ອາລູມິນຽມ nitride heaters

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໃນອະນາໄມ Semicorex ອາລູມິນຽມແມ່ນອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນແບບຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງພວກເຂົາ, ການຕອບສະຫນອງຢ່າງໄວວາ, ແລະສນວນໄຟຟ້າ. ການເລືອກ Semicorex ຫມາຍເຖິງການເປັນຄູ່ກັບຜູ້ຊ່ຽວຊານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນການແກ້ໄຂບັນຫາທີ່ມີຄວາມເຊື່ອຖືໃນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີຄວາມຫມາຍລ່ວງຫນ້າ, ແລະສະຫນັບສະຫນູນດ້ານເຕັກນິກທີ່ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທ່ານ. *

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໃນອະນາໄມ Semicorex ອາລູມິນຽມແມ່ນອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນຂອງສິນລະປະຂອງສິນລະປະທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບໂປແກຼມທີ່ຕ້ອງການຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມທົນທານພິເສດ. ການອອກແບບຈາກອາລູມິນຽມ nitride, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມສູງເຊັ່ນ semiconductor, ແລະເຄື່ອງມືວິເຄາະທີ່ກ້າວຫນ້າ.

ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໃນອະລູມີນຽມແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນອຸປະກອນຝາກປະກອບຮູບເງົາບາງໆ. ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍກົງກັບຫ້ອງສະພາໃນຂະບວນການແລະໃນການສໍາຜັດໂດຍກົງກັບ wafer. ພວກເຂົາບໍ່ພຽງແຕ່ເອົາໃບຫວັ່ນໄຫວເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນວ່າ Wafer ໄດ້ຮັບ

ອຸນຫະພູມຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບ. ຄຸນລັກສະນະນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບປະຕິກິລິຍາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນດ້ານ wafer ແລະການຜະລິດຮູບເງົາບາງໆທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ໂດຍປົກກະຕິ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໃນອະລູມີນຽມປະກອບມີຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ມີຂົນສົ່ງແລະຮ່າງກາຍສະຫນັບສະຫນູນທີ່ມີຮູບຊົງກະບອກ. ນອກເຫນືອໄປຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ານທານສໍາລັບຄວາມຮ້ອນ, electrode rf ແລະ electrode chuck electrostatic ແລະເຄື່ອງໃຊ້ຕ່າງໆອື່ນໆກໍ່ຖືກຈັດເຂົ້າພາຍໃນຫຼືຢູ່ດ້ານຂອງ substrate ເຊລາມິກ.

ອຸປະກອນຝາກປະຈໍາເຄື່ອງຫຼີ້ນຮູບເງົາບາງໆມັກໃຊ້ອຸປະກອນ ceramic ໂດຍອີງໃສ່ອະລູມິນຽມ nitride (aln)ເພາະວ່າມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ເຫດຜົນທີ່ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໃນການຜະລິດອາລູມີນຽມແມ່ນມີຄວາມໂປດປານໃນການຜະລິດ semiconductor ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະ. ອາລູມິນຽມ nitride ບໍ່ພຽງແຕ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະສາມາດບັນລຸຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາແລະມີຄວາມແຮງດ້ານກົນຈັກ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະຖຽນລະພາບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຂອງອາລູມິນຽມ nitride ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງຄວາມກົດດັນຂອງຄວາມຮ້ອນໃນ Wafer ແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການ.

ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວການເວົ້າ,ເຄື່ອງຈັກເຊລາມິກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸປະກອນຝາກປະຢັດບາງໆ. ເນື່ອງຈາກວ່າມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເອກະສານເຊລາມິກທີ່ນໍາໃຊ້ແມ່ນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນທາດອະລູມີນຽມ; ເຄື່ອງຈັກໄຟຟ້າ Electrostatic ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນໃຊ້ໃນອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກ, ແລະວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ໃຊ້ແມ່ນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນທາດອະລູມີນຽມ. ດ້ວຍການພັດທະນາເທັກໂນໂລຢີ semiconductor, ມີການຊ້ອນກັນລະຫວ່າງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບ ceramic ແລະ chucks electrostatic. ຍົກຕົວຢ່າງ, ເຄື່ອງປະດັບທີ່ໃຊ້ໃນເຊລາມິກທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນຝາກປະມານບາງໆມີເຄື່ອງຈັກໄຟຟ້າ, ເຊິ່ງມີຫນ້າທີ່ສອງດ້ານຂອງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າ. ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ edching ຍັງເລີ່ມຕົ້ນກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ແລະວັດສະດຸເຊລາມິກຕ້ອງໄດ້ປ່ຽນຈາກອາລູມິນຽມຜຸພັງ

Hot Tags:

ປ້າຍສິນຄ້າ

ປະເພດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ