ການເຄືອບ SiC ແມ່ນຊັ້ນບາງໆໃສ່ຕົວດູດຜ່ານຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ວັດສະດຸ silicon carbide ສະຫນອງຂໍ້ໄດ້ປຽບຈໍານວນຫນຶ່ງຂອງຊິລິໂຄນ, ລວມທັງ 10x ການທໍາລາຍຄວາມເຂັ້ມແຂງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, 3x ຊ່ອງຫວ່າງແຖບ, ເຊິ່ງສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດເຊັ່ນດຽວກັນກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນ.
Semicorex ໃຫ້ບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານປະດິດສ້າງດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ຍາວນານ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຮອບວຽນ, ແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດ.
ການເຄືອບ SiC ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ
ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: CVD SiC coated susceptor ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C ໂດຍບໍ່ມີການ undergoing ການເຊື່ອມໂຊມຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນ.
ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ: ການເຄືອບ silicon carbide ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບສານເຄມີທີ່ຫລາກຫລາຍ, ລວມທັງອາຊິດ, ດ່າງ, ແລະສານລະລາຍອິນຊີ.
ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່: ການເຄືອບ SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສວມໃສ່ແລະນ້ໍາຕາສູງ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການເຄືອບ CVD SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງສູງ: susceptor ເຄືອບ silicon carbide ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງຕົວສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ.
ການເຄືອບ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ
ການຜະລິດ LED: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດການປຸງແຕ່ງຂອງປະເພດ LED ຕ່າງໆ, ລວມທັງ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, LED UV ແລະເລິກ UV LED, ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
ການສື່ສານມືຖື: CVD SiC coated susceptor ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງ HEMT ເພື່ອເຮັດສໍາເລັດຂະບວນການ GaN-on-SiC epitaxial.
Semiconductor Processing: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.
SiC ເຄືອບ graphite ອົງປະກອບ
ເຮັດໂດຍ Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ການເຄືອບແມ່ນໃຊ້ໂດຍວິທີການ CVD ກັບຊັ້ນສະເພາະຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ສະນັ້ນມັນສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເກີນ 3000 °C ໃນບັນຍາກາດ inert, 2200 ° C ໃນສູນຍາກາດ. .
ຄຸນສົມບັດພິເສດແລະມະຫາຊົນຕ່ໍາຂອງວັດສະດຸອະນຸຍາດໃຫ້ອັດຕາຄວາມຮ້ອນໄວ, ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ໂດດເດັ່ນໃນການຄວບຄຸມ.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex SiC
ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປ |
ໜ່ວຍ |
ຄຸນຄ່າ |
ໂຄງສ້າງ |
|
ໄລຍະ FCC β |
ປະຖົມນິເທດ |
ເສດສ່ວນ (%) |
111 ມັກ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ |
g/cm³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ສະຫຼຸບ CVD SiC coated susceptor ເປັນວັດສະດຸປະສົມທີ່ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຂອງ susceptor ແລະ silicon carbide. ວັດສະດຸນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກ, ລວມທັງອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະຄວາມແຂງ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ດຶງດູດສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ, ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ, ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ແລະການຜະລິດ LED.
Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor ເປັນຜະລິດຕະພັນ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ສະຫນອງຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ LPE ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex SiC coating EPI 3 1/4 "Barrel Susceptor ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການໂຈມຕີສານເຄມີ, ໃນຂະນະທີ່ substrate graphite ສະຫນອງຄຸນສົມບັດການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex ເປັນຜູ້ຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະຜູ້ສະຫນອງ SiC Coated Barrel Susceptor ໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາສຸມໃສ່ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເຊັ່ນຊັ້ນ silicon carbide ແລະ epitaxy semiconductor. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີແລະກວມເອົາຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex ເປັນຜູ້ຜະລິດເອກະລາດຊັ້ນນໍາຂອງ Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor, Precision Machined High Purity Graphite ສຸມໃສ່ Silicon Carbide Coated Graphite, Silicon Carbide Ceramic, MOCVP ພື້ນທີ່ການຜະລິດ semiconductor. Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີແລະກວມເອົາຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ