ທົນທານຕໍ່ SiC-Coated Barrel Susceptor

ດ້ວຍຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ epitaxial ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການຜະລິດ semiconductor ອື່ນໆ. ການເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນໃຫ້ການປົກປ້ອງແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເຫນືອກວ່າ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືແລະສອດຄ່ອງ.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຖ້າທ່ານຕ້ອງການ susceptor graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ເບິ່ງບໍ່ເກີນ Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor. ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງມັນສະຫນອງການຍົກເວັ້ນຄວາມຮ້ອນແລະການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືແລະສອດຄ່ອງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ຕ້ອງການທີ່ສຸດ.
ທົນທານຕໍ່ SiC-Coated Barrel Susceptor ຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບມາເພື່ອບັນລຸຮູບແບບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ laminar ທີ່ດີທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນຄວາມສະເຫມີພາບຂອງໂປຣໄຟລ໌ຄວາມຮ້ອນ. ນີ້ຊ່ວຍປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຫຼືການແຜ່ກະຈາຍຂອງ impurities, ຮັບປະກັນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນຊິບ wafer.
ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອຮຽນຮູ້ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບເຄື່ອງ Susceptor SiC-Coated Barrel ທີ່ທົນທານຂອງພວກເຮົາ.

ຕົວກໍານົດການຂອງທົນທານຕໍ່ SiC-Coated Barrel Susceptor

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນນະສົມບັດຂອງທົນທານຕໍ່ SiC-Coated Barrel Susceptor

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.

- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.

- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.

- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.

- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.