ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ໂດຍ Semicorex ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ wafers ຊິລິຄອນ. ຜະລິດຈາກອາລູມິນຽມ nitride ຄວາມບໍລິສຸດສູງ (AlN), ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນນີ້ສະຫນອງລັກສະນະຂັ້ນສູງທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຕ່າງໆ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.**
Versatility ໃນສະພາບແວດລ້ອມການດໍາເນີນງານ
ຫນຶ່ງໃນຄຸນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ແມ່ນຄວາມສາມາດໃນການປະຕິບັດຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ລວມທັງສະພາບບັນຍາກາດແລະສູນຍາກາດ. ດ້ວຍລະດັບອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກທີ່ຫນ້າປະທັບໃຈທີ່ຂະຫຍາຍເຖິງ 1000 ° C (1832 ° F), ມັນຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາແລະເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວກະດານ. ຄວາມຄ່ອງແຄ້ວນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຈໍານວນຫລາຍ, ຕັ້ງແຕ່ອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ຈົນເຖິງລະບົບການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ເຄື່ອງ sputtering, ແລະອຸປະກອນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).
ວິສະວະກໍາ Precision ກັບຂະບວນການ Sintering
ຂະບວນການຜະລິດຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ກ່ຽວຂ້ອງກັບການກົດດັນສູນຍາກາດ, ເປັນຂະບວນການທີ່ທ້າທາຍຫຼາຍກ່ວາການ sintering ແບບບໍ່ມີຄວາມກົດດັນແບບດັ້ງເດີມ. ເຕັກນິກທີ່ຊັບຊ້ອນນີ້ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາລູມິນຽມ nitride ຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນບັນລຸເຖິງ 99.5%. ໂດຍການໃຊ້ມາດຕະຖານການຜະລິດທີ່ເຂັ້ມງວດດັ່ງກ່າວ, Semicorex ຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄຸນສົມບັດກົນຈັກແລະຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຕ້ອງການທີ່ສຸດ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ
ຄຸນສົມບັດທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ແມ່ນການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຊິ່ງເກີນ 180 W/m*K. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງນີ້ແມ່ນເຄື່ອງມືໃນການບັນລຸຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດໃນໄລຍະອຸນຫະພູມກ້ວາງ, ເປັນປັດໃຈສໍາຄັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຫຼາຍ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນສາມາດຖືກວິສະວະກໍາດ້ວຍການກໍ່ສ້າງຫຼາຍຊັ້ນທີ່ສາມາດສົ່ງໄດ້ເຖິງ 2000 W/in² (310 W/cm²), ຮັບປະກັນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະເປັນເອກະພາບ. ຄວາມສາມາດນີ້ມີຄຸນຄ່າໂດຍສະເພາະໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຊັ້ນສູງ
ນອກເໜືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ຍັງມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ. ມັນມີຄວາມທົນທານສູງຕໍ່ກັບອາຍແກັສ halogen ແລະສະພາບແວດລ້ອມ oxidizing, ແລະມັນຍັງສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ເຂັ້ມແຂງຕໍ່ກັບການແກ້ໄຂອາຊິດແລະເປັນດ່າງສ່ວນໃຫຍ່. ຄວາມຕ້ານທານນີ້ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານໃນໄລຍະຍາວແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນການດໍາເນີນງານ, ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ການສໍາຜັດກັບສານ corrosive ເປັນຄວາມກັງວົນຄົງທີ່. ຄວາມທົນທານດັ່ງກ່າວຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼຸດລົງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາແລະເພີ່ມຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງລະບົບໂດຍລວມ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນທົ່ວອຸດສາຫະກໍາເຕັກໂນໂລຢີສູງ
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ໂດຍ Semicorex ແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເຕັກໂນໂລຢີສູງຕ່າງໆເນື່ອງຈາກຄຸນລັກສະນະຂັ້ນສູງຂອງມັນ:
ການຜະລິດ Semiconductor: ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເປັນເອກະພາບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ຮັບປະກັນການຜະລິດ wafer ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ລະບົບການລະເຫີຍສູນຍາກາດ: ຄວາມສາມາດໃນການປະຕິບັດງານໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດໃນອຸນຫະພູມສູງເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດີເລີດສໍາລັບລະບົບການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ບ່ອນທີ່ຄວາມຮ້ອນຄວບຄຸມແມ່ນສໍາຄັນ.
ເຄື່ອງ Sputtering: ການນໍາຄວາມຮ້ອນແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບແລະຊີວິດຂອງເຄື່ອງ sputtering, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການເຄືອບ substrates.
ອຸປະກອນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD): ໃນຂະບວນການ CVD, ບ່ອນທີ່ອຸປະກອນໄດ້ຖືກຝາກໄປເທິງ substrates ໂດຍຜ່ານການຕິກິຣິຍາທາງເຄມີ, ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງເຄື່ອງເຮັດໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຮູບເງົາບາງມີຄຸນນະພາບສູງ.
ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື
ການອອກແບບ ແລະອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂອງ AlN ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການເພີ່ມປະສິດທິພາບ ແລະຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງມັນ. ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາລູມິນຽມ nitride, ປະສົມປະສານກັບຂະບວນການ sintering ຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນບໍ່ພຽງແຕ່ປະຕິບັດໄດ້ດີພິເສດ, ແຕ່ຍັງຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງຕົນໃນໄລຍະການຂະຫຍາຍ. ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືນີ້ແມ່ນສໍາຄັນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີສະເຕກສູງທີ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນສາມາດນໍາໄປສູ່ການຢຸດງານທີ່ສໍາຄັນແລະການສູນເສຍທາງດ້ານການເງິນ.
ການອອກແບບທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້
ເຂົ້າໃຈວ່າຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ເປັນເອກະລັກ, Semicorex ສະເຫນີທາງເລືອກການອອກແບບທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ສໍາລັບເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການປັບຂະຫນາດ, ຮູບຮ່າງ, ຫຼືພະລັງງານຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ທີມງານຜູ້ຊ່ຽວຊານຂອງພວກເຮົາເຮັດວຽກຢ່າງໃກ້ຊິດກັບລູກຄ້າເພື່ອພັດທະນາການແກ້ໄຂທີ່ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະ. ລະດັບການປັບແຕ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ AlN ປະສົມປະສານ seamlessly ເຂົ້າໄປໃນລະບົບທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະປະສິດທິພາບໂດຍລວມ.