The Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ວາງຍຸດທະສາດຢູ່ນອກ wafer ເພື່ອຮັກສາການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງ. ໂດຍການນໍາໃຊ້ແຮງດັນໄຟຟ້າທີ່ໃຊ້, ວົງແຫວນນີ້ສຸມໃສ່ການ plasma ຜ່ານມັນ, ດັ່ງນັ້ນການເພີ່ມຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການໃນ wafer. ສ້າງຂຶ້ນແຕ່ພຽງຜູ້ດຽວຈາກ Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), ວົງແຫວນນີ້ປະກອບດ້ວຍຄຸນນະພາບພິເສດທີ່ຕ້ອງການໂດຍອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຢູ່ Semicorex ມີຄວາມຕັ້ງໃຈໃນການຜະລິດແລະການສະຫນອງວົງແຫວນໂຟກັດ Solid Silicon Carbide ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ fuse ທີ່ມີຄຸນນະພາບກັບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ໃນການຜະລິດ semiconductor, ແຫວນເນັ້ນ Semicorex Solid Silicon Carbide ປະຕິບັດຫນ້າທີ່ສໍາຄັນໂດຍການເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນໄສ້, ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ etching. ການອອກແບບວິສະວະກໍາຢ່າງພິຖີພິຖັນຮັບປະກັນການແກະສະຫຼັກທີ່ຊັດເຈນແລະເປັນເອກະພາບ, ດັ່ງນັ້ນການອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຜະລິດອົງປະກອບ semiconductor ທີ່ມີຄວາມຊັບຊ້ອນສູງທີ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ເຫນືອກວ່າ.
Silicon carbide ແມ່ນວັດສະດຸທາງເລືອກສໍາລັບວົງການສຸມໃສ່ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ານທານດີກວ່າຂອງຕົນຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງ plasma ເມື່ອສໍາຜັດກັບ plasma ພາຍໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາສູນຍາກາດ. The Solid Silicon Carbide Focusing Ring ດີກວ່າຊິລິຄອນດັ້ງເດີມໃນຫຼາຍດ້ານ, ລວມທັງ:
(1) ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງທີ່ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການ etching.
(2) ຊ່ອງຫວ່າງແຖບຊັ້ນສູງແລະຄຸນສົມບັດ insulation ທີ່ດີເລີດ.
(3) ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນ.
(4) ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສູງບວກໃສ່ກັບຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບຜົນກະທົບກົນຈັກ.
(5) ຄວາມແຂງທີ່ໂດດເດັ່ນ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.
ການນໍາຂອງ Silicon carbide ແລະການຕໍ່ຕ້ານການ etching ion ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບຊິລິຄອນ, ເຮັດໃຫ້ Solid Silicon Carbide Focusing Ring ເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກນີ້.
ວົງການສຸມໃສ່ການ Semicorex Solid Silicon Carbide ຢືນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ທັນສະໄຫມໃນຂອບເຂດຂອງການຜະລິດ semiconductor. ມັນ leverages ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ CVD SiC ເພື່ອອໍານວຍຄວາມສະດວກຂະບວນການ etching ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ປະສິດທິພາບສູງ, ປະກອບສ່ວນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຊີ semiconductor.