Semicorex SiC coating EPI 3 1/4 "Barrel Susceptor ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການໂຈມຕີສານເຄມີ, ໃນຂະນະທີ່ substrate graphite ສະຫນອງຄຸນສົມບັດການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ.
Semicorex EPI 3 1/4" barrel susceptor ເປັນຜະລິດຕະພັນ graphite ຄຸນນະພາບສູງທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ສະຫນອງຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ LPE ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor.
EPI 3 1/4 "Barrel Susceptors ຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆ, ລວມທັງຍານອາວະກາດ, ລົດຍົນ, ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ. ພວກເຮົາມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ແລະພວກເຮົາມີຄວາມຕັ້ງໃຈທີ່ຈະສ້າງໃນໄລຍະຍາວ. ການພົວພັນກັບລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອຮຽນຮູ້ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບພວກເຮົາເຄືອບ SiCgraphite crucibles ແລະວິທີທີ່ພວກເຂົາສາມາດສ້າງຜົນປະໂຫຍດທຸລະກິດຂອງທ່ານ.
ພາລາມິເຕີຂອງ EPI 3 1/4" Barrel Susceptor
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຫຼັກຂອງCVD-SICການເຄືອບ |
||
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD |
||
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ |
ໄລຍະ FCC β |
|
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
g/ຊມ ³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ |
% |
99.99995 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ຄຸນສົມບັດຂອງ EPI 3 1/4" Barrel Receptacle
ການເຄືອບ SiCສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານກັບການໂຈມຕີສານເຄມີ
ຊັ້ນໃຕ້ດິນ Graphite ສະຫນອງຄຸນສົມບັດການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມແຂງສູງ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີສູງ
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນສູງ
ອຸນຫະພູມ sublimation ສູງ
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ flexural ສູງ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມສູງ
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ
ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ