ການເຄືອບ SiC ແມ່ນຊັ້ນບາງໆໃສ່ຕົວດູດຜ່ານຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ວັດສະດຸ silicon carbide ສະຫນອງຂໍ້ໄດ້ປຽບຈໍານວນຫນຶ່ງຂອງຊິລິໂຄນ, ລວມທັງ 10x ການທໍາລາຍຄວາມເຂັ້ມແຂງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, 3x ຊ່ອງຫວ່າງແຖບ, ເຊິ່ງສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດເຊັ່ນດຽວກັນກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນ.
Semicorex ໃຫ້ບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານປະດິດສ້າງດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ຍາວນານ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຮອບວຽນ, ແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດ.
ການເຄືອບ SiC ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ
ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: CVD SiC coated susceptor ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C ໂດຍບໍ່ມີການ undergoing ການເຊື່ອມໂຊມຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນ.
ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ: ການເຄືອບ silicon carbide ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບສານເຄມີທີ່ຫລາກຫລາຍ, ລວມທັງອາຊິດ, ດ່າງ, ແລະສານລະລາຍອິນຊີ.
ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່: ການເຄືອບ SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສວມໃສ່ແລະນ້ໍາຕາສູງ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການເຄືອບ CVD SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງສູງ: susceptor ເຄືອບ silicon carbide ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງຕົວສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ.
ການເຄືອບ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ
ການຜະລິດ LED: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດການປຸງແຕ່ງຂອງປະເພດ LED ຕ່າງໆ, ລວມທັງ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, LED UV ແລະເລິກ UV LED, ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
ການສື່ສານມືຖື: CVD SiC coated susceptor ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງ HEMT ເພື່ອເຮັດສໍາເລັດຂະບວນການ GaN-on-SiC epitaxial.
Semiconductor Processing: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.
SiC ເຄືອບ graphite ອົງປະກອບ
ເຮັດໂດຍ Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ການເຄືອບແມ່ນໃຊ້ໂດຍວິທີການ CVD ກັບຊັ້ນສະເພາະຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ສະນັ້ນມັນສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເກີນ 3000 °C ໃນບັນຍາກາດ inert, 2200 ° C ໃນສູນຍາກາດ. .
ຄຸນສົມບັດພິເສດແລະມະຫາຊົນຕ່ໍາຂອງວັດສະດຸອະນຸຍາດໃຫ້ອັດຕາຄວາມຮ້ອນໄວ, ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ໂດດເດັ່ນໃນການຄວບຄຸມ.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex SiC
ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປ |
ໜ່ວຍ |
ຄຸນຄ່າ |
ໂຄງສ້າງ |
|
ໄລຍະ FCC β |
ປະຖົມນິເທດ |
ເສດສ່ວນ (%) |
111 ມັກ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ |
g/cm³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ສະຫຼຸບ CVD SiC coated susceptor ເປັນວັດສະດຸປະສົມທີ່ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຂອງ susceptor ແລະ silicon carbide. ວັດສະດຸນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກ, ລວມທັງອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະຄວາມແຂງ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ດຶງດູດສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ, ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ, ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ແລະການຜະລິດ LED.
ຊອກຫາຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບຂະບວນການ etching? ເບິ່ງບໍ່ເກີນກວ່າ Semicorex's Silicon Carbide ICP Etching Carrier. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບເພື່ອທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ, ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານແລະອາຍຸຍືນ. ດ້ວຍພື້ນຜິວທີ່ສະອາດ ແລະລຽບນຽນ, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາແມ່ນດີເລີດສຳລັບການຈັດການ wafers pristine.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຜ່ນ SiC ຂອງ Semicorex ສໍາລັບຂະບວນການ Etching ICP ແມ່ນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການຂອງການປຸງແຕ່ງສານເຄມີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະຮຸນແຮງໃນການວາງຮູບເງົາບາງໆແລະການຈັດການ wafer. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະເຖິງແມ່ນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຊັ້ນ epic ທີ່ສອດຄ່ອງແລະການຕໍ່ຕ້ານ. ດ້ວຍພື້ນຜິວທີ່ສະອາດ ແລະລຽບນຽນ, ການເຄືອບໄປເຊຍກັນ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງພວກເຮົາໃຫ້ການຈັດການທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບ wafers pristine.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex SiC Coated ICP Etching Carrier ວິສະວະກໍາໂດຍສະເພາະສໍາລັບອຸປະກອນ epitaxy ທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ໃນປະເທດຈີນ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີແລະກວມເອົາຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex's Etching Carrier Holder ສໍາລັບ PSS Etching ແມ່ນວິສະວະກໍາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸປະກອນ epitaxy ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ graphite ທີ່ບໍລິສຸດຂອງພວກເຮົາສາມາດທົນຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຄືອບ SiC ມີຄຸນສົມບັດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ, ແລະພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຈັດການ PSS ຂອງ Semicorex ສໍາລັບການໂອນ Wafer ແມ່ນວິສະວະກໍາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸປະກອນ epitaxy ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ graphite ທີ່ບໍລິສຸດຂອງພວກເຮົາສາມາດທົນຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຄືອບ SiC ມີຄຸນສົມບັດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ, ແລະພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຜ່ນ silicon Etch ຂອງ Semicorex ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ PSS Etching ແມ່ນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ບໍລິສຸດທີ່ສຸດທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ແລະຂະບວນການຈັດການ wafer. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາສາມາດທົນຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ, ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ແຜ່ນ silicon etching ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ PSS etching ມີຄຸນສົມບັດການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະເປັນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ, ແລະພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ