ແຜ່ນດາວເຄາະ

Planetary Disk ເປັນຕົວບັນຈຸ wafer ປະຕິວັດ ແລະຕົວດູດທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຂະບວນການ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ພາຍໃນເຕົາເຜົາ Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD). ຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, Planetary Disk ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອຍົກລະດັບການຜະລິດ semiconductor ຂອງທ່ານໃຫ້ມີຄວາມສູງໃຫມ່.

Planetary Disk ຖືກສ້າງຂື້ນຢ່າງພິຖີພິຖັນຈາກ CVD SiC coated graphite, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍກາດ. ອົງປະກອບວັດສະດຸແບບພິເສດນີ້ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຫນືອກວ່າແລະອາຍຸຍືນໃນສະພາບແວດລ້ອມ MOCVD ທີ່ຕ້ອງການ.

ການເຄືອບ CVD SiC ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ເສີມຂະຫຍາຍການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ສົ່ງເສີມການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ MOCVD. ຄຸນສົມບັດນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມໃນທົ່ວ wafer ແຕ່ຍັງປະກອບສ່ວນຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນແລະການປັບປຸງຜົນຜະລິດໂດຍລວມ.

Planetary Disk ໄດ້ຖືກປັບແຕ່ງ, ເຊິ່ງເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດຂອງ semiconductor wafer ທີ່ກວ້າງຂວາງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ຫລາກຫລາຍສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດຕ່າງໆ. ສ້າງຂຶ້ນເພື່ອທົນທານຕໍ່ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງເຕົາເຜົາ MOCVD, Planetary Disk ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືພິເສດ. ການກໍ່ສ້າງທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງມັນຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຍາວນານ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer ແລະ susceptors.