ການເຄືອບ SiC ແມ່ນຊັ້ນບາງໆໃສ່ຕົວດູດຜ່ານຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ວັດສະດຸ silicon carbide ສະຫນອງຂໍ້ໄດ້ປຽບຈໍານວນຫນຶ່ງຂອງຊິລິໂຄນ, ລວມທັງ 10x ການທໍາລາຍຄວາມເຂັ້ມແຂງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, 3x ຊ່ອງຫວ່າງແຖບ, ເຊິ່ງສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດເຊັ່ນດຽວກັນກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນ.
Semicorex ໃຫ້ບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານປະດິດສ້າງດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ຍາວນານ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຮອບວຽນ, ແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດ.
ການເຄືອບ SiC ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ
ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: CVD SiC coated susceptor ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C ໂດຍບໍ່ມີການ undergoing ການເຊື່ອມໂຊມຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນ.
ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ: ການເຄືອບ silicon carbide ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບສານເຄມີທີ່ຫລາກຫລາຍ, ລວມທັງອາຊິດ, ດ່າງ, ແລະສານລະລາຍອິນຊີ.
ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່: ການເຄືອບ SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສວມໃສ່ແລະນ້ໍາຕາສູງ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການເຄືອບ CVD SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງສູງ: susceptor ເຄືອບ silicon carbide ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງຕົວສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ.
ການເຄືອບ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ
ການຜະລິດ LED: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດການປຸງແຕ່ງຂອງປະເພດ LED ຕ່າງໆ, ລວມທັງ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, LED UV ແລະເລິກ UV LED, ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
ການສື່ສານມືຖື: CVD SiC coated susceptor ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງ HEMT ເພື່ອເຮັດສໍາເລັດຂະບວນການ GaN-on-SiC epitaxial.
Semiconductor Processing: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.
SiC ເຄືອບ graphite ອົງປະກອບ
ເຮັດໂດຍ Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ການເຄືອບແມ່ນໃຊ້ໂດຍວິທີການ CVD ກັບຊັ້ນສະເພາະຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ສະນັ້ນມັນສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເກີນ 3000 °C ໃນບັນຍາກາດ inert, 2200 ° C ໃນສູນຍາກາດ. .
ຄຸນສົມບັດພິເສດແລະມະຫາຊົນຕ່ໍາຂອງວັດສະດຸອະນຸຍາດໃຫ້ອັດຕາຄວາມຮ້ອນໄວ, ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ໂດດເດັ່ນໃນການຄວບຄຸມ.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex SiC
ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປ |
ໜ່ວຍ |
ຄຸນຄ່າ |
ໂຄງສ້າງ |
|
ໄລຍະ FCC β |
ປະຖົມນິເທດ |
ເສດສ່ວນ (%) |
111 ມັກ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ |
g/cm³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ສະຫຼຸບ CVD SiC coated susceptor ເປັນວັດສະດຸປະສົມທີ່ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຂອງ susceptor ແລະ silicon carbide. ວັດສະດຸນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກ, ລວມທັງອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະຄວາມແຂງ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ດຶງດູດສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ, ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ, ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ແລະການຜະລິດ LED.
ໂມດູນ SIMEOREX ປະສົມປະສານຄວາມທົນທານ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະວິສະວະກໍາທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນ, ເຊິ່ງເປັນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນການເຕີບໂຕຂອງ SIG. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄຸນນະພາບທີ່ບໍ່ມີຄຸນນະພາບໃນການເຄືອບວິທີແກ້ໄຂຮູບພາບແລະການປະຕິບັດໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມsemicorex ເທິງເຄິ່ງທາງວົງເດືອນແມ່ນ sic sic-coated wafer graphite graphite graphite ທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນການນໍາໃຊ້ປະຕິກອນ Epitaxial. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄວາມບໍລິຈາກວັດສະດຸທີ່ນໍາໄປອຸດສະຫະກໍາ, ເຄື່ອງຈັກທີ່ຊັດເຈນ, ແລະເຄືອບ sic ແບບທີ່ເປັນເອກະພາບທີ່ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຍາວນານແລະຄຸນນະພາບ wafer ດີກວ່າ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມເຄື່ອງບັນທຸກເຄື່ອງປະດັບ Semicorex Sic ແມ່ນ Salferers Gradity Purrivite ທີ່ມີຊິລິໂຄນສູງພ້ອມກັບ CVD Silicon Carbide, ທີ່ອອກແບບມາເພື່ອການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ດີທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ດີທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ດີທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ດີທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ດີກວ່າ. ເລືອກ semicorex ສໍາລັບຄຸນນະພາບການເຄືອບທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ, ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ໄດ້ຮັບການພິຈາລະນາໂດຍ semiconductor ຊັ້ນນໍາທົ່ວໂລກ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSumentorex Sic ເຄືອບທີ່ເຮັດດ້ວຍ SMEMICEX SICFECTOR ແມ່ນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງສະເພາະສໍາລັບການຝາກຫນັງທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບພາຍໃຕ້ສະພາບການທີ່ກົດດັນ. ດ້ວຍວິສະວະກໍາວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າ, ການຄວບຄຸມການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ສົມບູນແບບ, ແລະການປັບປຸງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະການປັບແຕ່ງອຸດສາຫະກໍານໍາຫນ້າ
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມວົງແຫວນ WaferOW 8-inch 8-inch ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ຊັດເຈນແລະການປະຕິບັດງານພິເສດໃນຄວາມຮ້ອນທີ່ຫນ້າຕື່ນເຕັ້ນແລະຄວາມຮ້ອນ. semicorex ສົ່ງວິສະວະກໍາສະເພາະສະເພາະ, ການຄວບຄຸມທີ່ແຫນ້ນຫນາ, ແລະຄຸນນະພາບການເຄືອບ SIC ທີ່ສອດຄ່ອງກັບການປຸງແຕ່ງຄວາມຕ້ອງການຂອງ semiconduor ທີ່ກ້າວຫນ້າ. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຜ່ນເຄືອບ Semicorex RTP SIC ແມ່ນຜູ້ຂົນສົ່ງ Wafer ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ໄດ້ຮັບການອອກແບບໃນການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ. ໄວ້ວາງໃຈໂດຍຜູ້ຜະລິດ semiconductor ນໍາຫນ້າ, semicorex ສົ່ງສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມທົນທານ, ຄວາມທົນທານແລະການຄວບຄຸມທີ່ມີຄຸນນະພາບແລະການຜະລິດທີ່ມີຄວາມພີ້. *
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ