ລະບົບ Epi ຮັບ Barrel

Semicorex Barrel Susceptor Epi System ເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ສະຫນອງການຍຶດເກາະຊັ້ນສູງ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ. ຮູບແບບຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ, ຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar, ແລະການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epixial ໃນ chip wafer. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບແລະການປັບແຕ່ງຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີການແຂ່ງຂັນສູງໃນຕະຫຼາດ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

Barrel Susceptor Epi System ຂອງພວກເຮົາແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີນະວັດຕະກໍາສູງທີ່ສະຫນອງການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ເຖິງແມ່ນວ່າການລະບາຍຄວາມຮ້ອນ, ແລະການຍຶດເກາະຊັ້ນສູງ. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສູງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະ impurities ແລະຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາຕ່ໍາເຮັດໃຫ້ມັນເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີການແຂ່ງຂັນສູງໃນຕະຫຼາດ.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາ. Barrel Susceptor Epi System ຂອງພວກເຮົາມີປະໂຫຍດດ້ານລາຄາແລະຖືກສົ່ງອອກໄປຕະຫຼາດເອີຣົບແລະອາເມລິກາຫຼາຍ. ພວກເຮົາມີຈຸດປະສົງເພື່ອເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສອດຄ່ອງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.
ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອຮຽນຮູ້ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບ Barrel Susceptor Epi System ຂອງພວກເຮົາ.

ຕົວກໍານົດການຂອງ Barrel Susceptor Epi System

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນນະສົມບັດຂອງ Barrel Susceptor Epi System

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.

- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.

- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.

- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.