ຖັງ Quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກ

ຖັງ Quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກ, ຫັດຖະກໍາຈາກ quartz ຊັ້ນ semiconductor, ສະຫນອງຄວາມທົນທານພິເສດແລະບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບສານເຄມີຕ່າງໆລວມທັງອາຊິດຊູນຟູຣິກ (H2SO4), ໄຮໂດເຈນ peroxide (H2O2), ແລະການແກ້ໄຂສະອາດມາດຕະຖານ (SC1).

ຫນຶ່ງໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍຂອງຖັງ Quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກໃນການຜະລິດ wafer ແມ່ນການທໍາຄວາມສະອາດຂອງ wafers. ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດຕ່າງໆ, wafers ອາດຈະຖືກໃສ່ຫນ້າກາກເພື່ອຂູດຊິ້ນສ່ວນສະເພາະຫຼືເພື່ອຈໍາກັດການແຜ່ກະຈາຍໄປສູ່ພື້ນທີ່ທີ່ກໍານົດໄວ້. ເມື່ອຂັ້ນຕອນຂະບວນການສະເພາະໃດຫນຶ່ງສໍາເລັດ, ອຸປະກອນການຫນ້າກາກຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມຢ່າງລະອຽດເພື່ອກະກຽມ wafer ສໍາລັບຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປ. ຖັງ Quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກແມ່ນມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດນີ້, ຮັບປະກັນວ່າ wafers ໄດ້ຖືກອະນາໄມຢ່າງມີປະສິດທິພາບໂດຍບໍ່ມີສານຕົກຄ້າງຫຼືອະນຸພາກທີ່ສາມາດປົນເປື້ອນຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງຕໍ່ໄປ.

ຄວາມສາມາດຂອງ Quartz ຖັງສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກເພື່ອຕ້ານສານເຄມີທີ່ຮຸກຮານແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງປຽກ. ຖັງເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ etching ແລະທໍາຄວາມສະອາດໂດຍບໍ່ມີການ reacting ກັບເຂົາເຈົ້າ. ປະຕິກິລິຍາທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍານີ້ຮັບປະກັນວ່າສານເຄມີຍັງຄົງມີປະສິດຕິຜົນແລະບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີທີ່ບໍ່ຕ້ອງການເກີດຂື້ນທີ່ສາມາດທໍາລາຍຄວາມສົມບູນຂອງ wafers.

ໃນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ wafer, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງ wafers ກັບ particles. Semicorex Quartz Tank ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກແມ່ນວິສະວະກໍາເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ຮັບປະກັນວ່າ wafers ໄດ້ຖືກອະນາໄມຢ່າງລະອຽດແລະມີປະສິດທິພາບ. ຖັງ quartz ຂອງພວກເຮົາສາມາດສະຫນອງໃນຮູບແບບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະ re-circulating, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແລະການໄຫຼວຽນຂອງການແກ້ໄຂການເຮັດຄວາມສະອາດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

ລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງຂອງ Semicorex Quartz Tank ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກແມ່ນການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນສູງ. ຖັງເຫຼົ່ານີ້ສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 190 ° C, ເຫມາະສໍາລັບຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງການແກ້ໄຂການທໍາຄວາມສະອາດຫຼື etching. ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນສູງຮັບປະກັນວ່າຖັງຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະການປະຕິບັດເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ. ນີ້ເປັນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການທີ່ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຕ້ອງການ.

ຖັງ Quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກຍັງສະແດງໃຫ້ເຫັນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາແລະຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ. ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກຫຼືການຜິດປົກກະຕິເນື່ອງຈາກການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ, ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຖັງ. ຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ຖັງ quartz ສາມາດທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາໂດຍບໍ່ມີການທໍາລາຍຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ. ຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງປຽກໃນ fabrication wafer.

ຄວາມໂປ່ງໃສສູງແມ່ນປະໂຫຍດອີກອັນຫນຶ່ງຂອງ Semicorex Quartz Tank ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກ. ຄວາມໂປ່ງໃສຂອງວັດສະດຸ quartz ອະນຸຍາດໃຫ້ມີການກວດກາສາຍຕາຂອງ wafers ແລະການແກ້ໄຂການທໍາຄວາມສະອາດຫຼື etching ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ. ການເບິ່ງເຫັນນີ້ເສີມຂະຫຍາຍການຄວບຄຸມແລະການຕິດຕາມຂະບວນການ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າບັນຫາຕ່າງໆສາມາດກວດພົບແລະແກ້ໄຂໄດ້ທັນທີ. ຄວາມສາມາດໃນການຕິດຕາມກວດກາສາຍຕາຂອງຂະບວນການແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂັ້ນຕອນການທໍາຄວາມສະອາດ wafer ແລະ etching.

ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົານຳໃຊ້ເທັກໂນໂລຍີເຄື່ອງຈັກທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອຜະລິດຖັງ Quartz ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສຳລັບການປຸງແຕ່ງປຽກ. ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຂອງພວກເຮົາປະກອບມີແຜ່ນໃບຄ້າຍຄືເພັດແລະການຕັດ laser ຂະຫນາດ, ຮັບປະກັນຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນແລະການສໍາເລັດຮູບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ພວກເຮົາຍັງນໍາໃຊ້ພື້ນຜິວທີ່ຂັດຫຼາຍເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການຜະລິດອະນຸພາກແລະການປົນເປື້ອນ. ຊ່າງເຊື່ອມໂລຫະ quartz ທີ່ມີປະສົບການຂອງພວກເຮົາສ້າງຖັງ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍ inlets welded ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະຜູ້ຖື probe, ປັບແຕ່ງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ.

ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມທົນທານຂອງຖັງ Quartz ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງປຽກ, ພວກເຮົາ anneal ໃຫ້ເຂົາເຈົ້າບັນເທົາຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ. Annealing ແມ່ນຂະບວນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນພາຍໃນພາຍໃນວັດສະດຸ quartz, ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນແລະເພີ່ມຄວາມທົນທານໂດຍລວມຂອງມັນ.

ຂະຫນາດແລະການຕັ້ງຄ່າທີ່ກໍາຫນົດເອງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສະເຫນີຂະຫນາດແລະການຕັ້ງຄ່າທີ່ຫລາກຫລາຍສໍາລັບຖັງ quartz ຂອງພວກເຮົາ, ໃຫ້ພວກເຮົາສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການເພີ່ມຊ່ອງສຽບ quartz ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ຜູ້ຖື probe, ຫຼືລັກສະນະທີ່ກໍາຫນົດເອງອື່ນໆ, ພວກເຮົາເຮັດວຽກຢ່າງໃກ້ຊິດກັບລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາເພື່ອຈັດສົ່ງຖັງ quartz ທີ່ຕອບສະຫນອງຂໍ້ກໍາຫນົດທີ່ຊັດເຈນຂອງພວກເຂົາ.