ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ທໍ່ເຕົາໄຟ semicorex quarture, ເຮືອ Wafer, Quartz Crucibles ສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ connicon ດຽວກັນແມ່ນຜະລິດທັງຫມົດທີ່ເຮັດດ້ວຍຄວາມບໍລິສຸດສູງmateria quartzl. Quartz ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສະຫະກໍາ semiconductor, quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້ໃນການຜະລິດ wafer. ຕະຫຼາດເປົ້າຫມາຍຕົ້ນຕໍຂອງພາກສ່ວນທີ່ມີເນື້ອທີ່ດິນ semiconductor ແມ່ນຂະບວນການຜະລິດແລະສ້ອມແປງໃນສອງປະເພດທີ່ມີຢູ່ໃນສອງປະເພດ: ສ່ວນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະພາກສ່ວນທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.

ອາພາກພາກສ່ວນທີ່ອຸນຫະພູມໄດ້ແຜ່ລາມໄປຫາທໍ່ເຕົາໄຟ, ເຮືອ Wafer, ຜູ້ຖືເຮືອ, ແລະອື່ນໆ.

ຊິ້ນສ່ວນອຸນຫະພູມ 2 ສະຫະກອນແມ່ນແຫວນສີ່ຫລ່ຽມໃນຂະບວນການ etching, ແລະລວມທັງ cassettes, ທໍາຄວາມສະອາດ tank ໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດ. ພວກມັນສ່ວນຫຼາຍແມ່ນໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ເຊິ່ງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນເຮັດດ້ວຍແກ້ວ quartz fused, ຜະລິດໂດຍການປຸງແຕ່ງອາຫານເຢັນ.

ສ່ວນປະກອບໃນເຂດທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍປົກກະຕິໃນລະບົບຊິລິໂຄນຫຼາຍ), ແຕ່ວ່າມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະບົບຊິລິໂຄນຫຼາຍ (ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຫນຶ່ງທີ່ຖືເຄື່ອງປະດັບ Silicon); ສະນັ້ນ, ຂະຫນາດຕະຫຼາດໂດຍລວມສໍາລັບທັງສອງແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຄ້າຍຄືກັນ.

ເຕົາໄຟແມ່ນພື້ນທີ່ທີ່ wafers ໄດ້ຜ່ານຂັ້ນຕອນການເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເຕົາອົບແລະເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ຂະບວນການຜຸພັງ, ຂັ້ນຕອນການຜຸພັງ, RTP ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ເຕົາໄຟສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແບ່ງອອກເປັນແນວນອນແລະແນວຕັ້ງ:. ໃນເຕົາໄຟຕາມລວງນອນ, wafers ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນເຮືອ quartz, ເຊິ່ງຖືກຈັດໃສ່ໃນຜູ້ຂົນສົ່ງ SIC. ນອກນັ້ນຍັງມີການຕົບແຕ່ງທີ່ເຫມາະສົມຢູ່ທາງຫນ້າແລະດ້ານຫລັງ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການແມ່ນຖືກຍູ້ເຂົ້າໄປໃນທໍ່ເຕົາໄຟ quartz, ແລະ wafers ກໍາລັງປະຕິກິລິຍາໃນເຂດອຸນຫະພູມຄົງທີ່. ໃນເຕົາໄຟທີ່ຕັ້ງ, wafers ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນຫໍຄອຍ quartz ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຄ່ອຍໆຍົກລົງໄປໃນທໍ່ເຕົາໄຟ quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ.

ເນື່ອງຈາກອຸນຫະພູມສູງທີ່ມີສ່ວນຮ່ວມໃນຂະບວນການທີ່ສູງກວ່າ, ເພື່ອປ້ອງກັນການເຮັດໃຫ້ຜິດພາດແລະການຫົດຫູ່ຂອງເຕົາໄຟທີ່ທົນທານຕໍ່ກັບການຜິດປົກກະຕິແລະການນໍາໃຊ້ຄວາມຜິດພາດແລະມີຊີວິດການບໍລິການຍາວນານໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ.

materia quartzສີ່ຫລ່ຽມເຕົາໄຟ:

1. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ. ແກ້ວ quartz ມີຈຸດອ່ອນຂອງປະມານ 1730 ℃ແລະສາມາດໃຊ້ສໍາລັບໄລຍະເວລາທີ່ຂະຫຍາຍຢູ່ທີ່ 1150 ℃, ເຊິ່ງມີອຸນຫະພູມສູງສຸດໃນໄລຍະສັ້ນ 1450 ℃.

2. ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ. ຍົກເວັ້ນອາຊິດ hydrofluoric, quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີປະຕິກິລິຍາເຄມີກັບສານທີ່ມີທາດດ້ານອາຊິດອື່ນໆ. ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ມັນສາມາດຕ້ານທານກັບການກັດກ່ອນຈາກອາຊິດຊູນຟູຣິກ, ອາຊິດ nitric, ອາຊິດ hydrochloric, ເກືອນ້ໍາທີ່ເປັນກາງ, ກາກບອນ, ແລະຊູນ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງອາຊິດຂອງມັນແມ່ນ 30 ເທົ່າຂອງເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາແລະ 150 ຄັ້ງຂອງເຫລັກສະແຕນເລດ. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີຂອງມັນ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນອຸນຫະພູມສູງ, ແມ່ນ unmatched ໂດຍວັດສະດຸອື່ນໆ.

3. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ. Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີຕົວຄູນຕ່ໍາທີ່ສຸດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແລະສາມາດຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມສູງ. ຄວາມຮ້ອນ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເຖິງປະມານ 1100 ℃ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເອົາໃຈໃສ່ໃນນ້ໍາອຸນຫະພູມໃນຫ້ອງຈະບໍ່ເຮັດໃຫ້ມັນແຕກ.

2. ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ. ຍົກເວັ້ນອາຊິດ hydrofluoric, quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີປະຕິກິລິຍາເຄມີກັບສານທີ່ມີທາດດ້ານອາຊິດອື່ນໆ. ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ມັນສາມາດຕ້ານທານກັບການກັດກ່ອນຈາກອາຊິດຊູນຟູຣິກ, ອາຊິດ nitric, ອາຊິດ hydrochloric, ເກືອນ້ໍາທີ່ເປັນກາງ, ກາກບອນ, ແລະຊູນ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງອາຊິດຂອງມັນແມ່ນ 30 ເທົ່າຂອງເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາແລະ 150 ຄັ້ງຂອງເຫລັກສະແຕນເລດ. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີຂອງມັນ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນອຸນຫະພູມສູງ, ແມ່ນ unmatched ໂດຍວັດສະດຸອື່ນໆ.

.. ການປະຕິບັດການສນວນກັນທີ່ດີ. ການຕໍ່ຕ້ານຂອງ quartz ທີ່ມີຄວາມສະຖຽນລະພາບສູງແມ່ນສິບພັນເທື່ອຂອງແກ້ວໄຕມາດທໍາມະດາ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນການສນວນກັບໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ, ມີຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ດີເຖິງແມ່ນວ່າໃນອຸນຫະພູມສູງ.