Porous SiC ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ

Semicorex porous SiCchucks ສູນຍາກາດແມ່ນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້, ເຊິ່ງສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ, ເຊັ່ນ: wafer thinning, dicing, grinding, polishing, photolithography, etching. ແພລະຕະຟອມການດູດຊຶມຂອງພວກມັນຖືກສ້າງຂື້ນດ້ວຍແຜ່ນເຊລາມິກ SiC ທີ່ມີຮູຂຸມຂົນທີ່ມີຂະຫນາດ micron ແຈກຢາຍຢ່າງເທົ່າທຽມກັນ. ດ້ວຍເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງຮູຂຸມຂົນທີ່ສອດຄ່ອງແລະອັດຕາການຜ່ານຂຸມພິເສດ, ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Semicorex porous SiC ສະຫນອງເສັ້ນທາງອາຍແກັສທີ່ລຽບງ່າຍສໍາລັບການຍົກຍ້າຍສູນຍາກາດ. ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ, ຄວາມກົດດັນທາງລົບທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບແມ່ນຖືກສ້າງຂຶ້ນລະຫວ່າງ chuck ແລະ wafer, ຊ່ວຍໃຫ້ການຍຶດດູດສູນຍາກາດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແລະການປ່ອຍ wafers semiconductor.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Semicorex porous SiC 

1. ຄວາມແມ່ນຍໍາການປຸງແຕ່ງພິເສດ

wafers semiconductor ທີ່ປຸງແຕ່ງໃນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າແມ່ນບາງທີ່ສຸດ, ດັ່ງນັ້ນເຖິງແມ່ນວ່າການງໍເລັກນ້ອຍ, ການສັ່ນສະເທືອນ, ຫຼືຄວາມກົດດັນໃນທ້ອງຖິ່ນທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນອາດຈະນໍາໄປສູ່ການແຕກຫັກຂອງ wafer, warping, ແລະຫຼຸດລົງຄວາມຖືກຕ້ອງໃນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ lithography. Semicorexporous SiCchucks ສູນຍາກາດແມ່ນໄດ້ຖືກປຸງແຕ່ງໂດຍຜ່ານການຕັດແລະຂັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ບັນລຸຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຫນ້າດິນທີ່ສົມບູນແບບຂອງ Ra＜ 0.1 μm. ນີ້ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Semicorex porous SiC ສະຫນອງພື້ນຜິວປະຕິບັດງານທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

2. ຄວາມສະອາດສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສູງ

ເພື່ອຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານຄວາມສະອາດຂອງ semiconductor ຢ່າງເຂັ້ມງວດ, Semicorex ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ SiC ທີ່ມີຮູຂຸມຂົນດ້ວຍວັດຖຸດິບ silicon carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໂດຍຜ່ານການ sintering ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ນີ້ຮັບປະກັນວ່າ chucks ແມ່ນບໍ່ເສຍຄ່າຈາກການຫຼົ່ນລົງຂອງອະນຸພາກແລະການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະທີ່ເຄື່ອນຍ້າຍໄດ້. ໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດຂອງ SiC, ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Semicorex porous SiC ສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມການກັດກ່ອນທີ່ຮຸນແຮງແລະບໍ່ມີຜະລິດຕະພັນເພີ່ມເຕີມ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມກັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ສະອາດຊັ້ນສູງ.

3. ຄວາມທົນທານທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ

ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນທີ່ໃຊ້ໃນສາຍການຜະລິດຕ້ອງທົນທານຕໍ່ການດູດຊຶມແລະການປ່ອຍຕົວຫຼາຍພັນຮອບ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມໃນໄລຍະຍາວ. ນີ້ imposes ຄວາມຕ້ອງການສູງທີ່ສຸດກ່ຽວກັບການປະຕິບັດວັດສະດຸຂອງ chucks ສູນຍາກາດ. ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Semicorex porous SiC ມີລັກສະນະຄວາມແຂງຂອງວັດສະດຸທີ່ໂດດເດັ່ນແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ມີການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງ. ພວກມັນບໍ່ສະແດງເຖິງການເສື່ອມໂຊມ ຫຼືການເສື່ອມໂຊມໃນສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງເຂົາເຈົ້າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະຫຼຸດຜ່ອນການບໍາລຸງຮັກສາອົງປະກອບ ແລະ ຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ.