ເຮືອ SiC 6 ນິ້ວ

Semicorex 6 Inch SiC Boat ເປັນບັນທຸກ wafer ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະປະສິດທິພາບຂອງການປຸງແຕ່ງ semiconductor ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ໂດຍສະເພາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຊັ່ນການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ແລະຂະບວນການຄວາມຮ້ອນອື່ນໆ. ຜະລິດຈາກ silicon carbide ຄຸນນະພາບສູງ (SiC), ຜະລິດຕະພັນນີ້ສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ເຂັ້ມແຂງສໍາລັບການຖື wafers semiconductor ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານອຸນຫະພູມສູງທີ່ສໍາຄັນ, ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ, ແລະຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍ.

ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ຖືກຜະລິດໂດຍໃຊ້ຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiC), ວັດສະດຸທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະຄວາມທົນທານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. SiC ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດ semiconductor ເນື່ອງຈາກຈຸດລະລາຍສູງ (ປະມານ 2,700 ° C), ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ: ການປຸງແຕ່ງ wafer ໃນການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ furnaces. ການອອກແບບຂອງເຮືອຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງທີ່ດີເລີດແລະການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ສອດຄ່ອງໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງເຊນມິຄອນດັກເຕີ, ການຜຸພັງ, ແລະການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນອື່ນໆ.

ຄຸນນະສົມບັດແລະຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນ

ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງ

ການນໍາຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງ SiC ຮັບປະກັນວ່າເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ສາມາດທົນກັບອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງໂດຍບໍ່ມີການ warping ຫຼືຊຸດໂຊມ. ຊັບສິນນີ້ມີຄຸນຄ່າໂດຍສະເພາະໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer ທີ່ສອດຄ່ອງ.

ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດ

ຄວາມຕ້ານທານຂອງຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ປະກົດຕົວຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີເຮັດໃຫ້ເຮືອເຫມາະສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການສໍາຜັດກັບອາຍແກັສທີ່ຮຸກຮານ, ເຊັ່ນອົກຊີເຈນ, ໄນໂຕຣເຈນ, ຫຼືອົງປະກອບປະຕິກິລິຢາອື່ນໆ. ເຮືອຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະການປະຕິບັດໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການປົນເປື້ອນ.

ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ

ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອປະຕິບັດໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1,500 ° C, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງຈໍານວນຫຼາຍ, ລວມທັງການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ. ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງນີ້ຮັບປະກັນຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານເຖິງແມ່ນວ່າໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການ.

ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຕໍ່າ

ຫນຶ່ງໃນປັດໃຈສໍາຄັນໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ແມ່ນການຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງຫນ້າດິນ wafer. ລະດັບຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງ SiC ແລະລັກສະນະທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາຮັບປະກັນວ່າເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດແລະຄວບຄຸມ, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ.

Uniform Wafer Support

ການອອກແບບຂອງເຮືອຮັບປະກັນວ່າ wafers ໄດ້ຮັບການສະຫນັບສະຫນູນຢ່າງເທົ່າທຽມກັນ, ຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafer ທີ່ດີທີ່ສຸດແລະປ້ອງກັນການ sagging ຫຼື misalignment ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ການສະຫນັບສະຫນູນເອກະພາບນີ້ແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບທີ່ສອດຄ່ອງແລະປ້ອງກັນຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer.

ຕົວເລືອກການປັບແຕ່ງ

ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ສາມາດຖືກປັບແຕ່ງໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າສະເພາະ, ລວມທັງຂະຫນາດ, ຮູບຮ່າງ, ແລະການຕັ້ງຄ່າທີ່ເຫມາະສົມກັບປະເພດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ບໍ່ວ່າຈະໃຊ້ສໍາລັບການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ຫຼືຂະບວນການຄວາມຮ້ອນອື່ນໆ, ເຮືອສາມາດຖືກປັບປຸງໃຫ້ເຫມາະສົມສໍາລັບການໄຫຼວຽນຂອງຂະບວນການສະເພາະຂອງລູກຄ້າ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນການຜະລິດ Semiconductor

ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນຂະບວນການຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງໃນການຜະລິດ semiconductor. ມັນມີປະສິດທິພາບໂດຍສະເພາະໃນເຕົາຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະບັນຍາກາດແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer ສົບຜົນສໍາເລັດ.

• ຂະບວນການອອກຊິເດຊັນ: ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຜຸພັງ, wafers ຊິລິໂຄນຖືກສໍາຜັດກັບອົກຊີເຈນທີ່ອຸນຫະພູມສູງເພື່ອສ້າງເປັນຊັ້ນບາງໆຂອງຊິລິໂຄນ dioxide ຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງ wafer. ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ຮັບປະກັນວ່າ wafers ໄດ້ຖືກຈັດຂຶ້ນຢ່າງປອດໄພແລະເທົ່າທຽມກັນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງນີ້, ປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິຫຼື misalignment ແລະຮັບປະກັນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ oxide ເປັນເອກະພາບ.
• ຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ: ໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍ, dopants ໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນ wafer ຊິລິໂຄນເພື່ອດັດແປງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າຂອງມັນ. ເຮືອ SiC ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບ wafers ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນນີ້, ບ່ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງສະພາບແວດລ້ອມການແຜ່ກະຈາຍແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງມັນຮັບປະກັນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸໂປຣໄຟລ໌ dopant ທີ່ຕ້ອງການ.
• ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ: ນອກເຫນືອຈາກການຜຸພັງແລະການແຜ່ກະຈາຍ, ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: ການຫມຸນ, nitridation, ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ຫລາກຫລາຍສໍາລັບຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼາຍກວ່າວັດສະດຸອື່ນໆ

ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸພື້ນເມືອງເຊັ່ນ quartz ຫຼື graphite, silicon carbide ສະເຫນີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor. ເຮືອ Quartz ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນແລະປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ໃນຂະນະທີ່ເຮືອ graphite ສາມາດ outgas ແລະແນະນໍາການປົນເປື້ອນ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ເຮືອ SiC, ຮັກສາການປະຕິບັດຂອງພວກເຂົາໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງໂດຍບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຫຼືການເຊື່ອມໂຊມ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ເຮືອ 6 ນິ້ວ SiC ເປັນທາງເລືອກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະປະສິດທິພາບຫຼາຍສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງ.

ເຮືອ Semicorex 6 Inch SiC ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ຈໍາເປັນ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ wafer ກ້າວຫນ້າ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງມັນສູງ, ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ແລະຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ແລະຂະບວນການ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການນໍາໃຊ້ໃນການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາຫຼືການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່, ເຮືອ 6 Inch SiC ສະຫນອງການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ semiconductor.