Vertical Quartz Wafer Boats

ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ອົງປະກອບ semiconductor ຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາຕ້ອງຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານຄວາມສະອາດສູງທີ່ເຄັ່ງຄັດ. ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນ, ເຖິງແມ່ນວ່າສິ່ງປົນເປື້ອນຫຼືສິ່ງປົນເປື້ອນໃນລະດັບຈຸນລະພາກຫຼື nano-scale ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍທີ່ບໍ່ສາມາດປ່ຽນແປງໄດ້ຕໍ່ກັບການປະຕິບັດແລະຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

ເຮືອ wafer Quartzໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີການຕິດຕັ້ງຕາມແນວຕັ້ງຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ furnaces ການແຜ່ກະຈາຍ, furnaces ຜຸພັງ, ແລະ furnaces annealing, ບ່ອນທີ່ເຂົາເຈົ້າຕ້ອງການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafers ໄດ້. ເຮືອ wafer quartz ແນວຕັ້ງຂອງ Semicorex ແມ່ນຜະລິດໂດຍວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມສະອາດສູງເຫຼົ່ານີ້. ການຄັດເລືອກວັດສະດຸທີ່ສະຫລາດນີ້ປະສິດທິຜົນຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນ wafer ທີ່ເກີດຈາກ reactants ປ່ອຍອອກມາຈາກເຮືອ wafer ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຜະລິດ.

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ເຮືອ wafer ຈໍາເປັນຕ້ອງບໍ່ພຽງແຕ່ຜ່ານຮອບວຽນການເຮັດຄວາມຮ້ອນ - ຄວາມເຢັນຊ້ໍາອີກ, ແຕ່ຍັງທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງທາດອາຍຜິດຂະບວນການໃນໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ. quartz ແນວຕັ້ງຂອງ Semicorexwaferເຮືອສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງດ້ານມິຕິພິເສດໃນເງື່ອນໄຂການດໍາເນີນງານທີ່ທ້າທາຍຂອງການຖີບຄວາມຮ້ອນຄົງທີ່ເນື່ອງຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ປະກົດຕົວຂອງມັນ. ຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່ານີ້ປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer ແລະຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກການເຊື່ອມໂຊມຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາຫຼືການຜິດປົກກະຕິໂຄງສ້າງຂອງເຮືອ wafer quartz ຕັ້ງ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຍ້ອນຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີສູງຂອງພວກເຂົາ, ເຮືອ wafer quartz ແນວຕັ້ງສາມາດທົນທານຕໍ່ປະຕິກິລິຍາກັບທາດອາຍພິດທີ່ກັດກ່ອນເຊັ່ນອົກຊີເຈນ, ໄອນ້ໍາ, hydrogen chloride, ແລະ ammonia. ຊັບສິນນີ້ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຄວາມເປັນໄປໄດ້ທີ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີຈະທໍາລາຍຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງເຮືອ quartz wafer ຕັ້ງ.

ນອກເຫນືອໄປຈາກຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານການປະຕິບັດທີ່ໄດ້ກ່າວມາຂ້າງເທິງ, ເຮືອ wafer quartz ແນວຕັ້ງຂອງ Semicorex ຍັງສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມສາມາດໃນການແຂ່ງຂັນທີ່ດີເລີດໃນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບແລະການອອກແບບໂຄງສ້າງ. ແຕ່ລະພາກສ່ວນຂອງພວກມັນຖືກຜະລິດໂດຍເຕັກນິກເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ. ການຄວບຄຸມຂະຫນາດຈຸດນີ້ຮັບປະກັນການວາງຕໍາແຫນ່ງ wafer ທີ່ຖືກຕ້ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນຮອຍຂີດຂ່ວນແລະຮອຍແຕກທີ່ເກີດຈາກການເຄື່ອນຍ້າຍຫຼືການຂັດກັນໃນລະຫວ່າງການໂຫຼດ, ການປຸງແຕ່ງ, ແລະ unloading.