ອົງປະກອບ SiC-Coated ICP ຂອງ Semicorex ຖືກອອກແບບມາສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການຈັດການ wafer ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ epitaxy ແລະ MOCVD. ດ້ວຍການເຄືອບໄປເຊຍກັນ SiC ທີ່ດີ, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ເຖິງແມ່ນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
Semicorex's SiC-Coated ICP Component ເປັນທາງເລືອກສູງສຸດສໍາລັບຂະບວນການຈັດການ wafer ທີ່ຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາໃຫ້ເຖິງແມ່ນໂປຣໄຟລຄວາມຮ້ອນ, ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar, ແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities ຂໍຂອບໃຈກັບໄປເຊຍກັນ SiC ທີ່ດີຂອງພວກເຮົາ. ດ້ວຍການເຄືອບໄປເຊຍກັນ SiC ທີ່ດີ, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຂອງພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ເຖິງແມ່ນຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ. SiC-Coated ICP Component ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາແລະຖືກສົ່ງອອກໄປຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາຫຼາຍ. ພວກເຮົາມີຈຸດປະສົງເພື່ອເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສອດຄ່ອງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.
ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອຮຽນຮູ້ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບອົງປະກອບ ICP SiC-Coated ຂອງພວກເຮົາ.
ພາລາມິເຕີຂອງ SiC-Coated ICP Component
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC |
||
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD |
||
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ |
ໄລຍະ FCC β |
|
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
g/ຊມ ³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ |
% |
99.99995 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ຄຸນສົມບັດຂອງອົງປະກອບ ICP ທີ່ເຄືອບ SiC
- ຫຼີກເວັ້ນການປອກເປືອກອອກແລະຮັບປະກັນການເຄືອບທຸກດ້ານ
ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ: ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C
ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ CVD ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ດ້ານຫນາແຫນ້ນແລະອະນຸພາກລະອຽດ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.
- ບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ
- ຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງ profile ຄວາມຮ້ອນ
- ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼື impurities ການແຜ່ກະຈາຍ