Semicorex horizontal silicon carbide boats ເປັນບັນທຸກ wafer ອອກຕາມລວງນອນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ, ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຜະລິດຈາກຊັ້ນນໍາ semiconductor-grade silicon carbide. ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດທີ່ກວ້າງຂວາງແລະຜ່ານການທົດສອບເວລາ, Semicorex ສາມາດໃຫ້ລູກຄ້າທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງພວກເຮົາດ້ວຍເຮືອຊິລິຄອນຄາໄບ້ຕາມແນວນອນທີ່ຖືກອອກແບບດ້ວຍເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມສອດຄ່ອງກັນສູງ.
Semicorex ແນວນອນເຮືອຊິລິຄອນຄາໄບໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນປະສົມປະສານໂດຍໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການພິມ 3D ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ fabricated ໂດຍຜ່ານການ sintering ອຸນຫະພູມສູງ. ຈຸດປະສົງທີ່ສ້າງຂຶ້ນເພື່ອໃຫ້ເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດເຕົາໄຟແນວນອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍ, ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງກັບການເກັບຮັກສາ wafer ຢ່າງແຫນ້ນຫນາໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງທີ່ສໍາຄັນ, ລວມທັງການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ແລະການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ.
| ຄຸນສົມບັດ |
ເຮືອຊິລິຄອນຄາໄບແນວນອນ Semicorex |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ |
3.05 g/cm³ |
| ອະນຸພາກ |
3 ມມ |
| ແຮງບິດ |
260 Mpa |
| ແຮງບີບອັດ |
500 Mpa |
| ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (ອຸນຫະພູມຫ້ອງເຖິງ 1000 ℃) |
4.3*10-6 |
| ຄວາມບໍລິສຸດ |
5.38 ppm |
| ໂມດູລດແຮງດັນ |
354 Gpa |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ |
135 W/(m·K) |

ຄວາມແຂງຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສາມາດປຽບທຽບໄດ້ແລະຄວາມແຂງກະດ້າງເຮັດໃຫ້ເຮືອ Semicorex ຕາມແນວນອນ silicon carbide ຄວາມສາມາດໃນການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາສາມາດປະຕິບັດຫຼາຍ wafers ໃນເວລາດຽວກັນ. ໂດຍຜ່ານການເຄື່ອງຈັກສະລັອດຕິງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, Semicorex ຢຽດຕາມລວງນອນຂອງເຮືອ silicon carbide ສາມາດແກ້ໄຂຢ່າງຫນັກແຫນ້ນແລະຮັກສາ wafers semiconductor. ໂຄງສ້າງສະລັອດຕິງທີ່ມີຊ່ອງຫວ່າງເທົ່າທຽມກັນຮັບປະກັນວ່າ wafers ຮັກສາຕໍາແຫນ່ງຄົງທີ່ຕະຫຼອດວົງຈອນການປຸງແຕ່ງທັງຫມົດ, ດັ່ງນັ້ນການຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.
ຂໍຂອບໃຈກັບການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, Semicorex horizontal silicon carbide ເຮືອສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ເຄັ່ງຄັດ, ເຊັ່ນ: ບັນຍາກາດອຸນຫະພູມສູງຂອງອົກຊີເຈນທີ່, ໄນໂຕຣເຈນ, ຫຼື hydrogen chloride ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຕ່ໍາ. ຄຸນສົມບັດວັດສະດຸພິເສດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດປ້ອງກັນການກັດກ່ອນແລະຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກອາຍແກັສ corrosive ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຍືດອາຍຸການເຮັດວຽກຂອງເຮືອຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ແຕກຕ່າງຈາກເຮືອກາໄບທີ່ເຄືອບຊິລິຄອນຄາໄບແບບດັ້ງເດີມ, ເຮືອຊີລິຄອນຄາໄບ້ແບບແນວນອນ Semicorex ແມ່ນຜະລິດຈາກຊັ້ນນໍາ, ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.ຊິລິຄອນຄາໄບ(99.999%) ມີເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາສຸດ. ການຄັດເລືອກວັດສະດຸຊັ້ນນໍານີ້ຊ່ວຍກໍາຈັດຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຫຼືການປອກເປືອກຂອງສານເຄືອບ, ເຖິງແມ່ນວ່າໃນເວລາທີ່ສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive harsh. ນອກຈາກນັ້ນ, ແຕ່ລະເຮືອ silicon carbide ຂອງພວກເຮົາແມ່ນຂຶ້ນກັບຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ ultrasonic ທີ່ເຂັ້ມງວດກ່ອນທີ່ຈະຫຸ້ມຫໍ່ສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານຄວາມສະອາດທີ່ຕ້ອງການໂດຍຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ.