ວົງການສຸມໃສ່ການປະມວນຜົນ plasma

ວົງການສຸມໃສ່ການປຸງແຕ່ງ Semicorex Plasma ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສູງຂອງການປຸງແຕ່ງ plasma etch ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ອົງປະກອບເຄືອບ Silicon Carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງພວກເຮົາແມ່ນສ້າງຂຶ້ນເພື່ອທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮ້າຍກາດ ແລະ ເຫມາະສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນການນໍາໃຊ້ຕ່າງໆ, ລວມທັງຊັ້ນ silicon carbide ແລະ semiconductors epitaxy.

ສົ່ງສອບຖາມ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ວົງການສຸມໃສ່ການປຸງແຕ່ງ Plasma ຂອງພວກເຮົາມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງສໍາລັບ RTA, RTP, ຫຼືທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ, ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນ plasma etch (ຫຼື etch ແຫ້ງ). ອອກແບບມາເພື່ອປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮອຍຂີດຂ່ວນຢູ່ອ້ອມຮອບຂອບ ຫຼືບໍລິເວນອ້ອມຮອບ, ແຫວນຈຸດສຸມ ຫຼືວົງຂອບຂອງພວກເຮົາໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ ແລະການຮັກສາທີ່ບໍ່ໄດ້ກຳນົດເວລາໄວ້.

ການເຄືອບ SiC ຂອງພວກເຮົາແມ່ນການເຄືອບ silicon carbide ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ທົນທານຕໍ່ຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນສູງເຊັ່ນດຽວກັນກັບການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ. ພວກເຮົາໃຊ້ SiC ໃນຊັ້ນບາງໆໃສ່ກຼາຟິດໂດຍໃຊ້ຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD). ນີ້ຮັບປະກັນວ່າ SiC Focus Rings ຂອງພວກເຮົາມີຄຸນນະພາບດີກວ່າແລະຄວາມທົນທານ, ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນທາງເລືອກທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການການປຸງແຕ່ງ etch plasma ຂອງທ່ານ.

ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອຮຽນຮູ້ເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບວົງແຫວນສຸມໃສ່ການປຸງແຕ່ງ Plasma ຂອງພວກເຮົາ.

ພາລາມິເຕີຂອງວົງການສຸມໃສ່ການປະມວນຜົນ plasma

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC
ຄຸນສົມບັດ SiC-CVD
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	g/ຊມ ³	3.21
ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers	2500
ຂະໜາດເມັດພືດ	ມມ	2~10
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	%	99.99995
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	J kg-1 K-1	640
ອຸນຫະພູມ sublimation	℃	2700
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Felexural	MPa (RT 4 ຈຸດ)	415
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)	430
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	(W/mK)	300

ຄຸນນະສົມບັດຂອງວົງການສຸມໃສ່ການປະມວນຜົນ plasma

- ການເຄືອບ CVD Silicon Carbide ເພື່ອປັບປຸງຊີວິດການບໍລິການ.

- insulation ຄວາມຮ້ອນທີ່ເຮັດຈາກກາກບອນ rigid purified ປະສິດທິພາບສູງ.

- ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ ແລະແຜ່ນປະກອບຄາບອນ/ຄາບອນ. - ທັງຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ແລະຊັ້ນ silicon carbide ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄຸນສົມບັດການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ.

- ຄວາມບໍລິສຸດສູງ graphite ແລະ SiC ເຄືອບສໍາລັບການຕໍ່ຕ້ານ pinhole ແລະຊີວິດທີ່ສູງຂຶ້ນ