SiC-coated planetary susceptors

Semicorex SiC-coated planetary susceptors ແມ່ນອົງປະກອບສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ semiconductor epitaxial ໃນອຸປະກອນ Aixtron G2, ເຊິ່ງພວກເຂົາສາມາດສະຫນັບສະຫນູນ wafers ຢ່າງປອດໄພແລະ rotate ໃນວິທີການເຄື່ອນທີ່ຂອງດາວເຄາະ. ດ້ວຍວິທີນີ້, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນແລະການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer ສາມາດບັນລຸໄດ້ຢ່າງສໍາເລັດຜົນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຊັ້ນຊັ້ນ epitaxial ຊັ້ນສູງມີຄຸນນະພາບສູງໃນ wafers.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຕົວອ່ອນຂອງດາວເຄາະທີ່ເຄືອບ Semicorex SiC

1. ການອອກແບບກະເປົ໋າຫຼາຍ wafer

Semicorex SiC-coatedດາວເຄາະທີ່ອ່ອນໄຫວຄຸນນະສົມບັດການແຜ່ກະຈາຍເອກະພາບຂອງຖົງ wafer ຫຼາຍທີ່ມີຂະຫນາດຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ. ກະເປົ໋າ wafer ເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຍຶດເອົາ substrates wafer ໄດ້ຢ່າງແຫນ້ນຫນາໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial, ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂະບວນການ epitaxial ທີ່ເກີດຈາກການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຂອງ substrates wafer. ນອກຈາກນັ້ນ, ການອອກແບບກະເປົ໋າຫຼາຍ wafer ນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ substrates wafer ຫຼາຍ undergo epitaxial deposition ພ້ອມກັນໃນຂະບວນການດຽວ, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍປັບປຸງປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.

2. ການຈັດລຽງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ເໝາະສົມ

Semicorex ລວມເອົາຊຸດຊ່ອງທາງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ຖືກອອກແບບຢ່າງລະມັດລະວັງເຂົ້າໄປໃນຂອງມັນSiC-caotedດາວເຄາະທີ່ອ່ອນໄຫວ, ເຊິ່ງປັບປຸງການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງນະໂຍບາຍດ້ານການໄຫຼຂອງອາຍແກັສແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer ຕະຫຼອດຂະບວນການ epitaxial. ການອອກແບບທີ່ມີຄວາມຄິດນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງກ່ຽວກັບອັດຕາການໄຫຼຂອງອາຍແກັສແລະການແຜ່ກະຈາຍພາຍໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸຮູບເງົາບາງໆທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນດຽວກັນ, ແລະປະສິດທິພາບອຸປະກອນໂດຍລວມທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.

3. ຄວາມ​ສະ​ອາດ​ສູງ​ສຸດ​

Semicorex SiC-coated planetary susceptors ໄດ້ຖືກຜະລິດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະລະດັບ impurity ຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ຕອບສະຫນອງຢ່າງເຕັມສ່ວນຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດຢ່າງເຂັ້ມງວດຂອງ fabrication semiconductor. ພວກມັນຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງ wafer ຢ່າງມີປະສິດທິຜົນທີ່ເກີດຈາກການລະບາຍໂລຫະ, ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນປົກກະຕິຂອງຂະບວນການ epitaxial.

4. ຊີວິດການບໍລິການຍາວນານ

ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງ Semicorex ເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍການຄັດເລືອກຢ່າງເຂັ້ມງວດຂອງວັດຖຸດິບຂອງພວກເຮົາ. SiC-coated planetary susceptors ແມ່ນຜະລິດຈາກ graphite semiconductor-grade ແລະ silicon carbide, ສະຫນອງການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ເຮັດໃຫ້ມັນຢ່າງສົມບູນທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ທ້າທາຍ, corrosive ສູງສະພາບການດໍາເນີນງານ epitaxial. ດ້ວຍຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ດີເລີດເຫຼົ່ານີ້, ຕົວອ່ອນຂອງດາວເຄາະທີ່ເຄືອບ Semicorex SiC ສາມາດຮັກສາການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະຫຼີກເວັ້ນຄວາມເສຍຫາຍຂອງຫນ້າດິນແລະການຫຼຸດລົງຂອງການປະຕິບັດໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການຂອງຕົວອ່ອນຂອງດາວເຄາະທີ່ເຄືອບ SiC ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.