ແຜ່ນດາວເຄາະເຄືອບ TAC

ແຜ່ນດາວເຄາະທີ່ມີຂະຫນາດ Semicorex Tac ເຮັດເປັນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນ Mocvd, ສະແດງໃຫ້ເຫັນການອອກແບບດາວເຄາະທີ່ມີຢູ່ໃນກະເປົາທີ່ມີຢູ່ໃນພື້ນຜິວຂອງມັນ. ກະເປົ these າເຫຼົ່ານີ້ຖືກສ້າງຂື້ນໂດຍສະເພາະໃນໄລຍະການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນຂອງຊັ້ນອະໄວຍະວະ, ເຮັດໃຫ້ມີການເຄື່ອນໄຫວຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ເລຂາຄະນິດຖົງທີ່ແນ່ນອນສະຫນອງການຈັດວາງ Wafer ທີ່ສອດຄ່ອງກັນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຊັ້ນຄວາມຈໍາເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນອະໄວຍະວະແລະລະດັບຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານອະນຸພາກສໍາລັບທຸກບ່ອນທີ່ປູກໃນລະດັບດຽວກັນ.

ລັກສະນະການອອກແບບທີ່ສໍາຄັນຂອງແຜ່ນດາວເຄາະ, ອີກເທື່ອຫນຶ່ງ, ແມ່ນການກະແຈກກະຈາຍທີ່ມີການພັດທະນາຢູ່ຕາມຫນ້າຜາຂອງແຜ່ນ. ຂຸມເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບແລະມີຄວາມຕັ້ງໃຈຢ່າງລະມັດລະວັງແລະມີຄວາມສູງໂດຍສະເພາະການກະແສຂອງທາດອາຍຜິດໃນເຕົາປະຕິກອນແລະແມ່ນແຕ່ການຝາກເງິນທີ່ບັນລຸໄດ້ໃນແຕ່ລະບ່ອນ. ໃນຂະບວນການ mocvd ໃດກໍ່ຕາມ, ລັກສະນະຂອງນະໂຍບາຍດ້ານອາຍແກັສແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໃນການກໍານົດຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ, ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸປະກອນຄວາມຫນາແລະການປະຕິບັດໂດຍລວມ. ການອອກແບບຮູທີ່ເຫມາະສົມໃນtac ເຄືອບຮັບປະກັນໃຫ້ແຜ່ນດາວຮັບປະກັນວ່າທຸກໆຊ່ອງຫວ່າງທີ່ປະສົບກັບສະພາບການຂະບວນການດຽວກັນ, ເຊິ່ງສະຫນອງວິທີທີ່ດີທີ່ສຸດເພື່ອປັບປຸງຜົນຜະລິດແລະການຈະເລີນພັນທີ່ຈະປັບປຸງຜົນຜະລິດແລະແຜ່ພັນໄດ້.

ໄດ້tac (tantalum carbide) ການເຄືອບ)ສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍການສະແດງແລະຊີວິດຂອງແຜ່ນດາວ. tantalum carbide ແມ່ນຍາກທີ່ສຸດ, ineert ທາງເຄມີ, ແລະຄວາມລຶກລັບໃນການປະຕິບັດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄືອບທີ່ດີເລີດສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມ Mocvd ທີ່ສຸດ. ໃນລະຫວ່າງການ Epitaxy, ສ່ວນປະກອບໃນເຕົາປະຕິກອນຈະພົບກັບອຸນຫະພູມສູງ, ທາດອາຍຜິດ, ແລະການສໍາຜັດຂອງ plasma. ການເຄືອບ tac ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນອຸປະສັກທີ່ເຂັ້ມແຂງຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ການເຕີບໃຫຍ່, ແລະສ່ວນຜະລິດເຂົ້າໃນຊີວິດທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນຂອງແຜ່ນທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດ.

ເຄື່ອງຫມາຍທີ່ມີອາຍຸຍືນແລະຄວາມທົນທານຂອງດາວເຄາະທີ່ມີຄວາມທົນທານແລະຄວາມທົນທານຂອງການເລືອກທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສໍາລັບລະບົບ Mocvd. ຊັ້ນ tac ທີ່ທົນທານສາມາດທົນກັບການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາກັບຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໃນຂະນະທີ່ດໍາເນີນງານໃນໄລຍະເວລາທີ່ມີການຂະຫຍາຍ.