SiC Coated Plate Carriers ສໍາລັບ MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers ສໍາລັບ MOCVD ແມ່ນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ, ແລະແມ້ກະທັ້ງ profile ຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດີເລີດສໍາລັບຜູ້ທີ່ຊອກຫາຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຜູ້ຜະລິດແຜ່ນເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບ MOCVD ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດີເລີດສໍາລັບຜູ້ທີ່ຊອກຫາຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບສູງແລະສອດຄ່ອງໃນຄຸນສົມບັດຂອງມັນ.
ແຜ່ນເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາສໍາລັບ MOCVD ທີ່ເຮັດດ້ວຍການເຄືອບຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນກາຟ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງສູງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C. ຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ CVD ທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດຂອງມັນຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ. ມັນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງ, ມີຫນ້າດິນທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະອະນຸພາກອັນດີ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອ, ແລະທາດປະສົມອິນຊີ. ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງຂອງມັນຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C.

ພາລາມິເຕີຂອງ SiC Coated Plate Carriers ສໍາລັບ MOCVD

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນສົມບັດຂອງ SiC Coated Graphite Susceptor ສໍາລັບ MOCVD

- ຫຼີກເວັ້ນການປອກເປືອກອອກແລະຮັບປະກັນການເຄືອບທຸກດ້ານ
ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C
ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ CVD ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ດ້ານຫນາແຫນ້ນແລະອະນຸພາກລະອຽດ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
- ບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ
- ຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງ profile ຄວາມຮ້ອນ
- ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼື impurities ການແຜ່ກະຈາຍ