Susceptors ສໍາລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ MOCVD

Semicorex's Susceptors ສໍາລັບ MOCVD Reactors ແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຕ່າງໆເຊັ່ນຊັ້ນ silicon carbide ແລະ epitaxy semiconductor. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາແມ່ນມີຢູ່ໃນຮູບຊົງເກຍຫຼືວົງແຫວນແລະຖືກອອກແບບເພື່ອບັນລຸຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

Susceptors ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ MOCVD ແມ່ນເຮັດໂດຍການລະລາຍຂອງ vapor ເຄມີ CVD ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ພື້ນຜິວຂອງຜະລິດຕະພັນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ມີອະນຸພາກລະອຽດແລະຄວາມແຂງສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ corrosion ກັບອາຊິດ, alkali, ເກືອ, ແລະ reagents ອິນຊີ.
Susceptors ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບ MOCVD Reactors ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຮັບປະກັນການເຄືອບໃນທຸກດ້ານ, ຫຼີກເວັ້ນການປອກເປືອກອອກ, ແລະບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ. ຜະລິດຕະພັນຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງ profile ຄວາມຮ້ອນແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼື impurities ການແຜ່ກະຈາຍໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ, ຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບຄຸນນະພາບສູງ.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມພໍໃຈຂອງລູກຄ້າແລະສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.

ພາລາມິເຕີຂອງ Susceptors ສໍາລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ MOCVD

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນສົມບັດຂອງ SiC Coated Graphite Susceptor ສໍາລັບ MOCVD

- ຫຼີກເວັ້ນການປອກເປືອກອອກແລະຮັບປະກັນການເຄືອບທຸກດ້ານ
ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C
ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ CVD ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ດ້ານຫນາແຫນ້ນແລະອະນຸພາກລະອຽດ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
- ບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ
- ຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງ profile ຄວາມຮ້ອນ
- ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼື impurities ການແຜ່ກະຈາຍ