TaC coating graphite ແມ່ນສ້າງຂື້ນໂດຍການເຄືອບພື້ນຜິວຂອງ substrate graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍຊັ້ນອັນດີງາມຂອງ tantalum carbide ໂດຍຂະບວນການ Deposition ອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).
Tantalum carbide (TaC) ແມ່ນສານປະກອບທີ່ປະກອບດ້ວຍ tantalum ແລະຄາບອນ. ມັນມີການນໍາໃຊ້ໄຟຟ້າຂອງໂລຫະແລະຈຸດລະລາຍສູງເປັນພິເສດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸ ceramic refractory ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່. ຈຸດລະລາຍຂອງ Tantalum Carbides ສູງສຸດຢູ່ທີ່ປະມານ 3880 ° C ຂຶ້ນກັບຄວາມບໍລິສຸດແລະມີຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດໃນບັນດາທາດປະສົມສອງ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດຶງດູດໃຈໃນເວລາທີ່ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນເກີນຄວາມສາມາດປະສິດທິພາບທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການປະສົມ semiconductors epitaxial ເຊັ່ນ MOCVD ແລະ LPE.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex TaC
ໂຄງການ |
ພາລາມິເຕີ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
14.3 (ກມ/ຊມ3) |
ການປ່ອຍອາຍພິດ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
ຄວາມແຂງ (HK) |
2000 |
ຄວາມຕ້ານທານ (Ohm-cm) |
1×10-5 |
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ |
<2500℃ |
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite |
-10~-20um (ຄ່າອ້າງອີງ) |
ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ |
≥20um ຄ່າປົກກະຕິ(35um±10um) |
|
|
ຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນຄ່າປົກກະຕິ |
|
Semicorex TaC-coated Seal Ring ນໍາໃຊ້ກັບອົງປະກອບປະທັບຕາໃຫ້ຂໍ້ໄດ້ປຽບປະສິດທິພາບພິເສດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການຂອງ fabrication semiconductor. ການເຄືອບ TaC ແກ້ໄຂສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍກາດ, ແລະການສວມໃສ່ກົນຈັກ, ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດຂະບວນການທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການເພີ່ມເວລາຂອງອຸປະກອນ, ແລະໃນທີ່ສຸດ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດຕ່ໍາ. ພວກເຮົາຢູ່ Semicorex ອຸທິດຕົນເພື່ອການຜະລິດແລະການສະຫນອງ TaC-coated Seal Ring ປະສິດທິພາບສູງທີ່ fuses ຄຸນນະພາບທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບ.**
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການເງິນຝາກທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການສ້າງ wafers semiconductor. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ *.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex Tantalum Carbide Chuck ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂັ້ນສູງທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor, ທີ່ມີຊື່ສຽງສໍາລັບຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນແລະກົນຈັກພິເສດ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ *.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex TaC Coated Ring ຢືນເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການເຫຼົ່ານີ້. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ *.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມຫົວອາບນ້ຳທີ່ເຄືອບ Semicorex TaC ແມ່ນສ່ວນໜຶ່ງຂອງຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ, ໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ບໍ່ສາມາດປຽບທຽບໄດ້ ແລະມີອາຍຸຍືນຍາວ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ *.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex TaC coated chuck ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມກ້າວຫນ້າທີ່ສໍາຄັນໃນພາກສະຫນາມຂອງການຜະລິດ semiconductor. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ *.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ