Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor ເປັນຜະລິດຕະພັນ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ສະຫນອງຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ LPE ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຂອງພວກເຮົາSilicon Carbide ເຄືອບເຄື່ອງຮັບຖັງຈາກ Semicorex ເປັນການແກ້ໄຂທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive.

ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງຄຸນນະພາບສູງ, ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຊິລິຄອນ carbide ເຄືອບbarrel susceptor, ພວກເຮົາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຄວາມພໍໃຈຂອງລູກຄ້າແລະສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.

ພາລາມິເຕີຂອງSilicon Carbide ເຄືອບເຄື່ອງຮັບຖັງ

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຫຼັກຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນນະສົມບັດຂອງSilicon Carbide ເຄືອບເຄື່ອງຮັບຖັງ

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.

- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.

- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.

- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.