SiC-Coated Gas Diversion Discs

ແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສ Semicorex SiC ແມ່ນອົງປະກອບ graphite ທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor epitaxial, ອອກແບບພິເສດເພື່ອຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຕິກິຣິຍາແລະສົ່ງເສີມການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສເປັນເອກະພາບພາຍໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ. ເລືອກ Semicorex, ເລືອກວິທີແກ້ໄຂການຫັນປ່ຽນອາຍແກັສທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບ wafer epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຢືນເປັນຕົວຢ່າງທີ່ດີຂອງວັດສະດຸຊັ້ນສູງຂອງ semiconductor ແລະເຕັກໂນໂລຊີການຜະລິດທີ່ທັນສະ ໄໝ, Semicorexເຄືອບ SiCແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສແມ່ນຜະລິດທີ່ຊັດເຈນຈາກ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນ matrices ຂອງເຂົາເຈົ້າທີ່ມີການເຄືອບ SiC ຫນາແຫນ້ນໂດຍຜ່ານການ deposition vapor ສານເຄມີ. ແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສໄດ້ຖືກອອກແບບຕົ້ນຕໍເພື່ອແຈກຢາຍອາຍແກັສຕິກິຣິຍາຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນທົ່ວຫນ້າດິນ wafer ເພື່ອຮັບປະກັນປະຕິກິລິຍາຢ່າງເຕັມທີ່ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ, ດັ່ງນັ້ນການສ້າງຕັ້ງຂອງຮູບເງົາບາງໆໄປເຊຍກັນທີ່ສອດຄ່ອງແລະເປັນເອກະພາບ.

ຂໍ້ດີຂອງແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສ Semicorex SiC

1.ຄວາມບໍລິສຸດວັດສະດຸສູງ

Semicorex ຮັກສາມາດຕະຖານຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນທີ່ເຂັ້ມງວດເລີ່ມຕົ້ນຈາກການຄັດເລືອກວັດສະດຸຢ່າງລະມັດລະວັງ. ຂໍຂອບໃຈກັບການຄວບຄຸມຄວາມບໍລິສຸດທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງວັດຖຸດິບນີ້, ແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສ Semicorex SiC ສົ່ງເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາແລະເວົ້າໂອ້ອວດຄວາມສະອາດທີ່ໂດດເດັ່ນ. ນີ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ ions ໂລຫະແລະສິ່ງປົນເປື້ອນອື່ນໆຈາກການປະນີປະນອມຂະບວນການ semiconductor epitaxial.

2.Superior ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ

ອົງປະກອບທີ່ໃຊ້ໃນລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນເປັນພິເສດເພາະວ່າອຸປະກອນ semiconductor epitaxial ປົກກະຕິເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1400 ° C. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນພິເສດນີ້ສາມາດຮັບປະກັນແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສ Semicorex SiC ທົນທານຕໍ່ສະພາບການດໍາເນີນງານທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ທ້າທາຍແລະສາມາດປ້ອງກັນການປ່ອຍອາຍພິດທີ່ເກີດຈາກອຸນຫະພູມສູງໃນລະຫວ່າງການດໍາເນີນງານ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຜົນຜະລິດຂອງ wafers epitaxial.

3.Remarkable ອຸນຫະພູມສູງ corrosion resistance

Matrices graphite ທີ່ບໍ່ໄດ້ຮັບການປ້ອງກັນແມ່ນມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະການຜະລິດອະນຸພາກ, ເຊິ່ງແມ່ນເຫດຜົນທີ່ວ່າແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສໄດ້ຖືກປະຕິບັດໂດຍທົ່ວໄປດ້ວຍການເຄືອບ silicon carbide ເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ. ຖືກປົກຄຸມດ້ວຍການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສ Semicorex SiC ສະຫນອງການຜຸພັງທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ພວກມັນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຕະຫຼອດຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນ.

4.ຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງແບບຍືດຫຍຸ່ນ

Semicorex ແມ່ນມີອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງຂັ້ນສູງຫຼາຍອັນ, ເຊັ່ນ: ອຸປະກອນເຄື່ອງຈັກ CNC, ເຄື່ອງຂັດພື້ນຜິວ, ແລະອຸປະກອນການເຈາະ ultrasonic, ສະເຫນີຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງທີ່ມີປະສົບການ. Semicorex ສາມາດໃຫ້ບໍລິການການປັບແຕ່ງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຕາມຮູບແຕ້ມຂອງລູກຄ້າແລະປັບຂະຫນາດ, ຄວາມທົນທານ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງຫນ້າດິນ, ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງຂຸມ, ແລະຊ່ອງຫວ່າງຂຸມຂອງແຜ່ນ diversion ອາຍແກັສ SiC-coated ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ seamless ກັບອຸປະກອນ epitaxial ຂອງລູກຄ້າ.