ແຫວນປະທັບຕາທີ່ເຄືອບ taC

Semicorex TaC-coated Seal Ring ນໍາໃຊ້ກັບອົງປະກອບປະທັບຕາໃຫ້ຂໍ້ໄດ້ປຽບປະສິດທິພາບພິເສດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການຂອງ fabrication semiconductor. ການເຄືອບ TaC ແກ້ໄຂສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍກາດ, ແລະການສວມໃສ່ກົນຈັກ, ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດຂະບວນການທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການເພີ່ມເວລາຂອງອຸປະກອນ, ແລະໃນທີ່ສຸດ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຕ່ໍາ. ພວກເຮົາຢູ່ Semicorex ອຸທິດຕົນເພື່ອການຜະລິດແລະການສະຫນອງ TaC-coated Seal Ring ປະສິດທິພາບສູງທີ່ fuses ຄຸນນະພາບທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບ.**

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

Semicorex TaC-coated Seal Ring ສະແດງຄວາມ inertness ທີ່ໂດດເດັ່ນຕໍ່ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງອາຍແກັສ corrosive ແລະສານເຄມີທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ semiconductor, ລວມທັງ plasma etch chemistry (ເຊັ່ນ: fluorine, chlorine, bromine), dopants (e.g., boron, phosphorus), ແລະ. ຕົວແທນທໍາຄວາມສະອາດ. inertness ນີ້ປ້ອງກັນການເຊື່ອມໂຊມຂອງປະທັບຕາແລະການປົນເປື້ອນຂອງຫ້ອງຂະບວນການທີ່ລະອຽດອ່ອນ.

ແລະມີຈຸດລະລາຍທີ່ສູງກວ່າ 3800 ອົງສາເຊ, ແຫວນປະທັບຕາທີ່ເຄືອບ TaC ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ wafer. ນີ້ຮັບປະກັນການປະຕິບັດການຜະນຶກທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຫມູນວຽນ, ການຝັງຕົວ, ແລະ etching ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

The TaC-coated Seal Ring ມີຄວາມແຂງແກ່ນທີ່ສຸດແລະຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານພິເສດຕໍ່ການສວມໃສ່, scratching, ແລະການຂັດ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນໃນການນໍາໃຊ້ການຜະນຶກແບບເຄື່ອນໄຫວທີ່ການເຄື່ອນໄຫວຊ້ໍາຊ້ອນຫຼືການຕິດຕໍ່ກັບ wafers ແລະອົງປະກອບອື່ນໆສາມາດນໍາໄປສູ່ການຜະລິດອະນຸພາກແລະຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງການປະທັບຕາ.

TaC-coated Seal Ring ສະແດງໃຫ້ເຫັນອັດຕາການອອກອາຍແກັສຕ່ໍາຫຼາຍ, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີສູນຍາກາດສູງ. ນີ້ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງຂະບວນການແລະປ້ອງກັນການຕົກຄ້າງຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຢູ່ເທິງຫນ້າ wafer ທີ່ລະອຽດອ່ອນ.

ຜົນປະໂຫຍດສະເພາະໃນການນໍາໃຊ້ Semiconductor:

Extended Seal Lifetime:ແຫວນປະທັບຕາທີ່ເຄືອບ TaC ເພີ່ມອາຍຸການປະທັບຕາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂດຍການໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຫນືອກວ່າຕໍ່ກັບການໂຈມຕີທາງເຄມີ, ການເຊື່ອມໂຊມຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະການສວມໃສ່ກົນຈັກ. ນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນການປະທັບຕາ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາ.

ການປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການແລະຄຸນນະພາບ Wafer:ລັກສະນະ inert ຂອງ TaC-coated Seal Ring ຫຼຸດຜ່ອນການຜະລິດອະນຸພາກແລະການປົນເປື້ອນ, ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດຂະບວນການທີ່ສູງຂຶ້ນແລະການປັບປຸງຄຸນນະພາບ wafer. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເຂັ້ມງວດ.

ອຸປະກອນທີ່ປັບປຸງ Uptime ແລະຜະລິດຕະພັນ:ອາຍຸການປະທັບຕາທີ່ຍາວກວ່າແລະຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ຫຼຸດລົງໄດ້ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການເພີ່ມເວລາຂອງອຸປະກອນແລະຜົນຜະລິດໂດຍລວມ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບສູງສຸດແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີປະລິມານສູງ.