Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor ເປັນອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ epitaxial ຂອງການຜະລິດ semiconductor. Semicorex ແມ່ນອຸທິດຕົນເພື່ອສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ. ພວກເຮົາມີຄວາມກະຕືລືລົ້ນທີ່ຈະສ້າງຕັ້ງການຮ່ວມມືໄລຍະຍາວກັບທ່ານໃນປະເທດຈີນ.*
Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະປະສິດທິພາບຂອງການຜະລິດ semiconductor wafer. ຜະລິດຈາກ graphite ແລະເຄືອບດ້ວຍ tantalum carbide (TaC), TaC Coated Planetary Susceptor ສະຫນອງຄຸນລັກສະນະປະສິດທິພາບພິເສດທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ.
Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor ແມ່ນເຮັດດ້ວຍ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ເລືອກສໍາລັບຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ. ຕົວຍຶດ graphite ໄດ້ຖືກປັບປຸງຕື່ມອີກໂດຍການເຄືອບ tantalum carbide (TaC), ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມແຂງທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຈຸດລະລາຍສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີພິເສດ. ການເຄືອບ TaC ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນ, ປ້ອງກັນ graphite ຈາກອາຍແກັສຂະບວນການ corrosive ແລະສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ harsh ພົບໃນໄລຍະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial. ຄວາມແຂງຂອງ TaC ສູງຍັງເພີ່ມຄວາມທົນທານຂອງ susceptor, ຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່ແລະຍືດອາຍຸການດໍາເນີນງານຂອງຕົນ.
TaC Coated Planetary Susceptor ແມ່ນເພື່ອສະຫນອງແພລະຕະຟອມທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບສໍາລັບການຝາກຂອງຊັ້ນ epitaxial ໃນ wafers semiconductor. ການອອກແບບດາວເຄາະຂອງ susceptor ອະນຸຍາດໃຫ້ມີຄວາມຊັດເຈນແລະແມ້ກະທັ້ງການແຜ່ກະຈາຍຂອງຄວາມຮ້ອນໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer. ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແບບເປັນເອກະພາບນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຊັ້ນ epitaxial ທີ່ສອດຄ່ອງແລະມີຄຸນນະພາບສູງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ຄວາມສາມາດຂອງ TaC Coated Planetary Susceptor ເພື່ອຮັກສາການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງແລະຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງຊັ້ນ epitaxial.
ນອກເຫນືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນແລະສານເຄມີຂອງມັນ, TaC Coated Planetary Susceptor ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial. ການອອກແບບຂອງມັນພິຈາລະນາປັດໄຈຕ່າງໆເຊັ່ນ: ນະໂຍບາຍດ້ານການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງກົນຈັກ. ພື້ນຜິວຂອງ susceptor ໄດ້ຖືກເຄື່ອງຈັກຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອສະເພາະທີ່ຊັດເຈນ, ຮັບປະກັນການໂຕ້ຕອບທີ່ດີທີ່ສຸດກັບອາຍແກັສຂະບວນການແລະສົ່ງເສີມການຝາກວັດສະດຸຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃສ່ wafer. ຄວາມສົນໃຈໃນລາຍລະອຽດນີ້ໃນການອອກແບບແລະຂະບວນການຜະລິດເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການຜະລິດ semiconductor.
Semicorex TaC Coated Planetary Susceptor ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ຂອງການຜະລິດ semiconductor. ການປະສົມປະສານຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະການເຄືອບ tantalum carbide ສະຫນອງຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນ, ເຄມີ, ແລະກົນຈັກພິເສດ. ການອອກແບບຂອງ susceptor ຮັບປະກັນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບແລະການຊຶມເຊື້ອຂອງວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ນໍາໄປສູ່ຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະປັບປຸງການປະຕິບັດອຸປະກອນ semiconductor. ດ້ວຍຄວາມທົນທານ, ຄວາມສອດຄ່ອງ, ແລະຄວາມໄດ້ປຽບທາງດ້ານເສດຖະກິດ, TaC Coated Planetary Susceptor ຢືນອອກເປັນຕົວກະຕຸ້ນທີ່ສໍາຄັນຂອງການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ, ສະຫນັບສະຫນູນການສະແຫວງຫານະວັດກໍາແລະຄວາມເປັນເລີດຂອງອຸດສາຫະກໍາ.