ແຜ່ນເຄືອບ TaC

ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດຂອງແຜ່ນເຄືອບ Semicorex TaC ແມ່ນຄຸນສົມບັດທີ່ໂດດເດັ່ນທີ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມສໍາຄັນຂອງມັນໃນການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະການແນະນໍາ impurity ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງການເຄືອບ TaC ຂອງມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ແມ້ກະທັ້ງການປົນເປື້ອນຕາມຮອຍສາມາດມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງວັດສະດຸປຸງແຕ່ງ. ໂດຍການຮັກສາສ່ວນຕິດຕໍ່ທີ່ສະອາດ, TaC Coating Plate ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນ semiconductor ມີມາດຕະຖານປະສິດທິພາບທີ່ເຂັ້ມງວດ.

ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 2500 ອົງສາ C, ແຜ່ນເຄືອບ TaC ມີລັກສະນະຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສໍາລັບຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດ. ການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງນີ້ຮັບປະກັນວ່າການເຄືອບຍັງຄົງ intact ແລະເຮັດວຽກຢ່າງເຕັມສ່ວນ, ປົກປ້ອງ substrate ລຸ່ມຈາກການເຊື່ອມໂຊມຂອງຄວາມຮ້ອນ. ດັ່ງນັ້ນ, ແຜ່ນເຄືອບ TaC ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງຫນ້າເຊື່ອຖືໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການລົ້ມເຫຼວຂອງການເຄືອບ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການທັງຫມົດ.

ແຜ່ນເຄືອບ TaC ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຫນືອກວ່າຕໍ່ກັບລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງສານທີ່ຮຸກຮານທາງເຄມີ, ລວມທັງ hydrogen (H2), ammonia (NH3), silane (SiH4), ແລະ silicon (Si). ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີນີ້ຮັບປະກັນວ່າແຜ່ນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເປັນສັດຕູໂດຍບໍ່ມີການ succumbing ກັບ corrosion ຫຼືການສວມໃສ່ສານເຄມີ. ຄວາມສາມາດນີ້ແມ່ນເປັນປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ການສໍາຜັດກັບສານເຄມີ reactive ເປັນປົກກະຕິແລະສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ອາຍຸອຸປະກອນແລະປະສິດທິພາບ.

ການຍຶດເກາະທີ່ເຂັ້ມແຂງລະຫວ່າງການເຄືອບ TaC ແລະຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວໂດຍບໍ່ມີການປອກເປືອກຫຼື delamination, ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະຮຸກຮານທາງເຄມີ. ຄວາມທົນທານນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການບໍາລຸງຮັກສາແລະການທົດແທນ, ຊ່ວຍໃຫ້ການດໍາເນີນງານທີ່ບໍ່ມີການຂັດຂວາງແລະຫຼຸດລົງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານໂດຍລວມ. ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານຂອງແຜ່ນເຄືອບ TaC ຮັບປະກັນວ່າພວກມັນຍັງຄົງເປັນອົງປະກອບທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້ໃນການຜະລິດ semiconductor.

ແຜ່ນເຄືອບ TaC ໄດ້ຖືກວິສະວະກໍາເພື່ອຮັບມືກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາໂດຍບໍ່ມີການແຕກຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງໂຄງສ້າງ, ຍ້ອນຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ. ຄຸນສົມບັດນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາສາມາດປັບຕົວໄດ້ໄວກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການປຸງແຕ່ງ, ເພີ່ມຄວາມໄວໃນການຜະລິດແລະປະສິດທິພາບ. ຄວາມສາມາດໃນການທົນທານຕໍ່ອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນໂດຍບໍ່ມີຄວາມເສຍຫາຍໄດ້ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນຂະບວນການຜະລິດທີ່ຄ່ອງຕົວແລະມີປະສິດທິພາບຫຼາຍຂຶ້ນ, ເພາະວ່າອຸປະກອນສາມາດປ່ຽນລະຫວ່າງສະຖານະການອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນຢ່າງໄວວາ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເຄື່ອງເຄືອບ TaC ໄດ້ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ເຂັ້ມງວດ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າແຜ່ນເຄືອບ TaC ເຫມາະສົມຢ່າງສົມບູນກັບອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການ. ຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບສະລັບສັບຊ້ອນແລະບັນລຸການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສອດຄ່ອງຂອງການເຄືອບຮັບປະກັນວ່າຫນ້າດິນທັງຫມົດຖືກປົກປ້ອງຢ່າງເທົ່າທຽມກັນ, ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງແຜ່ນໃນຂະບວນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.