SiC-coated Graphite MOCVD Susceptors

SiC-coated graphite susceptors MOCVDແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການລະບາຍອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ - ອິນຊີ (MOCVD), ເຊິ່ງຮັບຜິດຊອບສໍາລັບການຖືແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງ substrates wafer. ດ້ວຍການຈັດການຄວາມຮ້ອນທີ່ເໜືອກວ່າ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິມິຕິ, SiC-coated graphite susceptors MOCVD ຖືກຖືວ່າເປັນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບ epitaxy substrate wafer ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ໃນ fabrication wafer ໄດ້, ໄດ້MOCVDເທກໂນໂລຍີຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງຊັ້ນ epitaxial ໃນດ້ານຂອງ substrates wafer, ການກະກຽມສໍາລັບການ fabrication ຂອງອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ. ເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກປັດໃຈຫຼາຍຢ່າງ, ຊັ້ນຍ່ອຍຂອງ wafer ບໍ່ສາມາດຖືກຈັດໃສ່ໂດຍກົງໃນອຸປະກອນ MOCVD ສໍາລັບການຊຶມເຊື້ອ. SiC-coated graphite susceptors MOCVD ຈໍາເປັນຕ້ອງຖືແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງ substrates wafer, ສ້າງເງື່ອນໄຂຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ epitaxial. ດັ່ງນັ້ນ, ປະສິດທິພາບຂອງສານຕ້ານອະນຸມູນອິດສະລະ MOCVD ທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ກໍານົດຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸຟິມບາງໆ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າ.

Semicorex ເລືອກgraphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນວັດສະດຸ matrix ສໍາລັບ susceptors graphite MOCVD ເຄືອບ SiC ຂອງຕົນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເຄືອບ graphite matrix ເປັນເອກະພາບກັບ.ຊິລິຄອນຄາໄບການເຄືອບດ້ວຍເຕັກໂນໂລຢີ CVD. ເມື່ອປຽບທຽບກັບເຕັກໂນໂລຢີແບບດັ້ງເດີມ, ເທກໂນໂລຍີ CVD ປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງການເຄືອບ silicon carbide ແລະ graphite matrix, ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບຫນາແຫນ້ນດ້ວຍການຍຶດຫມັ້ນທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດ corrosive ອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການ, ການເຄືອບ silicon carbide ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະສານເຄມີຂອງຕົນໃນໄລຍະຍາວ, ປະສິດທິພາບປ້ອງກັນການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງລະຫວ່າງທາດອາຍຜິດ corrosive ແລະ graphite ມາຕຣິກເບື້ອງ. ນີ້ປະສິດທິຜົນຫຼີກເວັ້ນການ corrosion ຂອງມາຕຣິກເບື້ອງ graphite ແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອະນຸພາກ graphite ຈາກ detaching ແລະປົນເປື້ອນ substrates wafer ແລະຊັ້ນ epitaxial, ຮັບປະກັນຄວາມສະອາດແລະຜົນຜະລິດຂອງ fabrication ອຸປະກອນ semiconductor.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ SiC-coated graphite susceptors MOCVD ຂອງ Semicorex

1. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ

2. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ

3. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ

4. ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ

5. ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ

6. ຄວາມລຽບຂອງພື້ນຜິວສູງ

7. ຕະຫຼອດຊີວິດການບໍລິການ