porous sic chuck

sic sicorex porous ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ໄດ້ປະກອບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາດ້ວຍການຈັດການກັບໂປແກຼມ semiconductor ໂດຍຜ່ານຂັ້ນຕອນການຂະຫຍາຍ, ແລະ lithography. Chuck ແມ່ນຜະລິດຈາກຊິລິໂຄນຊິລິໂຄນ Micro-porous carbide (sic). SIC ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ, ແລະຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconduor semiconductor.

ມີຄຸນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຂອງເຄື່ອງປັ່ນປ່ວນທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນແມ່ນຈຸລິນຊີທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ, ເຊິ່ງສະແດງຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງ 35% -40%. ດ້ວຍຄວາມແນ່ນອນຂອງ chuck ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງແຫນ້ນຫນາ, ການອອກແບບທີ່ຖືກຍົກເລີກໃຫ້ອະນຸຍາດໃຫ້ດູດຊືມແລະບໍ່ຕິດຕໍ່ໂດຍປົກກະຕິ  ຮູບແບບການດູດຊືມທີ່ຫລີກລ້ຽງທັງການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກແລະຄວາມເສຍຫາຍທາງກົນຈັກ, ເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານທີ່ມີຄວາມຊື່ສັດໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ.

ຮ່າງກາຍຂອງ Ceramic ຂອງ Chuck ແມ່ນຕົ້ນຕໍແມ່ນ Sic ອື່ນໆ, ເຊັ່ນ Alumina (Al2o3), ອາດຈະໃຊ້ໃນການໃຊ້ງານທີ່ມີປະໂຫຍດສູງຂື້ນຢູ່ໃນໃບສະຫມັກ. ການຄົ້ນຄວ້າແລະການພັດທະນາວັດສະດຸທີ່ອະນຸຍາດໃຫ້ມີຂະຫນາດແລະການແຈກຢາຍ pore ທີ່ຈະຈັດການກັບການອອກແບບ Air ແລະ HOLDEW-SECIGS ແລະເງື່ອນໄຂການປຸງແຕ່ງ. ຖ້າມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຄວບຄຸມສູນຍາກາດໃນບ່ອນທີ່ເບົາບາງລົງ, ຂະຫນາດ Pore ທີ່ນ້ອຍກວ່າຈະຖືກລວມເຂົ້າ. ສໍາລັບອັດຕາການໄຫລຂອງໄວບ່ອນທີ່ເຫມາະສົມ, ຂະຫນາດ pore ຂະຫນາດໃຫຍ່ຈະຖືກນໍາໃຊ້.

porous sic chucks daves ການປ່ຽນແປງຂອງສີເປັນຜົນມາຈາກຂະຫນາດ pore ຕົວປ່ຽນແປງ, ສ່ວນປະກອບ peramic, ແລະສະພາບການ firing. The Sic Chucks ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະເປັນສີດໍາຫຼືສີຂີ້ເຖົ່າເຂັ້ມເປັນສີຂອງຊິລິໂຄນແມ່ນມີສີຂີ້ເຖົ່າຫຼືສີດໍາ, ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມີເນື້ອໃນ alumina ຂະຫນາດໃຫຍ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະເປັນສີຂາວ. ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສີບໍ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນງານຂອງຜະລິດຕະພັນແລະພຽງແຕ່ເປັນຕົວແທນຂອງຄຸນສົມບັດທີ່ໄດ້ຮັບການສ້າງຂື້ນເພື່ອການນໍາໃຊ້ສະເພາະຂອງລູກຄ້າສະເພາະ.

ໃນເຄື່ອງມືປຸງແຕ່ງທີ່ມີລະດັບສູງ, ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີແມ່ນສອງລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດ. Carbide Silicon ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ທາດອາຍຜິດແລະການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນ. ເຄື່ອງມື SIC ຢ່າງສໍາເລັດຜົນໃນການດໍາເນີນງານໃນຫ້ອງໂຖງແລະເຄື່ອງມືຂອງ plasma parbsma, ແລະມັນຍັງສືບຕໍ່ປະຕິບັດໄດ້ດີດ້ວຍການປ່ຽນແປງຢ່າງໄວວາ. ຄວາມສາມາດຂອງພວກເຂົາໃນການຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ຫນ້າກຽດຊັງທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຂື້ນໃນສະຖານທີ່ດຽວກັນ, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມຕ້ອງການທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງແມ່ນຂື້ນກັບຂະບວນການທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງ.

sic sicorex porous ducks ແມ່ນເຮັດໂດຍໃຊ້ຂັ້ນຕອນການປະກອບແລະ sindering ທີ່ໄດ້ຮັບອະນຸຍາດເຊິ່ງໃຫ້ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນເປັນເອກະພາບ, ແລະການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ. ແຕ່ລະ chuck ແມ່ນໄດ້ຮັບການກວດກາສໍາລັບໂຄງສ້າງ pore, ຄວາມຮາບພຽງແລະການປະຕິບັດການສູນຍາກາດເພື່ອຮັບປະກັນຜະລິດຕະພັນທີ່ເພິ່ງພາອາໄສແລະເຮັດວຽກຄືນໃຫມ່. ການອອກແບບທີ່ກໍາຫນົດເອງຍັງມີໃຫ້ເພື່ອຮອງຮັບຂະຫນາດທີ່ມີຂະຫນາດທີ່ເຫມາະສົມແລະຄວາມຕ້ອງການການເຊື່ອມໂຍງລະບົບໂດຍສະເພາະເຊັ່ນ: ຊ່ອງທາງການໄຫລຂອງນ້ໍາມັນນ້ໍາຫລືຄຸນລັກສະນະຂອງຖົງຢາງ.

ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, Sic Sic CHUCK ແມ່ນລະບົບສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືສູງເຊິ່ງໄດ້ຖືກອອກແບບຢ່າງລະມັດລະວັງເພື່ອເຮັດວຽກຮ່ວມກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງການປຸງແຕ່ງ wafer ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ. ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາສູນຍາກາດທີ່ສູງ, ມີໂຄງສ້າງທີ່ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້, ແລະສະຖຽນລະພາບທາງດ້ານວັດຖຸທີ່ໂດດເດັ່ນ, ມັນເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນສາຍປະດິດທີ່ມີ semiconductor.