ເຄື່ອງປະຕິກອນທີ່ເຄືອບຄາໄບໄບ້ທີ່ເຮັດດ້ວຍຖັງ

The Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor ແມ່ນຜະລິດຕະພັນກຼາຟີ້ຄຸນນະພາບພຣີມຽມທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ອອກແບບສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການ LPE. ດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນດີເລີດສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຖ້າທ່ານກໍາລັງຊອກຫາຕົວຍຶດ graphite ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງສໍາລັບການສ້າງຊັ້ນ epitaxial ໃນ wafers semiconductor, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ດີເລີດ. ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງມັນສະຫນອງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ພິເສດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການທີ່ສຸດ.

ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງ, ປະສິດທິພາບ carbide-coated reactor barrel susceptor, ພວກເຮົາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຄວາມພໍໃຈຂອງລູກຄ້າແລະສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.

ພາລາມິເຕີຂອງເຄື່ອງປະຕິກອນທີ່ເຄືອບຄາໄບໄບ້ ຖັງນໍ້າມ Susceptor

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນສົມບັດຂອງເຄື່ອງປະຕິກອນທີ່ເຄືອບ Carbide-Coated Barrel Susceptor

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.

- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.

- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.

- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.