ແຫວນສະຫນັບສະຫນູນ SiC ເຄືອບ

ແຫວນສະຫນັບສະຫນູນ Semicorex SiC ເຄືອບມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ຝາກໄວ້ໃນ wafers semiconductor.

ວົງແຫວນສະຫນັບສະຫນູນທີ່ເຄືອບ SiC ສະຫນອງຊັ້ນປ້ອງກັນທີ່ເຂັ້ມແຂງທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການກັດກ່ອນປົກກະຕິໃນເຕົາປະຕິກອນການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial. ຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່າຂອງ SiC ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວພື້ນຜິວ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນການລະບາຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຄັ່ງຕຶງ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງຫນ້ອຍທີ່ສຸດ.

ແຫວນສະຫນັບສະຫນູນທີ່ເຄືອບ SiC ຕ້ານການໂຈມຕີທາງເຄມີຈາກທາດອາຍຜິດ reactive ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ epitaxial, ຍືດອາຍຸການດໍາເນີນງານຂອງວົງສະຫນັບສະຫນູນແລະຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງຂະບວນການ. ການຕໍ່ຕ້ານນີ້ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ປະກອບສ່ວນໃຫ້ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສູງຂຶ້ນແລະການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

SiC Coated Support Ring ຮັກສາຕໍາແຫນ່ງ wafer ທີ່ຊັດເຈນ, ສໍາຄັນສໍາລັບການຝາກຊັ້ນເປັນເອກະພາບ. ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງວົງແຫວນທີ່ເຄືອບ SiC ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມສູງຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງໃນໄລຍະການປຸງແຕ່ງຫຼາຍຮອບ.

Semicorex SiC Coated Support Ring ເປັນອົງປະກອບຫຼັກໃນຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເທກໂນໂລຍີ semiconductor, ຮັບປະກັນການຜະລິດອຸປະກອນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງດ້ວຍການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.