Barrel Susceptor Silicon Carbide ເຄືອບ Graphite

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite ແມ່ນອົງປະກອບພິເສດທີ່ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນຂະບວນການ epitaxy, ໂດຍສະເພາະໃນການປະຕິບັດ wafers. Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite ນີ້ແມ່ນຫັດຖະກໍາຈາກວັດສະດຸ graphite, ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງ. ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມທົນທານຂອງມັນ, ພື້ນຜິວ graphite ໄດ້ຖືກເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງ silicon carbide (SiC).

ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງ Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite ໃຫ້ບໍລິການຈຸດປະສົງທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍໃນສະພາບການນີ້. ກ່ອນອື່ນ ໝົດ, ມັນໃຫ້ການປົກປ້ອງເພີ່ມເຕີມຕໍ່ກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນ graphite, ປົກປ້ອງມັນຈາກປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີແລະການສວມໃສ່ທີ່ອາດຈະເກີດຂື້ນໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ epitaxy. ອັນທີສອງ, ການເຄືອບ SiC ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນຂອງ Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite, ເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະເປັນເອກະພາບຂອງ wafers. ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແບບເອກະພາບນີ້ແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸຊັ້ນ epitaxial ທີ່ສອດຄ່ອງແລະມີຄຸນນະພາບສູງໃນ wafers semiconductor.

ການອອກແບບຂອງ Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite ໄດ້ຖືກປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດເພື່ອຍຶດຫມັ້ນແລະການຂົນສົ່ງ wafers ຫຼາຍອັນຕະຫຼອດຂະບວນການ epitaxy. ໂຄງປະກອບການຄ້າຍຄືຖັງຂອງມັນຊ່ວຍໃຫ້ການໂຫຼດແລະ unloading ຂອງ wafers ງ່າຍໃນຂະນະທີ່ຮັບປະກັນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫມາະສົມແລະສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ.

ໂດຍລວມແລ້ວ, Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite ເປັນຕົວແທນຂອງອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ epitaxy, ສະເຫນີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ຄວາມທົນທານ, ແລະການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າ.