ວົງແຫວນ WaferOW 8-inch 8-inch ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ຊັດເຈນແລະການປະຕິບັດງານພິເສດໃນຄວາມຮ້ອນທີ່ຫນ້າຕື່ນເຕັ້ນແລະຄວາມຮ້ອນ. semicorex ສົ່ງວິສະວະກໍາສະເພາະສະເພາະ, ການຄວບຄຸມທີ່ແຫນ້ນຫນາ, ແລະຄຸນນະພາບການເຄືອບ SIC ທີ່ສອດຄ່ອງກັບການປຸງແຕ່ງຄວາມຕ້ອງການຂອງ semiconduor ທີ່ກ້າວຫນ້າ. *
ຮາດແວວ WAFENOREX 8-Inch ແມ່ນຮາດແວການປຸງແຕ່ງ SEMEMEONEX ທີ່ມີຈຸດປະສົງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພແລະສະຫນັບສະຫນູນ promers silicon ໂດຍຜ່ານການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນ, etching ແລະການຝາກເງິນ. ການກໍ່ສ້າງຈາກ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງດ້ວຍຄວາມຫນາແຫນ້ນການເຄືອບຂອງຊິລິໂຄນ Carbide (SIC)ສໍາລັບຄວາມເຂັ້ມແຂງເພີ່ມ, ແຫວນທີ່ມີຄວາມເຊື່ອຫມັ້ນທີ່ສູງຂື້ນ, ຄວາມຕ້ານທານກົນໄກ, ແລະການຝາກເງິນທີ່ໃຊ້ໃນໂລກເຄມີ), pecvd, ແລະລະບົບປະຈໍາເດືອນ.
ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນ:
ສ່ວນປະກອບ:
ວັດສະດຸຍ່ອຍແມ່ນgraphite ຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງເຊິ່ງຖືກຄັດເລືອກເພື່ອການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມເປັນເອກະພາບທາງໂຄງສ້າງ. ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງແລະເປັນເອກະພາບການເຄືອບຮູບເງົາ Silicon Carbide (SIC)ຖືກນໍາໃຊ້ຢູ່ເທິງພື້ນຜິວ, ການສະແດງຄວາມຕ້ານທານສູງເພື່ອການຜຸພັງແລະການໂຈມຕີທາງເຄມີເຖິງແມ່ນວ່າມີອຸນຫະພູມສູງເກີນ 1000 ° C. ການປະສົມດັ່ງກ່າວມີຊີວິດທີ່ມີຊີວິດໃນໄລຍະຍາວແລະຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ສຸດຂອງການປົນເປື້ອນຂອງ wafers.
ການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ປອດໄພ
ອອກແບບໂດຍສະເພາະໃນການຖື wafers 8-mm), ແຫວນ wafersolers ຖືວ່າຄວາມທົນທານທີ່ຊັດເຈນແລະຖືກອອກແບບໃຫ້ເປັນເລຂາຄະນິດພາຍໃນຢ່າງເຫມາະສົມເພື່ອຍຶດເອົາ wafer ໄດ້ຢ່າງປອດໄພ. ແຫວນທີ່ຍັງຄົງຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງໃນລະຫວ່າງການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນແລະການໄຫລວຽນຂອງອາຍແກັສ, ຫຼຸດຜ່ອນການເຄື່ອນໄຫວຂອງຈຸລະພາກຫຼືການແຕກແຍກຂອງອະນຸພາກ.
ຄວາມເປັນເອກະພາບຄວາມຮ້ອນ:
ການເຮັດຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນວາງຂອງ Graphite ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຄືອບ SIC ຮັບປະກັນການໂອນຄວາມຮ້ອນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງກັບຫນ້າດິນ. ຜົນໄດ້ຮັບນີ້ຜົນໄດ້ຮັບໃນຜົນຜະລິດທີ່ສອດຄ່ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ແລະໃຫ້ຜົນຜະລິດອຸປະກອນທີ່ດີກວ່າ.
ຄວາມຕ້ານທານກັບສານເຄມີແລະ plasma:
ພື້ນຜິວ SIC ປົກປ້ອງຫຼັກຂອງກາຟິກຈາກຂະບວນການທີ່ມີຂະບວນການແລະທາດອາຍຜິດ, ສະເຫນີຄວາມຕ້ານທານກັບຮອບວຽນການປຸງແຕ່ງ. ຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີແມ່ນເປັນປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມຈິງຫຼືອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ.
ການປັບແຕ່ງທີ່ມີຢູ່:
ແຫວນ Waferiders Waferider 8 ນິ້ວອາດຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະຫນອງອຸປະກອນຫຼືຄວາມຕ້ອງການໃນຂະບວນການສະເພາະ .-, ການປ່ຽນແປງໃນການອອກແບບສະຫນັບສະຫນູນ, ແລະການຕັ້ງຄ່າ. ນັກອອກແບບຂອງພວກເຮົາເຮັດວຽກກັບ OEMs ແລະ FABS ເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດສູງສຸດສໍາລັບແຕ່ລະການນໍາໃຊ້.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:
ທຸກໆແຫວນ waferider 8 ນິ້ວທີ່ເຮັດໃຫ້ມີການກວດກາຢ່າງເຂັ້ມງວດຄືກັບການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ, ການເຄືອບກາວ, ແລະຄຸນວຸດທິສັນຍານຄວາມຮ້ອນ. ເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດຂັ້ນສູງຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ SICE ທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຫນ້າທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາເລັດຮູບທີ່ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການສູງຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
ແຫວນ WaferOnx Rings ທີ່ມີຂະຫນາດ 8-inch) ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນຂອງ Semicorex) ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ລຸ້ນຕໍ່ໄປ, ຄວາມທົນທານດ້ານວັດຖຸ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ. ຈາກອຸປະກອນການປະມວນຜົນໃນການກໍ່ສ້າງເວທີທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດຕໍ່ການຜະລິດແບບຕໍ່ໄປ