Semicorex Diffusion Furnace Tube ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນພາຍໃນອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor, ອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອອໍານວຍຄວາມສະດວກໃຫ້ປະຕິກິລິຍາທີ່ຊັດເຈນແລະຄວບຄຸມທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ໃນຖານະເປັນເຮືອຕົ້ນຕໍພາຍໃນເຂດຕິກິຣິຍາຂອງ furnace semiconductor, ທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມສົມບູນແລະຄຸນນະພາບຂອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ຜະລິດໄດ້. Semicorex ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບໃນລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ, ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.
ທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນເຮັດຈາກ quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼື SiC, ເຊິ່ງທັງສອງສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນພິເສດແລະການຕໍ່ຕ້ານປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນເພາະວ່າທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍຕ້ອງບໍ່ນໍາສະເຫນີ impurities ເຂົ້າໄປໃນວັດສະດຸ semiconductor ກໍາລັງປຸງແຕ່ງ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມບໍ່ສະອາດເລັກນ້ອຍສາມາດມີຜົນກະທົບອັນໃຫຍ່ຫຼວງຕໍ່ການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ semiconductor fabricated.
ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນການກໍ່ສ້າງທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍໄດ້ຖືກເລືອກສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງພວກເຂົາເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງ wafers semiconductor ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ. ທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ semiconductor ໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິຫຼືທໍາລາຍຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງມັນ. ນີ້ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໄລຍະເວລາຂອງການດໍາເນີນງານທີ່ຍາວນານ. ນອກເຫນືອໄປຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍຍັງສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ຜົນກະທົບ corrosive ຂອງສານເຄມີແລະອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ນີ້ປ້ອງກັນການເຊື່ອມໂຊມຂອງທໍ່ໃນໄລຍະເວລາແລະຮັບປະກັນການມີອາຍຸຍືນ.
ບາງທໍ່ furnace ການແຜ່ກະຈາຍອາດຈະປະກອບດ້ວຍ liners ທີ່ຜະລິດຈາກວັດສະດຸພິເສດເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງເຂົາເຈົ້າຫຼືສະຫນອງການປົກປ້ອງເພີ່ມເຕີມຕໍ່ກັບການປົນເປື້ອນຫຼືປະຕິກິລິຍາເຄມີ. liners ເຫຼົ່ານີ້ຖືກຄັດເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອປະກອບຄຸນສົມບັດຂອງອຸປະກອນທໍ່ແລະຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຂະບວນການ fabrication semiconductor.