ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ SiC

ຂໍ້ດີຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ Semicorex SiC

1. ການປົກປ້ອງທີ່ເຂັ້ມແຂງຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ

ການເຄືອບ CVD SiC ຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ Semicorex SiC ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການປົກປ້ອງທີ່ເຂັ້ມແຂງຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມ reactive ແລະ corrosive ທີ່ພົບໃນຂະບວນການ MOCVD ແລະ EPI. ການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງທີ່ເປັນຕາຢ້ານ, ປົກປ້ອງອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນຈາກຄວາມເສຍຫາຍ. ການປົກປ້ອງນີ້ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາ.

2. ປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນ

ຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງການເຄືອບ SiC ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນແລະປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂອງພວກເຮົາ. ຄວາມສາມາດຂອງການເຄືອບສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ SiC ຮັກສາປະສິດທິພາບຂອງເຂົາເຈົ້າໃນໄລຍະຂະຫຍາຍ. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນໃນຂະບວນການ semiconductor, ນໍາໄປສູ່ການປັບປຸງຄຸນນະພາບອຸປະກອນແລະຜົນຜະລິດ.

3. ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະການປົນເປື້ອນຕ່ໍາ

ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງການເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ດ້ວຍຄວາມເປື້ອນຫນ້ອຍກວ່າ 5ppm, ການເຄືອບຂອງພວກເຮົາບໍ່ໄດ້ແນະນໍາການປົນເປື້ອນໃດໆທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ຄວາມບໍລິສຸດສູງນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາມາດຕະຖານທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ຕ້ອງການໃນການຜະລິດ semiconductor.

4. ການປັບແຕ່ງສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ

ຄວາມສາມາດຂອງພວກເຮົາໃນການແກ້ໄຂຂະບວນການເຄືອບ SiC ເພື່ອສະຫນອງຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຫນ້າດິນທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂອງພວກເຮົາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະ. ການປັບແຕ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ SiC ແຕ່ລະແມ່ນເຫມາະສົມຢ່າງສົມບູນກັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຕັ້ງໃຈ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໂດຍລວມຂອງຂະບວນການຜະລິດ.

5. ຄວາມທົນທານແລະອາຍຸຍືນ

ການຍຶດເກາະທີ່ດີເລີດແລະຄວາມທົນທານຂອງການເຄືອບ CVD SiC ຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ Semicorex SiC ຮັບປະກັນວ່າມັນຍັງຄົງມີປະສິດທິພາບໃນໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ, ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງ. ຄວາມທົນທານນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນແລະການບໍາລຸງຮັກສາເລື້ອຍໆ, ເຮັດໃຫ້ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານຕ່ໍາແລະການປັບປຸງຜົນຜະລິດ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງສານເຄືອບຕໍ່ການຮອຍແຕກເພີ່ມຄວາມທົນທານຂອງມັນ, ຮັບປະກັນການປົກປ້ອງທີ່ສອດຄ່ອງແລະການປະຕິບັດ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນການຜະລິດ Semiconductor

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ Semicorex SiC ເປັນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆພາຍໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບ:

ຂະບວນການ MOCVD: ການຖິ້ມທາດອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ-ອິນຊີແມ່ນຂະບວນການສໍາຄັນໃນການຜະສົມສານ semiconductors. ໃນສະພາບແວດລ້ອມດັ່ງກ່າວ, ການເຄືອບ CVD SiC ຂອງ Semicorex SiC Coating Heater ສະຫນອງການປົກປ້ອງທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້.

ຂະບວນການ EPI: ຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແລະການປົກປ້ອງຈາກທາດອາຍຜິດ reactive. ການເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາດີເລີດໃນເງື່ອນໄຂເຫຼົ່ານີ້, ຮັກສາຄວາມສົມບູນແລະການປະຕິບັດຂອງອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ.