ໃນເວລາທີ່ມັນມາກັບການຜະລິດ semiconductor, Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor ແມ່ນທາງເລືອກອັນດັບຫນຶ່ງສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື. ການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຂອງມັນແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ພິເສດເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ເຖິງແມ່ນວ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະ corrosive ທີ່ຕ້ອງການທີ່ສຸດ.
Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກດຽວແລະການນໍາໃຊ້ການຜະລິດ semiconductor ອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການຄວາມຮ້ອນສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ການເຄືອບ silicon carbide ຂອງມັນໃຫ້ການປົກປ້ອງແລະຄຸນສົມບັດການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະສອດຄ່ອງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ທ້າທາຍທີ່ສຸດ.
ທີ່ Semicorex, ພວກເຮົາສຸມໃສ່ການສະຫນອງອຸປະກອນການທົນທານຕໍ່ barrel SiC ທີ່ມີຄຸນະພາບສູງ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ພວກເຮົາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມພໍໃຈຂອງລູກຄ້າແລະສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານ, ການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະການບໍລິການລູກຄ້າພິເສດ.
ພາຣາມິເຕີຂອງເຄື່ອງດູດນ້ຳບາເຣລທີ່ເຄືອບ SiC ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC |
||
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD |
||
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ |
ໄລຍະ FCC β |
|
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
g/ຊມ ³ |
3.21 |
ຄວາມແຂງ |
ຄວາມແຂງຂອງ Vickers |
2500 |
ຂະໜາດເມັດພືດ |
ມມ |
2~10 |
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ |
% |
99.99995 |
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ |
J kg-1 K-1 |
640 |
ອຸນຫະພູມ sublimation |
℃ |
2700 |
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural |
MPa (RT 4 ຈຸດ) |
415 |
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ |
Gpa (4pt ງໍ, 1300℃) |
430 |
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
(W/mK) |
300 |
ຄຸນສົມບັດຂອງເຄື່ອງດູດນ້ຳບາເຣລທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ
- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີແລະສາມາດມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ກັດກ່ອນ.
- susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານສູງຫຼາຍ.
- ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide, ປະສິດທິຜົນປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດເພື່ອປ້ອງກັນການແຕກແລະ delamination.
- ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.
- ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion.