Semicorex ແມ່ນຄູ່ຮ່ວມງານຂອງທ່ານສໍາລັບການປັບປຸງການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງພວກເຮົາມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ອຸນຫະພູມສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ, ເຊິ່ງມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນວົງຈອນທັງຫມົດຂອງການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງ semiconductor wafer & wafer processing ແລະ semiconductor fabrication.
ອົງປະກອບເຊລາມິກ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ຂະບວນການໃນເຊມິຄອນດັກເຕີ. ການສະເຫນີຂອງພວກເຮົາມີຂອບເຂດຈາກພາກສ່ວນທີ່ບໍລິໂພກສໍາລັບອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer, ເຊັ່ນ: Silicon Carbide wafer boat, cantilever paddles, tubes, ແລະອື່ນໆສໍາລັບ Epitaxy ຫຼື MOCVD.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor
ໄລຍະການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆເຊັ່ນ epitaxy ຫຼື MOCVD, ຫຼືການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer ເຊັ່ນ etching ຫຼື ion implant ຕ້ອງອົດທົນກັບອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. Semicorex ສະຫນອງການກໍ່ສ້າງ silicon carbide (SiC) ຄວາມບໍລິສຸດສູງໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ທົນທານ, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຊັ້ນ epic ທີ່ສອດຄ່ອງແລະການຕໍ່ຕ້ານ.
Chamber Lids →
Chamber Lids ທີ່ໃຊ້ໃນການຈະເລີນເຕີບໂຕໄປເຊຍກັນແລະການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer ຕ້ອງທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນການແຜ່ກະຈາຍຫຼື LPCVD furnaces ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຊັ່ນການແຜ່ກະຈາຍແລະ RTP.
ທໍ່ຂະບວນການ →
ທໍ່ຂະບວນການແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ, ອອກແບບໂດຍສະເພາະໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ semiconductor ຕ່າງໆເຊັ່ນ RTP, ການແຜ່ກະຈາຍ.
ເຮືອ Wafer →
ເຮືອ wafer ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າ wafers ທີ່ລະອຽດອ່ອນຈະຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ຢ່າງປອດໄພໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດທີ່ສໍາຄັນ.
Inlet Rings →
SiC coated gas inlet ring ໂດຍອຸປະກອນ MOCVD ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງທາດປະສົມມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສຸດ.
Focus Ring →
Semicorex ສະຫນອງແຫວນໂຟກັດ Silicon Carbide Coated ແມ່ນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແທ້ໆສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດ RTA, RTP ຫຼືສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum chucks ແມ່ນການເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຈັດການ wafer.
Semicorex ຍັງມີຜະລິດຕະພັນເຊລາມິກໃນ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), ອະລູມິນຽມ Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, ແລະອື່ນໆ.
Semicorex Silicon Carbide Valve ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆ, ສະຫນອງການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນ, ຄວາມທົນທານຂອງອຸນຫະພູມ, ແລະຄວາມທົນທານຂອງກົນຈັກ. ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາຕັ້ງແຕ່ປິໂຕເຄມີຈົນເຖິງຊີວະຢາ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດງານທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ້າທາຍທີ່ສຸດ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມPBN Electrostatic Chuck ໂດຍ Semicorex ໂດດເດັ່ນໃນພາກສະຫນາມຂອງການຈັດການ wafer ໃນການຜະລິດ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະລັກ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມRoller Silicon Nitride, ນໍາສະເຫນີໂດຍ Semicorex, ແມ່ນຫັດຖະກໍາຈາກຄວາມກົດດັນອາຍແກັສ sintered silicon nitride (Si3N4), ວັດສະດຸເຊລາມິກປະສິດທິພາບສູງ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex SiC Rotary Seal Ring ຖືກອອກແບບມາເພື່ອປະຕິບັດພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງແລະອຸນຫະພູມສູງ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມທົນທານຂອງມັນຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມດັ່ງກ່າວເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ບໍ່ມີຄ່າໃນການນໍາໃຊ້ການຜະນຶກທີ່ວັດສະດຸພື້ນເມືອງອາດຈະລົ້ມເຫລວ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex SiC Robot Arm ເປັນແຂນຫຸ່ນຍົນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງຂອງ silicon carbide ceramic ທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມທົນທານໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບຄວາມຊໍານານຂອງພວກເຮົາໃນການສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ມີນະວັດຕະກໍາ, ເຊື່ອຖືໄດ້, ແລະມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມເຮືອ Semicorex SiC ແມ່ນຜູ້ຖື wafer ເຊລາມິກ silicon carbide ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມທົນທານໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ. ເລືອກ Semicorex ສໍາລັບຄຸນນະພາບທີ່ບໍ່ກົງກັນ, ຄວາມຊ່ຽວຊານໃນອຸດສາຫະກໍາ, ແລະການແກ້ໄຂທີ່ເຫມາະສົມທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດຂອງທ່ານ.*
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ