TaC Coating Susceptor

Semicorex TaC Coating Susceptor ເປັນຕົວແທນຂອງຈຸດສູງສຸດໃນວິສະວະກໍາວັດສະດຸ, ຫັດຖະກໍາຢ່າງພິຖີພິຖັນຈາກ graphite ຄຸນນະພາບສູງແລະເສີມສ້າງດ້ວຍສານເຄືອບ tantalum carbide. ວິສະວະກໍາຕົ້ນຕໍສໍາລັບການຈ້າງງານພາຍໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC ແລະຂະບວນການ epitaxial SiC, ອົງປະກອບນະວັດກໍານີ້ຢືນເປັນ beacon ຂອງຄວາມທົນທານແລະການປະຕິບັດໃນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນແລະສານເຄມີທີ່ຮ້າຍໄປ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

TaC (Tantalum Carbide) Susceptor ການເຄືອບເປັນຕົວແທນຂອງຈຸດສູງສຸດໃນວິສະວະກໍາວັດສະດຸ, ຫັດຖະກໍາຢ່າງລະມັດລະວັງຈາກ graphite ຄຸນນະພາບສູງແລະ fortified ດ້ວຍການເຄືອບ tantalum carbide. ວິສະວະກໍາຕົ້ນຕໍສໍາລັບການຈ້າງງານພາຍໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC ແລະຂະບວນການ epitaxial SiC, ອົງປະກອບນະວັດກໍານີ້ຢືນເປັນ beacon ຂອງຄວາມທົນທານແລະການປະຕິບັດໃນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນແລະສານເຄມີທີ່ຮ້າຍໄປ.

ການເຄືອບ TaC ໃຫ້ບໍລິການຈຸດປະສົງ multifaceted, ຂະຫຍາຍອາຍຸການດໍາເນີນງານຂອງອົງປະກອບ graphite ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຢ່າງລະມັດລະວັງ stoichiometry ຂອງຕິກິລິຍາແລະຫຼຸດຜ່ອນການເຄື່ອນຍ້າຍ impurity ໃນໄລຍະການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນແລະຂະບວນການ epitaxial. ໂດຍການປົກປ້ອງຈາກການລ່ວງລະເມີດ impurity ເຂົ້າໄປໃນຊັ້ນ epitaxial ແລະການສ້າງກ້ອນຫີນ, TaC Coating Susceptor ປັບປຸງອັດຕາຜົນຜະລິດແລະຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີຄຸນນະພາບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

ອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ເກີດຈາກຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, TaC Coating Susceptor ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄົງທີ່ຫມັ້ນຄົງເຖິງແມ່ນວ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເກີນ 2200 ° C. ຄວາມຢືດຢຸ່ນທີ່ບໍ່ສາມາດປຽບທຽບໄດ້ນີ້ຮັບປະກັນການທໍາງານຂອງ seamless ໃນການປະເຊີນກັບຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ, ເຮັດໃຫ້ການດໍາເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍບໍ່ມີການປະນີປະນອມ.

ການກໍ່ສ້າງທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງ TaC Coating Susceptor ເຮັດໃຫ້ມັນ impervious ກັບຜົນກະທົບ corrosive ຂອງ hydrogen (H2), ammonia (NH3), silane (SiH4), ແລະ silicon (Si), ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງສະຫນອງອຸປະສັກປ້ອງກັນຕໍ່ກັບຄວາມເຄັ່ງຄັດຂອງສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ລັກສະນະນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນຊັບສິນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີທີ່ເຂັ້ມງວດ, ຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງການດໍາເນີນງານພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຕ້ອງການທີ່ສຸດ.

ນອກຈາກນັ້ນ, TaC Coating Susceptor ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຖືກອອກແບບຢ່າງພິຖີພິຖັນເພື່ອກຳຈັດສິ່ງສົກກະປົກຫຼືສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ບໍ່ສະອາດທີ່ສາມາດປະນີປະນອມຄວາມສົມບູນຂອງຂະບວນການ. ອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນຮັບປະກັນຄວາມສະອາດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງສຸດ, ເນັ້ນຫນັກເຖິງບົດບາດທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ຂອງມັນໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບຜົນຜະລິດ.