sic ດູດຊືມ

semicorexCarbide Siliconເຄື່ອງຈັກຜະລິດວັກເຕັກໂນໂລຢີສູງ Team Ceramic ທີ່ຖືກອອກແບບມາໃຫ້ເປັນຜູ້ດູແລ semiconduor ທີ່ປອດໄພແລະເປັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຢ່າງປອດໄພໃນລະຫວ່າງຂະບວນການກໍາຈັດວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ. ພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ຮັບການສະຫນັບສະຫນູນການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ, ສູງ, ແລະມີຄວາມຜິດປົກກະຕິດ້ານວິຊາການ. Sic Vermes Chucks ຊ່ວຍສົ່ງ ADSORPT STAFER ທີ່ດີກວ່າແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງ. sicicorex sic chuckum ແມ່ນຜະລິດຈາກ silicon carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງເພື່ອໃຫ້ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມທົນທານທາງເຄມີ.

ວຽກເຮັດງານທໍາຕົ້ນຕໍຂອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາແມ່ນເພື່ອດຶງດູດເຄື່ອງແບບທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຫນ້າ wafer ເພື່ອໃຫ້ Wafer ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການກວດກາ, ການຝາກເງິນ, etch, ແລະ lithography. ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນປົກກະຕິມີບັນຫາກ່ຽວກັບອະນຸພາກທີ່ຜະລິດອະນຸພາກ, Warping, ຫຼືການເສື່ອມສະພາບທາງເຄມີໃນໄລຍະເວລາ. ສໍາລັບສະພາບການຜະລິດ semiconductor ທີ່ສຸດ, chucks sic sic ຈະໃຫ້ຄວາມທົນທານແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໄລຍະຍາວທີ່ດີກວ່າ.

ວັດສະດຸຊິລິໂຄນ Carbide ແມ່ນມີຄຸນຄ່າສູງສໍາລັບຄວາມແຂງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງພວກມັນ, ແລະຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ. ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ຈະຍັງຄົງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນລະດັບອຸນຫະພູມໃນອຸນຫະພູມທີ່ກວ້າງຂວາງ, ອະນຸຍາດໃຫ້ມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນແລະການປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການທີ່ບໍ່ມີຄວາມຮ້ອນກັບ wafer. ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງຂອງພວກເຂົາກໍ່ຊ່ວຍໃຫ້ການລະລາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດໃນສະພາບການຍ່ຽວໃນເບື້ອງຕົ້ນຄວາມຮ້ອນໃນເບື້ອງຕົ້ນຫຼືສໍາລັບການເປີດເຜີຍທີ່ມີພະລັງງານສູງ.

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ SIC ບໍ່ພຽງແຕ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະຜົນປະໂຫຍດກົນຈັກແຕ່ຍັງມີຄວາມຕ້ານທານກັບການກັດກ່ອນຂອງ Plasma ແລະການແຂ່ງຂັນທີ່ຮຸກຮານ. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ເຮັດໃຫ້ Sic ສູນຍາກາດທີ່ບໍ່ເອື້ອອໍານວຍໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການທີ່ແຫ້ງ, CVD, ແລະເອກະສານ PVD ບ່ອນທີ່ quartz ຫຼື aluminum nitride ສາມາດເຮັດໃຫ້ມີການນໍາໃຊ້. ຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີຂອງ SIC ຈະຊ່ວຍໃນການຈໍາກັດການປົນເປື້ອນແລະປັບປຸງເຄື່ອງມືໃຫ້ທັນເວລາ.

ເພື່ອໃຫ້ການປະຕິບັດງານທີ່ດີກວ່າ. semicorex ເຮັດໃຫ້ sic ດູດນ້ໍາ chucks ແລະລະບຸຄວາມທົນທານແຫນ້ນທີ່ສຸດກັບຫນ້າດິນທີ່ສຸດທີ່ມີໂຄງສ້າງຊ່ອງທາງໃນການປັບປຸງ micron. ດ້ວຍຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້, ມັນສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ອຸດົມສົມບູນດ້ວຍການດູດຊືມແລະພາກພື້ນດູດຊືມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສໍາລັບການສະຫນັບສະຫນູນ Wafer ຫຼືການແບ່ງແຍກຂອງ Wafers ເອງ. ບໍລິການອອກແບບທີ່ກໍາຫນົດເອງແມ່ນມີໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດທີ່ມີຂະຫນາດຕ່າງໆ (2 "ເຖິງ 12") ໃນໂປແກຼມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ໃນຖານະເປັນຜົນຜະລິດທີ່ສູງກວ່າ, ການຄວບຄຸມຂັ້ນຕອນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແມ່ນປັດໃຈ, chuckum sic ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃຫມ່ຂອງເຄື່ອງຈັກ semicondortor ລຸ້ນຕໍ່ໄປ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ Sic Vermes Chucks ແມ່ນຜູກມັດໂດຍກົງກັບຜົນຜະລິດເພີ່ມຂື້ນ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນແລະການຄວບຄຸມການປຸງແຕ່ງ.