ແຜ່ນຮັບ

ຫັດຖະກໍາຈາກກາຟໄຟທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງຊິລິໂຄນຄາໄບ (SiC) ໂດຍໃຊ້ເຕັກນິກ MOCVD, Semicorex Susceptor Disc ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ. ການເຄືອບ silicon carbide ຮັບປະກັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບ corrosive, ສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງແຜ່ນ Susceptor ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ້າທາຍ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ການເຄືອບ SiC ໃນ Susceptor Disc ເສີມຂະຫຍາຍການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ໄວແລະແມ້ກະທັ້ງທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ທີ່ສອດຄ່ອງ. ມັນດູດຊຶມແລະ radiates ຄວາມຮ້ອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ສະຫນອງອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ເອກະພາບທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຝາກຂອງຮູບເງົາບາງໆ. ເອກະພາບນີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເຊິ່ງເປັນພື້ນຖານຂອງການເຮັດວຽກແລະການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າ.

ການອອກແບບຂອງ Susceptor Disc ຍັງແກ້ໄຂສິ່ງທ້າທາຍຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ. ຄ່າສໍາປະສິດຫນ້ອຍທີ່ສຸດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ຮັບປະກັນຄວາມຜູກພັນທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບຊັ້ນ epitaxial, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການແຕກເນື່ອງຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ. ຄຸນນະສົມບັດນີ້, ບວກໃສ່ກັບຈຸດ melting ສູງຂອງ Susceptor Disc ແລະການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງທີ່ດີເລີດ, ອະນຸຍາດໃຫ້ປະຕິບັດງານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮ້າຍ.

ດ້ວຍຄຸນສົມບັດຂັ້ນສູງເຫຼົ່ານີ້, Susceptor Disc ບໍ່ພຽງແຕ່ຕອບສະຫນອງໄດ້ແຕ່ເກີນຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ MOCVD ທີ່ທັນສະໄຫມ, ສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖື, ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial.