8. ຜູ້ສະຫນັບສະຫນູນ INCH EPI

semicorex 8 ນິ້ວ sepi sepi ແມ່ນພາກສ່ວນທີ່ສະຫນັບສະຫນູນດ້ານເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີສູງເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປະຕິບັດການຝາກເງິນຂອງ epitaxial ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductors. ມັນໄດ້ຖືກຜະລິດດ້ວຍວັດສະດຸແກນທີ່ແທ້ຈິງທີ່ມີຄວາມຫນາພໍສົມຄວນທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງປະຕິສັງຫານຊິລິໂຄນ (SIC) ທີ່ໃຊ້ໃນຄວາມຕ້ານທານ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີແລະຄວາມຕ້ານທານຂອງການຝາກເງິນແມ່ນສໍາຄັນ. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂະຫນາດ 8 ນິ້ວແມ່ນມາດຕະຖານສໍາລັບສະເພາະຂອງອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີຂະບວນການທີ່ມີຂະບວນການ 200 mm ແລະດັ່ງນັ້ນໃຫ້ການເຊື່ອມໂຍງເຂົ້າກັບການປະດິດແຕ່ງ.  

ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ Epitaxial ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ສູງແລະມີການໂຕ້ຕອບດ້ານວັດຖຸທີ່ຂ້ອນຂ້າງ. ໃນທັງສອງເຫດການ SIC coated graphite ຈະໄດ້ຮັບການປະຕິບັດໃນທາງບວກ. ຫຼັກຂອງ Graphite ມີຄວາມຮ້ອນສູງຫຼາຍແລະມີການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຫມາຍຕໍ່າຫຼາຍທີ່ມີຄວາມຮ້ອນພຽງພໍສາມາດໄດ້ຮັບການຍົກຍ້າຍແລະຮັກສາເຄື່ອງມືທີ່ມີຄວາມສອດຄ່ອງກັນໃນທົ່ວຫນ້າຂອງ wafer ຊັ້ນນອກຂອງ SIC ແມ່ນມີຜົນບັງຄັບໃຊ້ໃນເປືອກນອກຂອງ susceptor. ຊັ້ນ SIC ປົກປ້ອງພື້ນທີ່ມີຄວາມອ່ອນແອຈາກອຸນຫະພູມສູງ, ຄຸນລັກສະນະທີ່ເປັນສານລະພິດຂອງທາດອາຍພິດ, ແລະການທໍາລາຍກົນຈັກຂອງການສວມໃສ່ກົນຈັກທີ່ເກີດຂື້ນ. ໂດຍລວມແລ້ວພວກເຮົາສາມາດຄາດເດົາໄດ້ຢ່າງສົມເຫດສົມຜົນວ່າໂຄງສ້າງວັດສະດຸສອງຢ່າງນີ້ແມ່ນຫນາພໍ, ຄວາມອ່ອນແອຈະຍັງຄົງເປັນກົນຈັກທີ່ມີກົນຈັກແລະມີຄວາມລະອຽດໃນໄລຍະເວລາທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແກ່ຍາວ. ສະຫລຸບ, ພວກເຮົາໄດ້ສັງເກດເຫັນສິ່ງນີ້ໂດຍບໍ່ມີປະສິດຕິພາບໃນຂອບເຂດຄວາມຮ້ອນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, ແລະຮູບພາບທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືລະຫວ່າງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສຸດໃນຂະນະທີ່ຄວາມຍາວຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ສ່ວນປະກອບຂອງ Graphite ມີສ່ວນທີ່ສໍາຄັນແລະສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ແລະຄຸນນະພາບຂອງວັດຖຸ Graphite ແມ່ນປັດໃຈທີ່ສໍາຄັນໃນການປະຕິບັດງານຂອງຜະລິດຕະພັນ. ທີ່ semicorex ພວກເຮົາມີການຄວບຄຸມທີ່ເຂັ້ມງວດໃນທຸກໆບາດກ້າວຂອງຂະບວນການຜະລິດຂອງພວກເຮົາສະນັ້ນພວກເຮົາສາມາດເປັນເອກະພາບດ້ານວັດຖຸດິບແລະຄວາມສອດຄ່ອງສູງຈາກ batch. ດ້ວຍຂະບວນການຜະລິດຂະຫນາດນ້ອຍຂອງພວກເຮົາ, ພວກເຮົາມີເຕົາປະເທດກາກບອນຂະຫນາດນ້ອຍຂອງປະລິມານພຽງແຕ່ 50 ແມັດກ້ອນ, ໃຫ້ພວກເຮົາຮັກສາການຄວບຄຸມທີ່ລວດໄວໃນຂັ້ນຕອນການຜະລິດ. ແຕ່ລະ Graphite Block ໄດ້ຜ່ານການຕິດຕາມແຕ່ລະບຸກຄົນ, ຕິດຕາມໄດ້ຕະຫຼອດຂະບວນການຂອງພວກເຮົາ. ນອກເຫນືອໄປຈາກການຕິດຕາມກວດກາອຸນຫະພູມຫຼາຍຈຸດພາຍໃນເຕົາອົບ, ຄວາມສົນໃຈຂອງພວກເຮົາຕໍ່ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນພາຍໃນແລະຜະລິດສ່ວນປະກອບຂອງ Graphite ທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະສາມາດແຜ່ພັນໄດ້.

ການເຄືອບ Sic ຖືກນໍາໃຊ້ຜ່ານການຝາກເງິນ vapor (CVD), ແລະຜະລິດພື້ນທີ່ສໍາເລັດຮູບທີ່ແຂງແກ່ນທີ່ເຮັດໃຫ້ມີຕາຕະລາງການຜະລິດເຂົ້າຫນົມປັງ; ແລະເພາະສະນັ້ນ, ຂະບວນການ CVD ທີ່ສະອາດໄດ້ຮັບການປັບປຸງ. ການຄວບຄຸມຂະບວນການ CVD ທີ່ຄວບຄຸມຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບແລະເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະສະຖຽນລະພາບໃນໄລຍະຄວາມຮ້ອນ. ໃນທີ່ສຸດນີ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເປັນດິນທີ່ດີເລີດທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດການຝາກເງິນທີ່ສຸດໃນຂະບວນການທີ່ສຸດໃນຕອນກາງຄືນ.

ຄວາມສອດຄ່ອງທາງມິຕິແມ່ນປະໂຫຍດພື້ນຖານອີກປະການຫນຶ່ງຂອງຂະຫນາດ 8 ນິ້ວທີ່ມີການຜະລິດໂດຍ semicorex. ຜູ້ທີ່ມີຄວາມສົງໄສວ່າມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມທົນທານທີ່ເຄັ່ງຄັດເຮັດໃຫ້ມີຄວາມເປັນເຂົ້າກັນດີກັບຫຸ່ນຍົນທີ່ມີຂົນສັດແລະຄວາມເຫມາະສົມໃນເຂດຄວາມຮ້ອນໃນເຂດຄວາມຮ້ອນ. ພື້ນຜິວທີ່ມີຄວາມໂປ່ງໃສແລະການປັບແຕ່ງກັບຄວາມຮ້ອນໂດຍສະເພາະແລະສະພາບການໄຫຼຂອງເຕົາປະຕິກອນທີ່ສະເພາະເຈາະຈົງທີ່ວ່າຜູ້ທີ່ມີຄວາມອ່ອນແອຈະຖືກນໍາເຂົ້າໄປໃນ. ຕົວເລືອກຕ່າງໆ, ຕົວຢ່າງຍົກຕົວຢ່າງ, ຍົກຮູເຂັມ, ບ່ອນພັກຜ່ອນລຸມຫລືພື້ນທີ່ຕ້ານການເລື່ອນທັງຫມົດສາມາດຈັບຄູ່ກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງເຄື່ອງມືແລະຂະບວນການ.

ສົງໃສແຕ່ລະອັນທີ່ກໍາລັງທົດສອບຫຼາຍຄັ້ງສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນແລະການເຄືອບຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ. ວິທີການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບລວມມີການວັດແທກຂະຫນາດແລະການກວດຄວາມຫນຽວ, ການທົດສອບຄວາມຕ້ານທານຄວາມທົນທານ, ແລະການປະຕິບັດການຕໍ່ຕ້ານ ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ສຸດໃນທີ່ສຸດຈະຕອບສະຫນອງແລະເກີນຄວາມຕ້ອງການທີ່ຕ້ອງການໃນປະຈຸບັນຂອງອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດຮູບແບບ semiconductor.

semicorex 8 ນິ້ວ sepi sepi ແມ່ນຜະລິດຈາກ SIC ເຄືອບຮູບພາບທີ່ດຸ່ນດ່ຽງການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມເຄັ່ງຄັດກົນຈັກ, ແລະຄວາມບໍ່ມີຄວາມລໍາອຽງທາງເຄມີ. ຜູ້ທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນ 8 ນິ້ວແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນສໍາລັບການນໍາໃຊ້ການເຕີບໂຕຂອງລະດັບສູງໃນປະລິມານທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ສະອາດໃນຂະບວນການສູງ, ເປັນເອກະພາບສູງທີ່ກໍານົດໄວ້ໃນລະດັບສູງ. ຂະຫນາດ 8 ນິ້ວຂອງ EPI SPATPORT ແມ່ນເຫັນໄດ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນອຸປະກອນ 8 ນິ້ວໃນຕະຫຼາດໃນຕະຫຼາດແລະມີການແລກປ່ຽນກັບອຸປະກອນລູກຄ້າທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ. ໃນການຕັ້ງຄ່າມາດຕະຖານຂອງມັນທີ່ epi sepceptor ແມ່ນສາມາດປັບປຸງໄດ້ສູງ.