ເຄິ່ງດວງຈັນ

semicorex ເທິງເຄິ່ງທາງດວງຈັນແມ່ນເປັນຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer ເຄິ່ງວົງມົນທີ່ມີຄວາມວິຕົກກັງວົນສໍາລັບອຸປະກອນປຸງແຕ່ງ Epitaxial. ໃນຖານະເປັນສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial, ສ່ວນນີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະສະຖຽນລະພາບຂອງດອກຊິລິໂຄນໃນລະຫວ່າງການຝາກເງິນທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ (CVD). ຜະລິດຈາກການເຄືອບຄວາມສະອາດສູງແລະປົກປ້ອງດ້ວຍການເຄືອບກົນຊິເຊີທີ່ມີເອກະພາບ (SIC) ປະສົມປະສານກັບກົນໄກ, ແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ຈະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງ Epitaxy ທີ່ມີຄວາມພີ້.

ຜະລິດຕະພັນນີ້ໄດ້ຮັບຊື່ຂອງມັນຈາກເລຂາຄະນິດໃນວົງເດືອນເຄິ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຊິ່ງມີຈຸດປະສົງທີ່ສ້າງຂື້ນສໍາລັບເຕົາຫມູນວຽນແບບຫມູນວຽນຫຼືຫຼາຍ wafer. ຮູບຊົງທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະຂອງມັນບໍ່ພຽງແຕ່ອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການກະແຈກກະຈາຍອາຍແກັສແລະການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນເທົ່ານັ້ນແຕ່ຍັງຊ່ວຍໃຫ້ການເຊື່ອມໂຍງເຂົ້າກັນງ່າຍແລະການຫມູນວຽນທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ. ການອອກແບບເຄິ່ງວົງມົນທີ່ຮັບປະກັນການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ດີທີ່ສຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຄັ່ງຕຶງຄວາມຮ້ອນ, ແລະມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການບັນລຸຄວາມຫນາຂອງຫນັງທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າ.

ຜະລິດຕະພັນທີ່ສູງສຸດເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງດວງຈັນສູງສຸດແມ່ນມີຜົນປະໂຫຍດດ້ານການປະຕິບັດທີ່ສຸດຂອງໂຄງສ້າງທີ່ດີທີ່ສຸດໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດເຊິ່ງກັນກັບຄວາມອົດທົນເພື່ອຄວາມລົ້ມເຫລວໃນການເຮັດຊ້ໍາອີກ. ເພື່ອຂະຫຍາຍການນໍາໃຊ້, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງ SICE ທີ່ມີຄວາມແຂງແຮງສູງແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍເຕັກໂນໂລຢີຂອງສານເຄມີ, ແຍກອອກຈາກຊັ້ນວາງຂອງກາຟິກຈາກ hcl, silane, ແລະຂະບວນການອື່ນໆ. ໂດຍບໍ່ສົນເລື່ອງ, ຊີວິດ SIC ໄດ້ສົ່ງເສີມຊີວິດທີ່ທົນທານແລະເປັນທັງສອງສ່ວນໃນສ່ວນສຸດຂອງອາວຸດຂອງມັນແມ່ນແຕ່ໃນທີ່ສຸດກໍ່ສ້າງຄວາມປົນເປື້ອນຂອງຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການແລະຄຸນນະພາບຂອງຂະບວນການ.

ການສໍາເລັດຮູບຂອງຊັ້ນ SIC ໄດ້ຖືກກໍານົດໄວ້ແລະກ້ຽງຫລືກ້ຽງຫຼືກ້ຽງເພື່ອສົ່ງເສີມການໂອນຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີໄປສູ່ການສ້າງຮູບເງົາແລະການສ້າງຮູບເງົາຄົງທີ່. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການເຄືອບ Sic ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານສ່ວນປະກອບໃຫ້ກັບສ່ວນປະກອບທີ່ເປັນປັດໃຈຫຼັກທີ່ສໍາຄັນຂອງການນໍາໃຊ້ semiconductor ທີ່ລະອຽດ. ຕົວກໍານົດການປະຕິບັດຕົວລະລວມລວມທັງຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ຕໍ່າຫຼາຍກ່ວາ 1200 ° C ສະຫນອງສ່ວນປະກອບທີ່ມີປະສິດຕິຜົນສໍາລັບວົງຈອນການເຮັດວຽກທີ່ມີປະສິດຕິຜົນຫຼາຍ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນລະບົບຫຼຸດລົງແລະການບໍາລຸງຮັກສາລະບົບຫຼຸດລົງ.

semicorex ເທິງເຄິ່ງທາງດວງຈັນແມ່ນເປັນອັນດັບສອງເພື່ອບໍ່ມີຄວາມເຄົາລົບຕໍ່ຄວາມທົນທານ, ການເຄືອບເປັນເອກະພາບ, ແລະການເລືອກວັດສະດຸ. ພວກເຮົາຮັກສາການຄວບຄຸມທີ່ມີຄຸນນະພາບຢ່າງເຄັ່ງຄັດໃນທຸກໆບາດກ້າວ, ຈາກການໃສ່ເຄືອບຂອງ SICIC ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ປະສົບການຂອງພວກເຮົາໃນການປັບອາຫານເລຂາຄະນິດ, ຄວາມຫນາ, ແລະການຮັກສາດ້ານຫນ້າແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ໃຫ້ເປັນເກືອບທຸກຮູບແບບຂອງ isitxy.

ເຄິ່ງຫນຶ່ງຂອງດວງຈັນສູງສຸດແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ Wafer, ຄວາມເປັນເອກະພາບຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນສໍາລັບ Epitaxy Silicon ຫຼື compound. ເພາະສະນັ້ນ, Semicorex ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມຊໍານານທີ່ບໍ່ມີການທຽບເທົ່າ, ເຕັກໂນໂລຢີວັດສະດຸ, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຜະລິດເພື່ອບັນລຸຄວາມຄາດຫວັງຂອງລູກຄ້າສໍາລັບສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມຊໍານານ, ມີປະສິດຕິພາບສູງ.