານກໍ່ສ້າງທົ່ວໄປສາມາດອົດທົນໄດ້ໂດຍບໍ່ຕ້ອງເສີຍ.

ຄວາມສະອາດແມ່ນຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນອີກຢ່າງຫນຶ່ງ. ນັບຕັ້ງແຕ່ Epitaxy ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຫຼາຍຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ໂດຍໃຊ້ການເຄືອບ CVD SIC ຂອງຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສູງທີ່ສຸດກໍາຈັດການປົນເປື້ອນຈາກຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ. ນີ້ຫຼຸດຜ່ອນການຜະລິດອະນຸພາກແລະປົກປ້ອງຜູ້ທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ. ສືບຕໍ່ຫຼຸດລົງຂອງເລຂາຄະນິດອຸປະກອນແລະແຄບໃນການກະຕຸ້ນໃນຂະບວນການຂະບວນການຂອງການຄວບຄຸມຂອງການຄວບຄຸມທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນໃນການຮັກສາຄຸນນະພາບການຜະລິດທີ່ສອດຄ່ອງ.

ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງ semicorex coated salembooon ບໍ່ພຽງແຕ່ແກ້ໄຂຄວາມພະຍາຍາມທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ພວກມັນກໍ່ມີຄວາມຍືດຍຸ່ນແລະສາມາດປັບປ່ຽນໄດ້ຍາກທີ່ຈະເຫມາະສົມກັບການຕັ້ງຄ່າລະບົບການຕັ້ງຄ່າຕ່າງໆ. ພວກມັນຍັງສາມາດຜະລິດໄດ້ໃນຂະຫນາດທີ່ແນ່ນອນ, ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ, ແລະການອອກແບບ / ຄວາມທົນທານທີ່ເຫມາະສົມກັບອຸປະກອນທີ່ດີ. ຄວາມຄ່ອງແຄ້ວນີ້ຊ່ວຍໃນການຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນທີ່ມີຢູ່ແລ້ວສາມາດປະສົມປະສານຢ່າງສະບາຍແລະຮັກສາຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທີ່ເຫມາະສົມທີ່ສຸດ.