semicorex susceptor acceptor ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂອງ Graphite ທີ່ມີຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງ, ຖືກອອກແບບສໍາລັບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມຕ້ານທານທີ່ມີເອກະພາບ, ແລະການເຕີບໂຕຂອງຊັ້ນຕົ້ນຕໍ. *
semicorex Spider SpeCeptor ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບຜູ້ປະຕິສັງຫານທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບຜູ້ປະຕິສັງຫານທີ່ມີ semiconductor, ໂດຍສະເພາະແມ່ນເຄື່ອງມືສໍາລັບ AIXTron G5 +. ການກໍ່ສ້າງຈາກ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະເຄືອບດ້ວຍຊິລິໂຄນ Carbide (SIC), ຜູ້ທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວນີ້ໄດ້ຮັບປະກັນສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ບໍ່ມີການທຽບໃຫມ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ເຕົາປະຕິກອນ atixtron G5 + Epitaxy ຢືນເປັນມາດຕະຖານໃນອຸດສະຫະກໍາສໍາລັບ Gan, Siconductor ຂະບວນການເຕີບໂຕອື່ນໆ. ຄວາມແປກປະຫລາດຂອງໂລກແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໃນການໄຫຼເຂົ້າກາກແກປາທີ່ດີທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນການຫມູນວຽນອຸນຫະພູມທີ່ແນ່ນອນ, ແລະບັນລຸການຝາກເງິນທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງຊັ້ນຈັດຕັ້ງ. ການອອກແບບທີ່ມີນະວັດຕະກໍາຂອງມັນເພີ່ມປະລິມານຂະບວນການເຮັດຊ້ໍາອີກຄັ້ງຫນຶ່ງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ສູງ.
ລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນ
ສ່ວນປະກອບວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າ: ຜະລິດຈາກຮູບພາບທີ່ມີຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງດ້ວຍການເຄືອບ sic, ສະຫນອງຄວາມທົນທານແລະຕ້ານທານກັບສະພາບຂອງຂະບວນການທີ່ຮຸນແຮງ.
- ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດ: ຮັບປະກັນການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ສໍາຄັນສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນສູງ.
- ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີ: ການເຄືອບ Sic ປ້ອງກັນການຜຸພັງ Graphite, ການຂະຫຍາຍອາຍຸການຂອງຄວາມສົງໄສແລະຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດຂອງຂະບວນການ.
- ວິສະວະກໍາທີ່ຊັດເຈນ: ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງ Aixtron G5 + ລະບົບ, ຮັບປະກັນການເຊື່ອມໂຍງເຂົ້າກັນແລະປະສິດທິພາບຂອງຜູ້ນໍາໃຊ້ທີ່ດີທີ່ສຸດ.
- ຄວາມເປັນເອກະພາບດ້ານສູງ: ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ສະຫນັບສະຫນູນຄຸນນະພາບ wafer ດີກວ່າແລະໃຫ້ຜົນຜະລິດສູງກວ່າໃນການຜະລິດ semiconductor.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ susceptor playary ຂອງພວກເຮົາ
- ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຂະຫຍາຍ: Theການເຄືອບ SUICການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສໍາຄັນແລະນ້ໍາຕາ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ມີຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນຕ່ໍາແລະມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານ.
- ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ດີຂື້ນ: ປະທັບໃຈທີ່ມີຄວາມລະມັດລະວັງແລະມີຄວາມຮ້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການຜະລິດ wafer ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
- ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ແລະການປັບແຕ່ງ: ມີຢູ່ໃນການອອກແບບມາດຕະຖານແລະປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານການປຸງແຕ່ງ acTERON G5 ສະເພາະ.
ພະຍາແຖພາກສ່ວນຕ່າງໆມີບົດບາດທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ແລະສໍາຄັນຫຼາຍໃນຂະບວນການ semiconductor. ຄຸນນະພາບຂອງວັດສະດຸ graphite ມີຜົນກະທົບທີ່ດີຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບ. ຮູບພາບຂອງ Graphite Batch ຂອງພວກເຮົາແມ່ນສາມາດຄວບຄຸມແລະຮັບປະກັນໄດ້ຜ່ານຂັ້ນຕອນການຜະລິດ.
1. ການຜະລິດເບັກຂະຫນາດນ້ອຍ, ເຕົາໄຟກາກບອນພຽງແຕ່ໃຊ້ເຕົາຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ມີພຽງແຕ່ 50 ແມັດກ້ອນ
2. . ເອກະສານແຕ່ລະສ່ວນແມ່ນຕິດຕາມແລະຕິດຕາມ
3. ການກວດສອບອຸນຫະພູມຫຼາຍຈຸດໃນພື້ນທີ່ເຕົາໄຟເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ໃນລະດັບນ້ອຍ
4. ການກວດສອບອຸນຫະພູມຫຼາຍຈຸດໃນເອກະສານເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ໃນລະດັບນ້ອຍ
semicorex susceptor acceptor ແມ່ນວິທີແກ້ໄຂທີ່ນິຍົມສໍາລັບຜູ້ປະຕິສັງຂອນທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບຜູ້ປະຕິສັງຂອນ AixTron G5 + ສະເຫນີຄວາມເຊື່ອຖືຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ຍັງຄ້າງຄາ, ແລະການສະແດງທາງເຄມີ. ມີການອອກແບບສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຄວາມຈໍາເປັນທີ່ສຸດ, ມັນເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂື້ນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ແລະຂະຫຍາຍອາຍຸການກິນ. ຍົກລະດັບລະບົບ Epitaxy ຂອງທ່ານດ້ວຍຄວາມພາກພູມທີ່ສູງສຸດສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນ.