ເຮືອ Silicon Carbide Wafer ມີຄວາມສໍາຄັນແນວໃດ?

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ນອກຈາກອຸປະກອນຂະບວນການຫຼັກເຊັ່ນ photolithography ແລະ etching, ປະເພດຂອງອົງປະກອບພື້ນຖານອື່ນມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ:ເຮືອ wafer.

ໂດຍສະເພາະໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ດ້ວຍການພັດທະນາຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ semiconductors ຮຸ່ນທີສາມ, ເຮືອ silicon carbide wafer, ເຮັດດ້ວຍ silicon carbide, ກາຍເປັນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາຢ່າງງຽບໆ.

ດັ່ງນັ້ນ, ອົງປະກອບທີ່ເບິ່ງຄືວ່າບໍ່ສໍາຄັນນີ້ມີບົດບາດອັນໃດໃນການຜະລິດ semiconductor?

01 ຫນ້າທີ່ພື້ນຖານຂອງເຮືອ Wafer

ເຮືອ wafer ແມ່ນການຂົນສົ່ງຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໃນການຖື wafers, ຕົ້ນຕໍແມ່ນໃຊ້ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, wafers ດໍາເນີນຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຫຼາຍ, ເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ການຫມູນວຽນ, ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, wafers ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນໄດ້ຖືກປຸງແຕ່ງເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນທໍ່ furnace, ແລະເຮືອ wafer ເຮັດຫນ້າທີ່ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

- ສະຫນັບສະຫນູນ wafers ຫຼາຍແລະຮັກສາຊ່ອງຫວ່າງທີ່ຫມັ້ນຄົງ

- ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຕໍາແຫນ່ງຂອງ wafers ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ

- ຮັບປະກັນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສເປັນເອກະພາບໂດຍສົມທົບກັບອຸປະກອນ

ໂຄງສ້າງແລະຄຸນສົມບັດວັດສະດຸຂອງເຮືອ wafer ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການແຜ່ກະຈາຍຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ.

02 ລັກສະນະໂຄງສ້າງຂອງເຮືອ ຊິລິໂຄນຄາໄບ

ເຮືອ Silicon carbideປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ການອອກແບບກອບ, ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງສູງ. ລັກສະນະທົ່ວໄປປະກອບມີ:

- ໂຄງສ້າງສະລັອດຕິງຫຼາຍຊັ້ນສໍາລັບການຈັດຕໍາແຫນ່ງ wafer ທີ່ຊັດເຈນ

- ການອອກແບບເປີດສໍາລັບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສໄດ້ງ່າຍລະຫວ່າງ wafers

- ກອບຄວາມແຂງສູງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິໃນອຸນຫະພູມສູງ

ອີງຕາມປະເພດຂອງອຸປະກອນ, ເຮືອສາມາດອອກແບບເປັນໂຄງສ້າງແນວຕັ້ງຫຼືແນວນອນແລະສະຫນັບສະຫນູນຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເຊັ່ນ: 6 ນິ້ວ, 8 ນິ້ວ, 12 ນິ້ວ).

03 ການເລືອກວັດສະດຸ: ເປັນຫຍັງຊິລິໂຄນຄາໄບ?

ເນື່ອງຈາກຂະບວນການຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີພັດທະນາໄປສູ່ອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະຄວາມສະອາດສູງຂຶ້ນ, ວັດສະດຸພື້ນເມືອງເຊັ່ນ: quartz ແລະ alumina ແມ່ນບໍ່ພຽງພໍເພີ່ມຂຶ້ນ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຊິລິໂຄນ carbide ສະເຫນີຂໍ້ໄດ້ປຽບໃນຫຼາຍຂະຫນາດການປະຕິບັດ.

1. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ: Silicon carbide ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງທີ່ດີໃນຂອບເຂດອຸນຫະພູມປະມານ 1200 ℃ກັບ 1400 ℃. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼືຂະບວນການພິເສດ, ມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມທີ່ສູງກວ່າ. ມັນບໍ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນປະກົດການລະລາຍຫຼືການອ່ອນລົງທີ່ສໍາຄັນທີ່ຄ້າຍຄືກັນກັບວັດສະດຸໂລຫະຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ.

2. ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນສູງ: Silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມລະຫວ່າງ wafers, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ.

3. ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ: Silicon carbide ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນໃນ wafers ໃນໄລຍະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນ.

4. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີ: Silicon carbide ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີໃນບັນຍາກາດຕ່າງໆ, ລວມທັງການ oxidizing ແລະຫຼຸດຜ່ອນບັນຍາກາດ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມັນຈະຍັງຄົງມີປະຕິກິລິຍາການຜຸພັງຊ້າໆໃນສະພາບແວດລ້ອມອົກຊີເຈນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ການສ້າງຊັ້ນປ້ອງກັນຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊ.

5. ການຄວບຄຸມຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງວັດສະດຸ: ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ ຊິລິຄອນຄາໄບ້ລະດັບ semiconductor-grade ມີເນື້ອໃນ impurity ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຢູ່ດ້ານ wafer. ມັນມີຄວາມແຕກຕ່າງທີ່ ສຳ ຄັນລະຫວ່າງວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນຊັ້ນຂະບວນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

04 ພື້ນທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

ເຮືອ Silicon carbide ປະຈຸບັນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂົງເຂດ, ລວມທັງ:

- ການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນໃນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ

- ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ພະລັງງານ (ເຊັ່ນ: ອຸປະກອນ SiC)

- ການປຸງແຕ່ງອຸນຫະພູມສູງຂອງ wafers ຊິລິຄອນ photovoltaic

- ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາວັດສະດຸ Semiconductor ແລະຂະບວນການ

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງມັນແມ່ນເຫັນໄດ້ຊັດເຈນຫຼາຍຂຶ້ນໃນສະຖານະການທີ່ຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງ, ການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ຫຼືຄວາມສະອາດສູງ.

ຂໍ້ສະເໜີ SemicorexSiC wafer ເຮືອ, ທໍ່ furnace, cantilever paddles, ແລະອື່ນໆໃນ furnaces ອຸນຫະພູມສູງ. ຖ້າທ່ານມີຄໍາຖາມໃດໆຫຼືຕ້ອງການລາຍລະອຽດເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ກັບພວກເຮົາ.

ເບີໂທຕິດຕໍ່ #+86-13567891907

ອີເມວ: sales@semicorex.com