injector silicon

ເຄື່ອງສັກຢາຊິລິໂຄນ SEMICOREX ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອການຈັດສົ່ງອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນໃນລະບົບການຝາກເງິນທີ່ມີຄວາມກົດດັນໃນລະບົບ Polysilicon Polyilicon ແລະ Polyilicon. ການກໍ່ສ້າງຈາກ 9n (99.9999999%)ຊິລິກາຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຄື່ອງສີດຫຼອດນ້ໍາມັນໄດ້ສະແດງຄວາມສະອາດດີກວ່າ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສານເຄມີ, ແລະສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນໃນສະພາບຂອງຂະບວນການທີ່ສຸດ.

ໃນຂະນະທີ່ການຜະລິດ semiconductor ຍັງສືບຕໍ່ພັດທະນາໄປສູ່ລະດັບການເຊື່ອມໂຍງເຂົ້າກັນແລະການຄວບຄຸມທີ່ສູງກວ່າໃນຫ້ອງການສົ່ງອາຍແກັສກໍ່ຈະຕ້ອງໄດ້ມາດຕະຖານທີ່ສູງກວ່າແຕ່ກ່ອນ. ເຄື່ອງສັກຢາຊິລິໂຄນ semicorex ໄດ້ຖືກພັດທະນາໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ໃນຕະຫຼອດຫ້ອງທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນທາງທີ່ມີການປົນເປື້ອນທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ມີຄຸນນະພາບໃນຮູບເງົາ, ຫຼືຜົນຜະລິດ wafer.

ເຄື່ອງສັກຢາແມ່ນຜະລິດຈາກ silicon monocrystall ຫຼື policcrystalline ຫຼື solicon policcrystalline ຂື້ນກັບຄວາມຕ້ອງການໃນການ, ແລະອຸປະກອນການຖືກອອກແບບໃຫ້ເປັນໂລຫະທີ່ມີໂລຫະຕໍ່າ, ແລະຄວາມບໍ່ສະອາດ ionic. ນີ້ສະຫນອງຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສະພາບ lpcvd ທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເຖິງແມ່ນວ່າການປົນເປື້ອນຮ່ອງຮອຍສາມາດກະຕຸ້ນຄວາມບົກຜ່ອງໃນຮູບເງົາຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ. ການນໍາໃຊ້ຊິລິໂຄນເປັນເອກະສານພື້ນຖານຍັງຫຼຸດຜ່ອນຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງກັບອຸປະກອນການ injector ແລະປະຕິກິລິຍາທີ່ມີຄວາມສ່ຽງໃນການນໍາໃຊ້ຫຼືການປະຕິບັດການນໍາໃຊ້.

ໂຄງປະກອບເປັນຫຼອດຫຼອດຂອງເຄື່ອງສັກນ້ໍາຊິລິໂຄນຊ່ວຍໃຫ້ມີການແຈກຢາຍອາຍແກັສທີ່ຖືກຄວບຄຸມແລະເທົ່າທຽມກັນໃນການໂຫຼດທີ່ອຸດົມສົມບູນ. ແຜ່ນໃບຄ້າຍຄືເຄື່ອງຈັກທີ່ອອກແບບລະດັບຈຸນລະພາກແລະມີອັດຕາການໄຫຼວຽນທີ່ລຽບນຽນພ້ອມກັບແບບເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສໍາລັບຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາທີ່ສອດຄ່ອງແລະອັດຕາເງິນຝາກທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນເຕົາ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນ silane (sih₄), dichlorosilane (sih₂cl₂), ຫຼືອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາອື່ນໆ, ເຄື່ອງສີດມີຄວາມລະມັດລະວັງແລະຄວາມຕ້ອງການທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການເຕີບໂຕຮູບເງົາ polysilicon ທີ່ມີຄຸນນະພາບດີ.

ເນື່ອງຈາກສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ເຄື່ອງສັກນ້ໍາ SEMICOREX ສາມາດຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໄດ້ເຖິງ 1250 ° C ແລະອາດຈະຖືກຄວບຄຸມດ້ວຍຄວາມຜິດປົກກະຕິ, ຫຼື warping. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມຕັ້ງໃຈສູງທີ່ຈະຜຸພັງແລະຄວາມບໍ່ມີຄວາມຄິດເຫັນທາງເຄມີໃຫ້ແລ່ນຍາວໃນຂະນະທີ່ໃນການຫຼຸດຜ່ອນ, ຫຼືບັນຍາກາດທີ່ຈະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

ເຄື່ອງສີດແຕ່ລະອັນແມ່ນຜະລິດໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງປັ່ນປ່ວນແລະໂປໂລຍ, ບັນລຸຄວາມທົນທານມິຕິລະດັບ micron ແລະສໍາເລັດຮູບທີ່ລຽບງ່າຍ. ພື້ນຜິວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສໍາເລັດ minimizes turbulence ກອມ, ສ້າງຫນ້ອຍທີ່ສຸດໃນຂະນະທີ່ຮັບປະກັນຄຸນລັກສະນະດ້ານຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມກົດດັນ. ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຮັບປະກັນຂະບວນການທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງແຫນ້ນຫນາ, ການແຜ່ພັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ແລະດັ່ງນັ້ນການປະຕິບັດອຸປະກອນທີ່ສອດຄ່ອງກັນ.

Semicorex ຜະລິດເຄື່ອງສູບນ້ໍາຊິລິໂຄນ, ມີຢູ່ໃນຄວາມຍາວຂອງລູກຄ້າ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ, ແລະການຕັ້ງຄ່າ nozzle. ມີການພັດທະນາທີ່ເຫມາະສົມສາມາດພັດທະນາເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍຮູບແບບການກະແຈກກະຈາຍຂອງອາຍແກັສສໍາລັບເລຂາຄະນິດຢາເລຂາຄະນິດຫນຶ່ງທີ່ປິດຫຼືສູດອາຫານການຝາກ. ຜູ້ສີດແຕ່ລະຄົນແມ່ນໄດ້ຮັບການກວດກາແລະກວດສອບຄວາມບໍລິສຸດເພື່ອໃຫ້ລະດັບສູງສຸດຂອງຊັ້ນຮຽນ semiconductorສ່ວນປະກອບຊິລິໂຄນ.

ເຄື່ອງສັກນ້ໍາ semicorex silicor ໃຫ້ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຕ້ອງການໃນການຜະລິດ semiconductor ມື້ນີ້. ການປະກອບການປະຕິບັດໃນການສະສົມຂອງ Silicon Purity, ລະດັບສູງ, ແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ສູງທີ່ສຸດ, ແລະການຝາກເງິນທີ່ LPCVD Polysilicon.