TaC coating graphite ແມ່ນສ້າງຂື້ນໂດຍການເຄືອບພື້ນຜິວຂອງ substrate graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍຊັ້ນອັນດີງາມຂອງ tantalum carbide ໂດຍຂະບວນການ Deposition ອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD).
Tantalum carbide (TaC) ແມ່ນສານປະກອບທີ່ປະກອບດ້ວຍ tantalum ແລະຄາບອນ. ມັນມີການນໍາໃຊ້ໄຟຟ້າຂອງໂລຫະແລະຈຸດລະລາຍສູງເປັນພິເສດ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸ ceramic refractory ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມເຂັ້ມແຂງ, ຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່. ຈຸດລະລາຍຂອງ Tantalum Carbides ສູງສຸດຢູ່ທີ່ປະມານ 3880 ° C ຂຶ້ນກັບຄວາມບໍລິສຸດແລະມີຈຸດລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດໃນບັນດາທາດປະສົມສອງ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ດຶງດູດໃຈໃນເວລາທີ່ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນເກີນຄວາມສາມາດປະສິດທິພາບທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການປະສົມ semiconductors epitaxial ເຊັ່ນ MOCVD ແລະ LPE.
ຂໍ້ມູນວັດສະດຸຂອງການເຄືອບ Semicorex TaC
ໂຄງການ |
ພາລາມິເຕີ |
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
14.3 (ກມ/ຊມ3) |
ການປ່ອຍອາຍພິດ |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
ຄວາມແຂງ (HK) |
2000 |
ຄວາມຕ້ານທານ (Ohm-cm) |
1×10-5 |
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ |
<2500℃ |
ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite |
-10~-20um (ຄ່າອ້າງອີງ) |
ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບ |
≥20um ຄ່າປົກກະຕິ(35um±10um) |
|
|
ຂ້າງເທິງນີ້ແມ່ນຄ່າປົກກະຕິ |
|
Semicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານສູງທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອື່ນໆທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex Tantalum Carbide Coating Chuck ແມ່ນອົງປະກອບວິສະວະກໍາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນສູງ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex CVD TaC Coating Ring ເປັນອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ພິເສດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີ. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex TaC Coating Planetary Plate ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບລະບົບ MOCVD. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon ແມ່ນອົງປະກອບພິເສດທີ່ສ້າງຂຶ້ນສໍາລັບຂະບວນການ epitaxial ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນການຜະລິດ semiconductor. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມSemicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານສູງທີ່ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນຂະບວນການຝາກຝັງຂອງ epitaxial. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ອ່ານຕື່ມສົ່ງສອບຖາມ