ຈີນ ເຊລາມິກ ຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ສະໜອງ, ໂຮງງານ

Semicorex ແມ່ນຄູ່ຮ່ວມງານຂອງທ່ານສໍາລັບການປັບປຸງການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງພວກເຮົາມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ອຸນຫະພູມສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ, ເຊິ່ງມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນວົງຈອນທັງຫມົດຂອງການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງ semiconductor wafer & wafer processing ແລະ semiconductor fabrication.

ອົງປະກອບເຊລາມິກ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ຂະບວນການໃນເຊມິຄອນດັກເຕີ. ການສະເຫນີຂອງພວກເຮົາມີຂອບເຂດຈາກພາກສ່ວນທີ່ບໍລິໂພກສໍາລັບອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer, ເຊັ່ນ: Silicon Carbide wafer boat, cantilever paddles, tubes, ແລະອື່ນໆສໍາລັບ Epitaxy ຫຼື MOCVD.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor

ໄລຍະການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆເຊັ່ນ epitaxy ຫຼື MOCVD, ຫຼືການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer ເຊັ່ນ etching ຫຼື ion implant ຕ້ອງອົດທົນກັບອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. Semicorex ສະຫນອງການກໍ່ສ້າງ silicon carbide (SiC) ຄວາມບໍລິສຸດສູງໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ທົນທານ, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຊັ້ນ epic ທີ່ສອດຄ່ອງແລະການຕໍ່ຕ້ານ.

Chamber Lids →
Chamber Lids ທີ່ໃຊ້ໃນການຈະເລີນເຕີບໂຕໄປເຊຍກັນແລະການປຸງແຕ່ງການຈັດການ wafer ຕ້ອງທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນການແຜ່ກະຈາຍຫຼື LPCVD furnaces ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຊັ່ນການແຜ່ກະຈາຍແລະ RTP.

ທໍ່ຂະບວນການ →
ທໍ່ຂະບວນການແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ, ອອກແບບໂດຍສະເພາະໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ semiconductor ຕ່າງໆເຊັ່ນ RTP, ການແຜ່ກະຈາຍ.

ເຮືອ Wafer →
ເຮືອ wafer ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າ wafers ທີ່ລະອຽດອ່ອນຈະຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ຢ່າງປອດໄພໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດທີ່ສໍາຄັນ.

Inlet Rings →
SiC coated gas inlet ring ໂດຍອຸປະກອນ MOCVD ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງທາດປະສົມມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ຍິ່ງໃຫຍ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສຸດ.

Focus Ring →
Semicorex ສະຫນອງແຫວນໂຟກັດ Silicon Carbide Coated ແມ່ນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແທ້ໆສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດ RTA, RTP ຫຼືສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flat ceramic vacuum chucks ແມ່ນການເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຈັດການ wafer.

Semicorex ຍັງມີຜະລິດຕະພັນເຊລາມິກໃນ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), ອະລູມິນຽມ Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, ແລະອື່ນໆ.