ການເຄືອບ SiC ແມ່ນຊັ້ນບາງໆໃສ່ຕົວດູດຜ່ານຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ວັດສະດຸ silicon carbide ສະຫນອງຂໍ້ໄດ້ປຽບຈໍານວນຫນຶ່ງຂອງຊິລິໂຄນ, ລວມທັງ 10x ການທໍາລາຍຄວາມເຂັ້ມແຂງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, 3x ຊ່ອງຫວ່າງແຖບ, ເຊິ່ງສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດເຊັ່ນດຽວກັນກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນ.
Semicorex ໃຫ້ບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານປະດິດສ້າງດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ຍາວນານ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຮອບວຽນ, ແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດ.
ການເຄືອບ SiC ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ
ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: CVD SiC coated susceptor ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C ໂດຍບໍ່ມີການ undergoing ການເຊື່ອມໂຊມຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນ.
ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ: ການເຄືອບ silicon carbide ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບສານເຄມີທີ່ຫລາກຫລາຍ, ລວມທັງອາຊິດ, ດ່າງ, ແລະສານລະລາຍອິນຊີ.
ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່: ການເຄືອບ SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສວມໃສ່ແລະນ້ໍາຕາສູງ.
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: ການເຄືອບ CVD SiC ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງສູງ: susceptor ເຄືອບ silicon carbide ສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງຕົວສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ.
ການເຄືອບ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ
ການຜະລິດ LED: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດການປຸງແຕ່ງຂອງປະເພດ LED ຕ່າງໆ, ລວມທັງ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, LED UV ແລະເລິກ UV LED, ເນື່ອງຈາກການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະທົນທານຕໍ່ສານເຄມີ.
ການສື່ສານມືຖື: CVD SiC coated susceptor ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງ HEMT ເພື່ອເຮັດສໍາເລັດຂະບວນການ GaN-on-SiC epitaxial.
Semiconductor Processing: CVD SiC coated susceptor ຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.
SiC ເຄືອບ graphite ອົງປະກອບ
ເຮັດໂດຍ Silicon Carbide Coating (SiC) graphite, ການເຄືອບແມ່ນໃຊ້ໂດຍວິທີການ CVD ກັບຊັ້ນສະເພາະຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ສະນັ້ນມັນສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເກີນ 3000 °C ໃນບັນຍາກາດ inert, 2200 ° C ໃນສູນຍາກາດ. .
ຄຸນສົມບັດພິເສດແລະມະຫາຊົນຕ່ໍາຂອງວັດສະດຸອະນຸຍາດໃຫ້ອັດຕາຄວາມຮ້ອນໄວ, ການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ໂດດເດັ່ນໃນການຄວບຄຸມ.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex SiC
ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປ |
ໜ່ວຍ |
ຄຸນຄ່າ |
ໂຄງສ້າງ |
|
ໄລຍະ FCC β |
ປະຖົມນິເທດ |
ເສດສ່ວນ (%) |
111 ມັກ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ |
g/cm³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ສະຫຼຸບ CVD SiC coated susceptor ເປັນວັດສະດຸປະສົມທີ່ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຂອງ susceptor ແລະ silicon carbide. ວັດສະດຸນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກ, ລວມທັງອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະຄວາມແຂງ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ດຶງດູດສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຕ່າງໆ, ລວມທັງການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ, ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ, ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ແລະການຜະລິດ LED.
Semicorex's MOCVD Susceptors ຊີ້ໃຫ້ເຫັນຈຸດສູງສຸດຂອງຝີມື, ຄວາມອົດທົນ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບ graphite epitaxy ທີ່ສັບສົນແລະວຽກງານການຈັດການ wafer ທີ່ຊັດເຈນ. susceptors ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຊື່ສຽງສໍາລັບຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ຮາບພຽງທີ່ພິເສດ, ແລະການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນທາງເລືອກອັນດັບຫນຶ່ງສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ຕ້ອງການ. ພວກເຮົາຢູ່ Semicorex ແມ່ນອຸທິດຕົນເພື່ອການຜະລິດແລະການສະຫນອງ Susceptors MOCVD ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ປະສົມປະສານຄຸນນະພາບດ້ວຍຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມແຜ່ນ Semicorex ສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ຢືນເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ຖືກອອກແບບມາໂດຍສະເພາະເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຊັບຊ້ອນຂອງຂະບວນການ epitaxial. ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ເພື່ອຕອບສະໜອງໄດ້ສະເພາະສະເພາະແລະຄວາມມັກທີ່ແຕກຕ່າງ, ຂໍ້ສະເໜີຂອງພວກເຮົາສະໜອງການແກ້ໄຂທີ່ປັບແຕ່ງສະເພາະຕົວໃຫ້ເໝາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການດ້ານການໃຊ້ງານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງທ່ານ. ພວກເຮົາສະເຫນີໃຫ້ບໍລິການຂອງທາງເລືອກໃນການປັບແຕ່ງ, ຈາກການປ່ຽນແປງຂະຫນາດກັບການປ່ຽນແປງໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການເຄືອບ, ການຈັດໃຫ້ພວກເຮົາວິສະວະກອນແລະການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບໃນສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕ່າງໆ. ພວກເຮົາຢູ່ Semicorex ແມ່ນອຸທິດຕົນເພື່ອການຜະລິດແລະການສະຫນອງແຜ່ນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial ທີ່ປະສົມປະສານກັບຄຸນນະພາບທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex Wafer Carrier ສໍາລັບ MOCVD, ຖືກສ້າງຂື້ນເພື່ອຄວາມຕ້ອງການທີ່ຊັດເຈນຂອງ Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), ປະກົດຂຶ້ນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການປຸງແຕ່ງຂອງ Crystal ດຽວຫຼື SiC ສໍາລັບວົງຈອນປະສົມປະສານທີ່ມີລະດັບສູງ. Wafer Carrier ສໍາລັບອົງປະກອບຂອງ MOCVD ມີຄວາມບໍລິສຸດທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ, ຄວາມຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເປັນການກັດກ່ອນ, ແລະຄຸນສົມບັດການຜະນຶກທີ່ເຫນືອກວ່າເພື່ອຮັກສາບັນຍາກາດ pristine. ພວກເຮົາຢູ່ທີ່ Semicorex ມີຄວາມຕັ້ງໃຈໃນການຜະລິດແລະການສະຫນອງ Wafer Carriers ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງສໍາລັບ MOCVD ທີ່ມີຄຸນະພາບທີ່ປະສົມປະສານກັບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSiC Boat Holder ໂດຍ Semicorex ແມ່ນປະດິດສ້າງຈາກ SiC, ປັບແຕ່ງຢ່າງຈະແຈ້ງສໍາລັບບົດບາດສໍາຄັນພາຍໃນຂະແຫນງ photovoltaic, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ semiconductor. ວິສະວະກໍາດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາ, Semicorex SiC Boat Holder ສະຫນອງ milieu ປ້ອງກັນ, ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafers ຜ່ານທຸກຂັ້ນຕອນ - ບໍ່ວ່າຈະເປັນການປຸງແຕ່ງ, ການຂົນສົ່ງ, ຫຼືການເກັບຮັກສາ. ການອອກແບບທີ່ພິຖີພິຖັນຂອງມັນຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາໃນຂະຫນາດແລະຄວາມລຽບ, ສໍາຄັນສໍາລັບການຫຼຸດຜ່ອນການຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer ແລະເພີ່ມຜົນຜະລິດສູງສຸດ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex SiC Guide Ring ຖືກອອກແບບເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກດຽວ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງມັນຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ປະກອບສ່ວນໃນການສ້າງໄປເຊຍກັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງ. ຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຂອງ Semicorex ຕໍ່ກັບຄຸນນະພາບທີ່ນຳໜ້າຂອງຕະຫຼາດ, ຜູກພັນກັບການພິຈາລະນາດ້ານການເງິນທີ່ແຂ່ງຂັນ, ເສີມສ້າງຄວາມກະຕືລືລົ້ນຂອງພວກເຮົາທີ່ຈະສ້າງຕັ້ງຄູ່ຮ່ວມງານໃນການປະຕິບັດຕາມຄວາມຕ້ອງການຂົນສົ່ງ semiconductor wafer ຂອງທ່ານ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex Epi-SiC Susceptor, ອົງປະກອບທີ່ຖືກວິສະວະກໍາດ້ວຍຄວາມເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງລະອຽດໃນລາຍລະອຽດ, ແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ, ໂດຍສະເພາະໃນການນໍາໃຊ້ epitaxial. ການອອກແບບຂອງ Epi-SiC Susceptor, ເຊິ່ງປະກອບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາແລະນະວັດຕະກໍາ, ສະຫນັບສະຫນູນການຝາກ epitaxial ຂອງວັດສະດຸ semiconductor ໃນ wafers, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບພິເສດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການປະຕິບັດ. ຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຂອງ Semicorex ຕໍ່ກັບຄຸນນະພາບທີ່ນຳໜ້າຂອງຕະຫຼາດ, ຜູກພັນກັບການພິຈາລະນາດ້ານການເງິນທີ່ແຂ່ງຂັນ, ເສີມສ້າງຄວາມກະຕືລືລົ້ນຂອງພວກເຮົາທີ່ຈະສ້າງຕັ້ງຄູ່ຮ່ວມງານໃນການປະຕິບັດຕາມຄວາມຕ້ອງການຂົນສົ່ງ semiconductor wafer ຂອງທ່ານ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ