Semicorex ເປັນຜູ້ຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະຜູ້ສະຫນອງ Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ໃນປະເທດຈີນ. ພວກເຮົາສຸມໃສ່ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເຊັ່ນຊັ້ນ silicon carbide ແລະ epitaxy semiconductor. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂະບວນການ Wafer ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາທີ່ດີແລະກວມເອົາຫຼາຍຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ.
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ Semicorex Wafer ແມ່ນຜະລິດໂດຍ Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ການເຄືອບແມ່ນໃຊ້ໂດຍວິທີການ CVD ກັບຊັ້ນສະເພາະຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ດັ່ງນັ້ນມັນສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນເຕົາທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍກວ່າ 3000 ° C ໃນບັນຍາກາດ inert, 2200°C ໃນສູນຍາກາດ.
ຄຸນສົມບັດພິເສດແລະມະຫາຊົນຕ່ໍາຂອງວັດສະດຸເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂອງຂະບວນການ Wafer ຊ່ວຍໃຫ້ອັດຕາຄວາມຮ້ອນໄວ, ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ໂດດເດັ່ນໃນການຄວບຄຸມ. ໃນການປຽບທຽບກັບວັດສະດຸອື່ນໆ, ພື້ນຜິວຂອງ Silicon Carbide ຄົງຢູ່ຮາບພຽງເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຕ່ໍາເຖິງແມ່ນວ່າຈະດໍາເນີນການກັບການປ່ຽນແປງໄວຂອງອຸນຫະພູມ. ແຜ່ນຮ້ອນແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການໃນລະບົບການປຸງແຕ່ງ semiconductor.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂະບວນການ Wafer ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາແລະຖືກສົ່ງອອກໄປຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາຫຼາຍ. ພວກເຮົາມີຈຸດປະສົງເພື່ອເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສອດຄ່ອງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.
ຕົວກໍານົດການຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂະບວນການ Wafer
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ |
VET-M3 |
ຄວາມໜາແໜ້ນຫຼາຍ (g/cm3) |
≥1.85 |
ເນື້ອໃນຂີ້ເທົ່າ (PPM) |
≤500 |
ຄວາມແຂງຂອງຝັ່ງ |
≥45 |
ຄວາມຕ້ານທານສະເພາະ (μ.Ω.m) |
≤12 |
ຄວາມແຮງ Flexural (Mpa) |
≥40 |
ຄວາມແຮງບີບອັດ (Mpa) |
≥70 |
ສູງສຸດ. ຂະໜາດເມັດພືດ (μm) |
≤43 |
ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ Mm/°C |
≤4.4*10-6 |
ຄຸນນະສົມບັດຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຂະບວນການ Wafer
- ການເຄືອບ CVD SiC ເພື່ອປັບປຸງຊີວິດການບໍລິການ.
- ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຊີວິດການບໍລິການຍາວ, ສາມາດປັບປຸງຄຸນນະພາບ wafer ແລະຜົນຜະລິດ.
- ມັນມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາສຸດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ພັຍສູງ, insulation ທີ່ດີ, ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີ, ແລະການເຈາະແສງສະຫວ່າງໃກ້ສີມ່ວງ (ສີແດງ).
ພວກເຮົາສາມາດສະຫນອງການຕ້ານການຜຸພັງແລະຊີວິດຍາວ span graphite crucible, mold graphite ແລະທຸກພາກສ່ວນຂອງ graphite heater.